1.一種質(zhì)譜儀離子源室抽真空系統(tǒng)，包括設(shè)置有艙門的離子源室；其特征在于：所述離子源室的外壁上設(shè)置有用于檢測(cè)離子源室內(nèi)腔真空度的高真空計(jì)、和用于檢測(cè)離子源室內(nèi)位于所述艙門位置處真空度的低真空計(jì)、以及分子泵、高真空電磁閥、進(jìn)氣電磁閥；所述高真空電磁閥進(jìn)氣口與所述分子泵排氣口連通，高真空電磁閥排氣口通過(guò)三通管的第一管口和第二管口與機(jī)械泵或隔膜泵進(jìn)氣口連通，所述三通管的第三管口通過(guò)管道和預(yù)抽真空電磁閥與離子源室內(nèi)位于所述艙門位置處抽氣口連通，所述分子泵進(jìn)氣口與離子源室內(nèi)腔連通，所述進(jìn)氣電磁閥的進(jìn)氣口與大氣相連通,進(jìn)氣電磁閥的出氣口與離子源室內(nèi)位于艙門位置處的進(jìn)氣口相連通。