技術(shù)編號:12450938
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及飛行時間質(zhì)譜儀離子源室,尤其是涉及質(zhì)譜儀離子源室抽真空系統(tǒng)。背景技術(shù)基質(zhì)輔助激光解析離子源是固態(tài)樣品解析過程,樣品靶槽內(nèi)的樣品通過進出樣機構(gòu)自離子源室的艙門處逐步進入真空環(huán)境,即:先進入由樣品靶槽與艙門圍成的低真空度(10-2mbar)區(qū)域(或稱之為小腔室),然后樣品隨樣品靶槽移動到離子源室內(nèi)高真空度(10-7mbar)區(qū)域。樣品靶槽由定位機構(gòu)定位后,進而樣品在一個特定的區(qū)域內(nèi)進行解析。因此,離子源室內(nèi)腔存在由低真空度向高真空度過渡的抽真空過程,而上述抽真空過程需要抽真空系統(tǒng)來實現(xiàn)...
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