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一種高亮度反極性的AlGaInP基發(fā)光二極管晶圓的制作方法

文檔序號:11990400閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高亮度反極性的AlGaInP基發(fā)光二極管晶圓,包括襯底,在襯底下方設(shè)置背電極,在襯底上方依次設(shè)置金屬鍵合層、鏡面反射層、外延層和擴展電極,在擴展電極上設(shè)置主電極;

所述鏡面反射層由介質(zhì)膜導(dǎo)電孔層、ITO薄膜層和鏡面層組成;所述鏡面層設(shè)置在金屬鍵合層上方,ITO薄膜層設(shè)置在鏡面層上方,介質(zhì)膜導(dǎo)電孔層設(shè)置在ITO薄膜層上方;

所述外延層包括依次設(shè)置在介質(zhì)膜導(dǎo)電孔層上方的P-GaP窗口層、緩沖層、P-AlGaInP限制層、MQW多量子阱有源層、N-AlGaInP限制層、N-AlGaInP電流擴展層、粗化層和N-GaAs歐姆接觸層;

其特征在于:所述金屬鍵合層和鏡面層分別以各晶粒為單位呈分布式排列,各晶粒的金屬鍵合層對應(yīng)地包裹在相應(yīng)的晶粒的ITO薄膜層下方的鏡面層外;在各晶粒的主電極和N-AlGaInP電流擴展層周圍的發(fā)光區(qū)上設(shè)置介質(zhì)膜導(dǎo)電孔層。

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