技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基于AlAs/Ge/AlAs結(jié)構(gòu)的Ge基可重構(gòu)偶極子天線的制備方法，其中，所述可重構(gòu)偶極子天線包括：GeOI襯底、第一天線臂、第二天線臂、同軸饋線以及直流偏置線；所述制備方法包括：選取GeOI襯底；在所述GeOI襯底上制作AlAs/Ge/AlAs結(jié)構(gòu)的Ge基SPiN二極管；由多個(gè)所述AlAs/Ge/AlAs結(jié)構(gòu)的Ge基SPiN二極管依次首尾相連形成SPiN二極管串；由多個(gè)所述SPiN二極管串制作所述第一天線臂和第二天線臂；在所述GeOI襯底上制作所述直流偏置線；在所述第一天線臂和第二天線臂上制作同軸饋線以形成所述可重構(gòu)偶極子天線，本發(fā)明制備的可重構(gòu)偶極子天線，通過(guò)金屬直流偏置線控制SPiN二極管導(dǎo)通，形成等離子天線臂的長(zhǎng)度可調(diào)，從而實(shí)現(xiàn)天線工作頻率的可重構(gòu)，具有易集成、可隱身、頻率可快速跳變的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：尹曉雪;張亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安科銳盛創(chuàng)新科技有限公司
文檔號(hào)碼：201611184373
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.20
技術(shù)公布日：2017.06.20