1.一種控制方法，其特征在于，
是EFEM中的晶圓搬運(yùn)部及裝載端口部的控制方法，所述EFEM具有：晶圓搬運(yùn)部，其具有向處理室搬運(yùn)的晶圓所通過的晶圓搬運(yùn)室；裝載端口部，其將形成于收納所述晶圓的容器的主開口與所述晶圓搬運(yùn)室氣密地連接，
所述控制方法具有：
將所述容器固定于所述裝載端口部的載置臺的工序；
在關(guān)閉了所述主開口的狀態(tài)下，在載置于所述載置臺上的所述容器的底面上所形成的多個(gè)底孔連接所述裝載端口部的底部嘴，并經(jīng)由所述底部嘴向所述容器的內(nèi)部進(jìn)行清潔化氣體的導(dǎo)入及氣體從所述容器的排出的第一清潔化工序；
停止清潔化氣體從所述底部嘴的導(dǎo)入，開放所述主開口，并將所述容器和所述晶圓搬運(yùn)室氣密地連接的連接工序；
從所述容器通過開放的所述主開口及所述晶圓搬運(yùn)室將所述晶圓搬運(yùn)至所述處理室，并從所述處理室通過所述晶圓搬運(yùn)室及開放的所述主開口將所述晶圓搬運(yùn)至所述容器的晶圓搬運(yùn)工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，
還具有檢測所述容器內(nèi)的清潔度的檢測工序，
所述連接工序在通過所述檢測工序檢測到所述容器內(nèi)超過規(guī)定的狀態(tài)而變得清潔之后進(jìn)行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的控制方法，其特征在于，
還具有經(jīng)由開放的所述主開口從所述晶圓搬運(yùn)室向所述容器的內(nèi)部導(dǎo)入氣體的第二清潔化工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的控制方法，其特征在于，
在所述第二清潔化工序中，利用將所述晶圓搬運(yùn)室內(nèi)的下降氣流的一部分導(dǎo)向所述主開口的整流板從所述晶圓搬運(yùn)室向所述容器的內(nèi)部導(dǎo)入氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的控制方法，其特征在于，
在所述第二清潔化工序中，經(jīng)由在所述第一清潔化工序中與所述底孔連接的所述底部嘴中的、與在所述容器的底面中相較于底面中央距所述主開口更遠(yuǎn)的位置形成的底孔連通的至少一個(gè)嘴，排出所述容器內(nèi)的氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的控制方法，其特征在于，
在所述第二清潔化工序中，經(jīng)由在所述第一清潔化工序中與所述底孔連接的所述底部嘴中的、與在所述容器的底面中相較于底面中央距所述主開口更遠(yuǎn)的位置形成的底孔連通的至少一個(gè)嘴，排出所述容器內(nèi)的氣體。