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柔性TFT基板及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12749667閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1、提供一剛性基板(10),在所述剛性基板(10)上涂布第一有機(jī)材料,形成一柔性襯底(11);

步驟2、在所述柔性襯底(11)上涂布第二有機(jī)材料,形成第一有機(jī)層(20),采用半透膜光罩對(duì)所述第一有機(jī)層(20)進(jìn)行圖形化處理,在所述第一有機(jī)層(20)上形成數(shù)個(gè)第一凹槽(21)、數(shù)個(gè)第二凹槽(22)、數(shù)個(gè)第三凹槽(23)、及數(shù)個(gè)第四凹槽(24),其中,所述第一凹槽(21)與所述第二凹槽(22)相交叉,所述第三凹槽(23)分別連通至所述第一凹槽(21)與第二凹槽(22),所述第四凹槽(24)與所述第三凹槽(23)相連通;

步驟3、在所述第一凹槽(21)中形成掃描線(31),同時(shí)在所述第三凹槽(23)中形成柵極(32),所述柵極(32)與所述掃描線(31)相連;

在所述掃描線(31)與柵極(32)上形成柵極絕緣層(40);

在所述柵極絕緣層(40)上對(duì)應(yīng)于所述柵極(32)的上方形成有源層(41);

在所述第二凹槽(22)中形成數(shù)據(jù)線(51),同時(shí)在所述第三凹槽(23)中形成源極(52)與漏極(53),所述源極(52)與所述數(shù)據(jù)線(51)相連,所述源極(52)與漏極(53)分別與所述有源層(41)的兩側(cè)相接觸;

在所述數(shù)據(jù)線(51)、源極(52)、漏極(53)、有源層(41)、及所述第四凹槽(24)的槽底上形成鈍化層(60),所述鈍化層(60)上設(shè)有對(duì)應(yīng)于所述漏極(53)上方的第一通孔(61);

在所述鈍化層(60)上對(duì)應(yīng)于所述第四凹槽(24)的槽底上方的區(qū)域形成像素電極(70),所述像素電極(70)經(jīng)由所述第一通孔(61)與所述漏極(53)相接觸;

步驟4、在所述第一有機(jī)層(20)上涂布第三有機(jī)材料,形成第二有機(jī)層(80);

步驟5、將所述柔性襯底(11)從所述剛性基板(10)上剝離,制得一柔性TFT基板(100)。

2.如權(quán)利要求1所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的槽底位于所述第一有機(jī)層(20)中或者所述柔性襯底(11)與所述第一有機(jī)層(20)相交接的表面上,所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的深度相同或不同。

3.如權(quán)利要求1所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述步驟2還包括:在所述第一有機(jī)層(20)上形成數(shù)個(gè)第五凹槽(25),所述第五凹槽(25)與所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)中的一個(gè)或多個(gè)相連通或者均不連通,所述第五凹槽(25)的槽底位于所述第一有機(jī)層(20)中或者所述柔性襯底(11)上與所述第一有機(jī)層(20)相交接的表面上,所述第五凹槽(25)與所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)中的一個(gè)或多個(gè)深度相同,或者與所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的深度均不相同。

4.如權(quán)利要求1所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述第一有機(jī)材料、第二有機(jī)材料、及第三有機(jī)材料分別包括聚碳酸酯、聚乙二醇對(duì)苯二甲酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜樹(shù)脂、及聚酰亞胺中的至少一種;

并且,所述第一有機(jī)材料與所述第二有機(jī)材料相同,所述步驟1中所述第一有機(jī)材料的涂布制程與所述步驟2中所述第二有機(jī)材料的涂布制程合并為同一個(gè)涂布制程。

5.如權(quán)利要求1所述的柔性TFT基板的制作方法,其特征在于,所述步驟4還包括:采用半透膜光罩對(duì)所述第二有機(jī)層(80)進(jìn)行圖形化處理,在所述第二有機(jī)層(80)上對(duì)應(yīng)所述像素電極(70)的上方形成第六凹槽(86),薄化位于所述像素電極(70)上方的第二有機(jī)層(80)的厚度。

6.一種柔性TFT基板,其特征在于,包括柔性襯底(11)、設(shè)于所述柔性襯底(11)上的第一有機(jī)層(20)、及設(shè)于所述第一有機(jī)層(20)上的第二有機(jī)層(80);

所述第一有機(jī)層(20)上設(shè)有數(shù)個(gè)第一凹槽(21)、數(shù)個(gè)第二凹槽(22)、數(shù)個(gè)第三凹槽(23)、及數(shù)個(gè)第四凹槽(24),其中,所述第一凹槽(21)與所述第二凹槽(22)相交叉,所述第三凹槽(23)分別連通至所述第一凹槽(21)與第二凹槽(22),所述第四凹槽(24)與所述第三凹槽(23)相連通;

所述第三凹槽(23)中設(shè)有從下到上依次層疊設(shè)置的柵極(32)、柵極絕緣層(40)、有源層(41)、源極(52)與漏極(53)、及鈍化層(60),所述有源層(41)對(duì)應(yīng)于所述柵極(32)的上方設(shè)置,所述源極(52)與漏極(53)分別與所述有源層(41)的兩側(cè)相接觸;

所述第一凹槽(21)中設(shè)有從下到上依次層疊設(shè)置的掃描線(31)與柵極絕緣層(40),所述掃描線(31)與所述柵極(32)相連;

所述第二凹槽(22)中設(shè)有從下到上依次層疊設(shè)置的數(shù)據(jù)線(51)與鈍化層(60),所述數(shù)據(jù)線(51)與所述源極(52)相連;

所述第四凹槽(24)中設(shè)有從下到上依次層疊設(shè)置的鈍化層(60)與像素電極(70);

所述鈍化層(60)上設(shè)有對(duì)應(yīng)于所述漏極(53)上方的第一通孔(61),所述像素電極(70)經(jīng)由所述第一通孔(61)與所述漏極(53)相接觸。

7.如權(quán)利要求6所述的柔性TFT基板,其特征在于,所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的槽底位于所述第一有機(jī)層(20)中或者所述柔性襯底(11)與所述第一有機(jī)層(20)相交接的表面上,所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的深度相同或不同。

8.如權(quán)利要求6所述的柔性TFT基板,其特征在于,所述第一有機(jī)層(20)上還設(shè)有數(shù)個(gè)第五凹槽(25),所述第五凹槽(25)與所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)中的一個(gè)或多個(gè)相連通或者均不連通,所述第五凹槽(25)的槽底位于所述第一有機(jī)層(20)中或者所述柔性襯底(11)上與所述第一有機(jī)層(20)相交接的表面上,所述第五凹槽(25)與所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)中的一個(gè)或多個(gè)深度相同,或者與所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的深度均不相同。

9.如權(quán)利要求6所述的柔性TFT基板,其特征在于,所述第二有機(jī)層(80)上對(duì)應(yīng)所述像素電極(70)的上方設(shè)有第六凹槽(86)。

10.如權(quán)利要求6所述的柔性TFT基板,其特征在于,所述柔性襯底(11)的材料、第一有機(jī)層(20)的材料、及第二有機(jī)層(80)的材料分別包括聚碳酸酯、聚乙二醇對(duì)苯二甲酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜樹(shù)脂、及聚酰亞胺中的至少一種;并且所述柔性襯底(11)的材料與所述第一有機(jī)層(20)的材料相同。

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