技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種裝置，所述裝置用于接合、尤其是臨時(shí)接合第一襯底(15)與第二襯底，所述裝置具有以下特征：??裝配裝置，所述裝配裝置用于利用所述裝配裝置的有效裝配面(7，7'，7"，7'"，7IV)來在裝配輪廓(8，8'，8"，8"'，8IV)上裝配所述第一襯底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一襯底(15)的外環(huán)區(qū)段(10)，??變形裝置，所述變形裝置用于可控制地使所述第一襯底(15)變形，其中，所述變形裝置可操作地構(gòu)造在所述外環(huán)區(qū)段內(nèi)，以及??用于接合所述第一襯底(15)與所述第二襯底()的接合裝置。此外，本發(fā)明涉及一種用于接合、尤其是臨時(shí)接合第一襯底(15)與第二襯底的方法，所述方法具有以下步驟、尤其是以下流程：??利用所述裝配裝置(1)的有效裝配面(7，7'，7"，7'"，7IV)來在裝配輪廓(8，8'，8"，8"')上裝配第一襯底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一襯底(15)的外環(huán)區(qū)段(10)，??通過用于可控制地使所述第一襯底(15)變形的變形裝置使所述第一襯底(15)在所述外環(huán)區(qū)段內(nèi)變形，??通過接合裝置來接合所述第一襯底(15)與所述第二襯底。

技術(shù)研發(fā)人員：T.瓦根萊特納
受保護(hù)的技術(shù)使用者：EV集團(tuán)E·索爾納有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2011.08.22
技術(shù)公布日：2017.07.11