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一種背照式圖像傳感器的背面結(jié)構(gòu)及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12275057閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種背照式圖像傳感器的背面結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

襯底,包括一凹槽和一感光二極管預(yù)制備區(qū);

所述凹槽的底部下方填埋有一金屬互聯(lián)層;

第一介質(zhì)層,覆蓋所述感光二極管預(yù)制備區(qū)處的所述襯底的表面;

第一氧化物層,覆蓋所述凹槽的底部和側(cè)壁,并且覆蓋所述第一介質(zhì)層的表面;

開口,同時(shí)穿過所述凹槽內(nèi)的所述第一氧化物層和所述凹槽的底部的所述襯底,終止于所述金屬互聯(lián)層;

第二介質(zhì)層,覆蓋所述第一氧化物層的表面,以及所述開口的側(cè)壁;

第一金屬層,覆蓋所述第二介質(zhì)層,并填充所述開口且與所述金屬互聯(lián)層接觸;

多個(gè)金屬柵格,由圖形化位于所述感光二極管預(yù)制備區(qū)的所述第二介質(zhì)層和一第一金屬層得到;

金屬墊,形成于所述凹槽內(nèi)的所述第一金屬層的表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背面結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

第二氧化物層,覆蓋每個(gè)所述金屬柵格的表面及側(cè)壁以對(duì)每個(gè)所述金屬柵格進(jìn)行保護(hù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背面結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬層由金屬鎢形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背面結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬柵格等間距分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背面結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬墊由金屬鋁形成。

6.一種背照式圖像傳感器的背面結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括:

步驟S1,制備一襯底,所述襯底包括一凹槽,一感光二極管預(yù)制備區(qū)以及填埋于所述凹槽的底部下方的一金屬互聯(lián)層;

步驟S2,于所述感光二極管預(yù)制備區(qū)處的所述襯底的表面覆蓋一第一介質(zhì)層;

步驟S3,于所述凹槽的底部和側(cè)壁以及所述第一介質(zhì)層的表面覆蓋一第一氧化物層;

步驟S4,同時(shí)穿過所述凹槽內(nèi)的所述第一氧化物層和所述凹槽的底部的所述襯底形成開口,所述開口終止于所述金屬互聯(lián)層;

步驟S5,于所述開口的側(cè)壁和所述第一氧化物層的表面覆蓋一第二介質(zhì)層;

步驟S6,制備一第一金屬層覆蓋所述第二介質(zhì)層并填充所述開口且與所述金屬互聯(lián)層接觸;

步驟S7,制備一第二金屬層覆蓋所述第一金屬層;

步驟S8,圖形化所述凹槽內(nèi)的所述第二金屬層,以于所述凹槽內(nèi)的所述第一金屬層表面形成一金屬墊;

步驟S9,圖形化所述感光二極管預(yù)制備區(qū)處的所述第二介質(zhì)層和所述第一金屬層,以于所述感光二極管預(yù)制備區(qū)處的所述第一氧化物層表面形成間隔分布的多個(gè)金屬柵格。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,還包括:

步驟S10,于每個(gè)所述金屬柵格的表面及側(cè)壁覆蓋一第二氧化物層,以對(duì)每個(gè)所述金屬柵格進(jìn)行保護(hù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述第一金屬層由金屬鎢形成。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述金屬柵格等間距分布。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述第二金屬層由金屬鋁形成。

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