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一種背照式圖像傳感器的背面結(jié)構(gòu)及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12275057

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本發(fā)明涉及一種圖像傳感器,尤其涉及一種背照式圖像傳感器的背面結(jié)構(gòu)及其制備方法。背景技術(shù)背照式圖像傳感器采用背面照度技術(shù),有效去除了光路徑上的讀取電路和互連,減少了中間環(huán)節(jié)光線的損失,得到更高量子效率,具有更佳的畫質(zhì)和更低的噪點(diǎn)等特性,已經(jīng)逐漸成為影像傳感器市場(chǎng)的主流?,F(xiàn)行的基于背面照度技術(shù)的圖像傳感器雖然已經(jīng)具備了更高量子效率和更低的噪點(diǎn)等特性,但是在現(xiàn)有的制備工藝中,鋁的圖形化和金屬柵格的形成中的曝光顯影和刻蝕制程難以掌控,往往需要通過(guò)對(duì)晶圓表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨等多道工序進(jìn)行配合,不僅制備過(guò)程...
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