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一種倒裝高壓芯片及其制作方法與流程

文檔序號:11837092閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,包括:

提供一襯底;

在所述襯底任意一表面形成多個(gè)發(fā)光微結(jié)構(gòu),所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)包括位于所述襯底表面的N型氮化鎵層,位于所述N型氮化鎵層表面的有源層和N型電極,位于所述有源層表面的P型氮化鎵層,位于所述P型氮化鎵層表面的金屬反射層,位于所述金屬反射層表面的P型電極, N型電極與P型電極之間相互絕緣;

將相連的發(fā)光微結(jié)構(gòu)的N型電極和P型電極連接形成串聯(lián)結(jié)構(gòu);

在所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)表面形成分布布拉格反射層;

在所述分布布拉格反射層表面形成N型焊盤和P型焊盤,所述N型焊盤連接所述N型電極,所述P型焊盤連接所述P型電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)為梯形結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)的形成過程為:

在襯底任意一表面形成N型氮化鎵層;

在N型氮化鎵層表面形成有源層;

在有源層表面形成P型氮化鎵層;

采用刻蝕工藝將N型氮化鎵層背離襯底一側(cè)的預(yù)設(shè)區(qū)域裸露;

在P型氮化鎵層表面形成金屬反射層;

在N型氮化鎵層的預(yù)設(shè)區(qū)域表面形成N型電極,且在金屬反射層表面形成P型電極,N型電極與P型電極之間相互絕緣;

沿N型氮化鎵層的預(yù)設(shè)區(qū)域邊緣對金屬反射層至N型氮化鎵層進(jìn)行刻蝕,以得到多個(gè)發(fā)光微結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,在形成所述P型氮化鎵層后,且刻蝕裸露所述N型氮化鎵層的預(yù)設(shè)區(qū)域前,所述制作方法還包括:

在所述P型氮化鎵層表面形成所述歐姆接觸層,其中,所述金屬反射層位于所述歐姆接觸層表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,在形成所述金屬反射層后,且形成所述N型電極和P型電極前,所述制作方法還包括:

在所述金屬反射層表面形成所述金屬擴(kuò)散阻擋層,其中,所述P型電極形成于所述金屬擴(kuò)散阻擋層背離所述襯底一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,在形成所述金屬反射層后,且形成所述N型電極和P型電極前,所述制作方法還包括:

形成覆蓋所述金屬反射層、且延伸覆蓋至所述N型氮化鎵層的預(yù)設(shè)區(qū)域的鈍化層;

其中,所述鈍化層對應(yīng)所述預(yù)設(shè)區(qū)域的區(qū)域設(shè)置有第一開口,以用于形成所述N型電極,以及,所述鈍化層對應(yīng)所述金屬反射層的區(qū)域設(shè)置有第二開口,以用于形成所述P型電極。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,采用橋接連接方式將相連的所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)的N型電極和P型電極形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,在電極形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)后,且形成所述分布布拉格反射層前,所述制作方法還包括:

將第所述襯底放置在氮?dú)猸h(huán)境中進(jìn)行高溫退火,形成良好的歐姆接觸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,采用電子束蒸發(fā)或磁控濺射的工藝在所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)表面形成所述分布布拉格反射層。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝高壓芯片的制作方法,其特征在于,所述分布布拉格反射層具有高鈍化性能和高反射性能。

11.一種倒裝高壓芯片,其特征在于,所述倒裝高壓芯片采用權(quán)利要求1~10任意一項(xiàng)所述的制作方法制作而成。

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