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一種金屬氧化膜電阻的多源蒸發(fā)式制備方法與流程

文檔序號:12369216閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種金屬氧化膜電阻的多源蒸發(fā)式制備方法,其特征在于其具體制備步驟為:

(1)將錫、銻、鎳分別放置在真空鍍膜機(jī)的三個不同的蒸發(fā)源內(nèi),設(shè)置蒸鍍時真空度達(dá)到8×10-4以上,鍍膜速度控制在30-50nm/s,蒸鍍時陶瓷基底呈旋轉(zhuǎn)狀態(tài);

(2)蒸鍍完畢取出冷卻后,置入紫外照射艙紫外照射處理40-50分鐘,再置入加熱爐中在120-140℃下烘烤30-40分鐘;

(3)烘烤結(jié)束后自然冷卻,再經(jīng)過涂漆、壓帽、焊引線、刻槽和涂外漆工序,得到金屬氧化膜電阻。

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