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三端自帶防護功能的垂直型恒流器件及其制造方法與流程

文檔序號:11956161閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明提供一種三端自帶防護功能的垂直型恒流器件及其制造方法,器件包括集成在同一硅基片上的恒流器件結構和雙向瞬態(tài)電壓抑制二極管結構;恒流器件結構和雙向瞬態(tài)電壓抑制二極管結構共用N型摻雜襯底、第三P型重摻雜區(qū)、陽極、N型摻雜外延層;恒流器件結構還包括:第一擴散P型阱區(qū)、N型重摻雜區(qū)、第一P型重摻雜區(qū)、N型溝道區(qū)、第一氧化層、第一金屬陰極,雙向瞬態(tài)電壓抑制二極管結構還包括:第二P型重摻雜區(qū)、第二氧化層、第二金屬陰極,本發(fā)明將雙向瞬態(tài)電壓抑制二極管和恒流器件集成在一起,使得恒流器件具備了一定的抗浪涌能力,增強了恒流器件以及由其組成的系統(tǒng)的可靠性,大大縮減了面積。

技術研發(fā)人員:喬明;方冬;于亮亮;李成州;李路;張波
受保護的技術使用者:電子科技大學
文檔號碼:201610604546
技術研發(fā)日:2016.07.27
技術公布日:2016.12.07

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