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一種LED芯片的制作方法及其制作設備與流程

文檔序號:11870208閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種LED芯片的制作方法,用于LED芯片制程,至少包括步驟:

S1、提供一晶圓,晶圓包括P型層、活性層、N型層;

S2、晶圓通過粘合工藝固定到承載盤上;

S3、對承載盤上的晶圓進行薄化;

S4、對承載盤上的晶圓進行DBR鍍膜;

S5、DBR鍍膜后取出承載盤,對承載盤上的晶圓進行分離工藝,分離晶圓與承載盤;

S6、再將晶圓切割成芯粒。

2.一種LED芯片的制作方法,用于LED芯片制程,至少包括步驟:

S1、提供一晶圓,晶圓包括P型層、活性層、N型層;

S2、晶圓通過粘合工藝固定到承載盤上;

S3、對承載盤上的晶圓進行薄化;

S4、對承載盤上的晶圓進行DBR鍍膜;

S5、DBR鍍膜后取出承載盤,將承載盤上的晶圓切割成芯粒;

S6、對承載盤上的晶圓進行分離,分離晶圓與承載盤。

3.根據權利要求1或2所述的一種LED芯片的制作方法,其特征在于,所述粘合工藝采用耐高溫蠟或耐高溫膠材將晶圓固定到承載盤上。

4.根據權利要求3所述的一種LED芯片的制作方法,其特征在于,所述耐高溫蠟或耐高溫粘合膠材熔點不小于DBR鍍膜的最高溫度。

5.根據權利要求1或2所述的一種LED芯片的制作方法,其特征在于,所述承載盤為陶瓷盤、金屬盤、SiO2盤、Si盤或SiC盤中的一種。

6.根據權利要求1或2所述的一種LED芯片的制作方法,其特征在于,所述DBR鍍膜的溫度不大于200℃。

7.根據權利要求1或2所述的一種LED芯片的制作方法,其特征在于,所述DBR鍍膜為濺鍍式。

8.一種LED芯片的制作設備,用于對承載盤上的晶圓進行DBR鍍膜,晶圓通過粘合工藝固定在承載盤上,其特征在于,所述制作設備至少包括腔體、承載盤固定裝置、DBR靶材、抽真空裝置,承載盤固定裝置用于固定承載盤,DBR靶材位于腔體內,工作時,抽真空裝置對腔體進行抽真空。

9.根據權利要求8所述的一種LED芯片的制作設備,其特征在于,所述承載盤固定裝置與導軌連接,具備在導軌上移動的功能。

10.根據權利要求8所述的一種LED芯片的制作設備,其特征在于,所述承載盤在DBR鍍膜時,豎直放置或水平放置。

11.根據權利要求8所述的一種LED芯片的制作設備,其特征在于,所述承載盤為陶瓷盤、金屬盤、SiO2盤、Si盤或SiC盤中的一種。

12.根據權利要求8所述的一種LED芯片的制作設備,其特征在于,所述承載盤為透明材料、半透明材料或者不透明材料中的一種。

13.根據權利要求8所述的一種LED芯片的制作設備,其特征在于,所述承載盤固定裝置、DBR靶材至少各有兩個。

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