1.一種用于形成圖案的方法,所述方法包括:
在底層之上形成橢圓形柱體,其中,柱體組合而形成菱形陣列,使得分離空間位于菱形陣列的中心;
以大體上共形的方式形成包圍柱體的引導(dǎo)晶格,使得在分離空間內(nèi)限定第一窗口;
去除柱體以形成第二窗口;
形成填充第一窗口和第二窗口的嵌段共聚物層;
將第一窗口內(nèi)的嵌段共聚物層相分離成第一區(qū)域和第一矩陣;
將每個第二窗口內(nèi)的嵌段共聚物層相分離成多個第二區(qū)域和第二矩陣;以及
去除第一區(qū)域和多個第二區(qū)域,以分別形成第一開口和多個第二開口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,
其中,柱體包括第一柱體、第二柱體、第三柱體和第四柱體,
其中,每個柱體包括突出側(cè)和長側(cè),
其中,長側(cè)與突出側(cè)連續(xù)地連接,
其中,第一柱體和第二柱體的突出側(cè)彼此面對,以及
其中,第三柱體和第四柱體的長度彼此面對。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,
其中,每個柱體具有在長軸方向上的第一寬度和在短軸方向上的第二寬度,以及
其中,第一寬度和第二寬度彼此不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,
其中,分離空間具有第三寬度,
其中,第一寬度比第三寬度大,以及
其中,第二寬度比第三寬度小。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,形成引導(dǎo)晶格包括:
形成覆蓋柱體的引導(dǎo)層;以及
執(zhí)行針對引導(dǎo)層的各向異性刻蝕,以形成引導(dǎo)晶格。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,
其中,每個柱體具有橢圓形形狀,以及
其中,柱體的長軸彼此沿相同的方向延伸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,
其中,形成在每個第二窗口內(nèi)的多個第二區(qū)域的數(shù)目為2。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,
其中,形成在第二窗口內(nèi)的多個第二區(qū)域組合而形成六邊形圖案,以及
其中,第一區(qū)域位于六邊形圖案的中心。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括:
圖案化底層,以形成通孔,
其中,通孔從第一開口和多個第二開口延伸。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,
其中,通過將第一矩陣和第二矩陣以及引導(dǎo)晶格組合用作刻蝕掩模來刻蝕底層而形成通孔。
11.一種用于形成圖案的方法,所述方法包括:
在底層之上形成引導(dǎo)晶格,使得在底層之上限定第一窗口和多個第二窗口,其中,多個第二窗口組合形成菱形圖案,其中,每個第二窗口具有細長的結(jié)構(gòu),以及其中,第一窗口位于菱形圖案的中心;
形成填充第一窗口和多個第二窗口的嵌段共聚物層;
將第一窗口內(nèi)的嵌段共聚物層相分離成第一區(qū)域和第一矩陣;
將每個第二窗口內(nèi)的嵌段共聚物層相分離成多個第二區(qū)域和第二矩陣;以及
去除第一區(qū)域和多個第二區(qū)域,以分別形成第一開口和多個第二開口。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,
其中,多個第二窗口的數(shù)目為四個,
其中,多個第二窗口中的每個具有突出側(cè)和長側(cè),
其中,長側(cè)與突出側(cè)連續(xù)地連接,
其中,多個第二窗口中的兩個的突出側(cè)面對第一窗口,以及
其中,其余的兩個第二窗口的長側(cè)面對第一窗口。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,
其中,多個第二窗口中的每個具有長軸寬度和短軸寬度,以及
其中,長軸寬度與短軸寬度不同。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法,
其中,第一窗口具有第一寬度,
其中,長軸寬度比第一寬度大,以及
其中,短軸寬度比第一寬度小。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,
其中,第一窗口為圓形孔或者正方形孔。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法,
其中,多個第二窗口的長軸彼此在相同的方向上延伸。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,
其中,形成在每個第二窗口內(nèi)的多個第二區(qū)域的數(shù)目為二個。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,
其中,形成在第二窗口內(nèi)的多個第二區(qū)域組合而形成六邊形圖案,以及
其中,第一區(qū)域位于六邊形圖案的中心。
19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,還包括:
圖案化底層,以形成通孔,
其中,通孔從第一開口和第二開口延伸。
20.一種用于制造圖案的方法,所述方法包括:
在底層之上形成橢圓形柱體,使得在柱體之間限定分離空間;
形成包圍柱體的引導(dǎo)晶格,使得在分離空間內(nèi)形成第一窗口;
去除柱體,以形成第二窗口;
形成填充第一窗口和第二窗口的嵌段共聚物層;
將第一窗口內(nèi)的嵌段共聚物層相分離成第一區(qū)域和第一矩陣;
將每個第二窗口內(nèi)的嵌段共聚物層相分離成多個第二區(qū)域和第二矩陣;以及
去除第一區(qū)域和第二區(qū)域,以分別形成第一開口和多個第二開口。