技術(shù)編號：12788027
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于形成蜂窩陣列的圖案的方法相關(guān)申請的交叉引用本申請要求于2015年12月23日提交的申請?zhí)枮?0-2015-0184670的韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用合并于此。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明的各種實(shí)施例涉及半導(dǎo)體技術(shù)，更具體地，涉及用于形成蜂窩陣列的精細(xì)圖案的方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速地增長，已經(jīng)致力于實(shí)現(xiàn)具有高器件密度的集成度更高的電路。為了降低半導(dǎo)體器件的單位單元所占據(jù)的面積，并且將更多的器件集成在半導(dǎo)體襯底的有限面積中，已經(jīng)試驗(yàn)了各種技術(shù)，實(shí)現(xiàn)具有小到幾納米至幾十納米的臨界尺寸(CD...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。