1.一種模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置包括：
第一惰性氣體容器，該第一惰性氣體容器具有第一惰性氣體濃度；
封閉在所述第一惰性氣體容器內(nèi)的第二惰性氣體容器，該第二惰性氣體容器具有第二惰性氣體濃度，該第二惰性氣體濃度比所述第一惰性氣體濃度高；
鍵合頭，該鍵合頭位于所述第二惰性氣體容器中用于接收待鍵合模片；以及
第三惰性氣體容器，該第三惰性氣體容器具有與所述第一惰性氣體容器和所述第二惰性氣體容器分離并且能夠定位基板以鍵合模片的惰性氣體環(huán)境；
其中，所述鍵合頭操作成在所述第二惰性氣體容器內(nèi)的第一位置和所述第三惰性氣體容器內(nèi)的第二位置之間移動(dòng)所述模片，以將所述模片鍵合到位于所述第三惰性氣體容器中的所述基板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模片鍵合裝置，其中所述第三惰性氣體容器位于所述第一惰性氣體容器的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模片鍵合裝置，其中所述第三惰性氣體容器安裝在鍵合段上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模片鍵合裝置，其中所述鍵合段包括位于該鍵合段的周緣處的壁，并且所述壁包括多個(gè)惰性氣體出口以朝向所述第一惰性氣體容器排出惰性氣體，以形成空氣簾來(lái)限制周圍空氣進(jìn)入所述第三惰性氣體容器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的模片鍵合裝置，其中所述鍵合段位于所述第一惰性氣體容器和所述第二惰性氣體容器的下方，并且在所述鍵合段的所述壁和所述第一惰性氣體容器之間存在間隙，該間隙允許所述鍵合段相對(duì)于所述第一惰性氣體容器和所述第二惰性氣體容器移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模片鍵合裝置，其中所述鍵合段包括用于存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)噴嘴的附加存儲(chǔ)空間，所述一個(gè)或多個(gè)噴嘴能夠安裝在所述鍵合頭上，其中所述附加存儲(chǔ)空間與所述基板可定位以進(jìn)行模片鍵合所在的位置相鄰。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模片鍵合裝置，其中所述鍵合段可在加載位置和鍵合位置之間移動(dòng)，所述基板在所述加載位置被加載到所述鍵合段上，所述模片在所述鍵合位置被鍵合到所述基板。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置還包括轉(zhuǎn)移臂，該轉(zhuǎn)移臂操作成輸送所述基板并且在所述鍵合段位于所述加載位置時(shí)將所述基板放置到所述鍵合段上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模片鍵合裝置，其中：
所述第一惰性氣體容器包括第一容器開(kāi)口；
所述第二惰性氣體容器包括第二容器開(kāi)口；以及
所述第一容器開(kāi)口和所述第二容器開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)以允許所述鍵合頭延伸穿過(guò)所述各個(gè)開(kāi)口以將所述模片鍵合到所述基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置還包括模片輸送器，該模片輸送器操作成將所述模片輸送到位于所述第一惰性氣體容器中的拾取位置，其中所述拾取位置與所述第一容器開(kāi)口和所述第二容器開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)，以允許所述鍵合頭移動(dòng)到所述拾取位置以從所述模片輸送器拾取所述模片。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置還包括位于所述第一惰性氣體容器的側(cè)壁上的模片輸送器開(kāi)口，其中模片轉(zhuǎn)移臂操作成延伸穿過(guò)所述模片輸送器開(kāi)口，以將所述模片輸送到所述模片輸送器。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的模片鍵合裝置，其中所述第一容器開(kāi)口包括在基板中，該基板包括：
第一板，該第一板包括第一板孔；以及
與所述第一板間隔開(kāi)的第二板，該第二板包括與所述第一板孔對(duì)準(zhǔn)的第二板孔，所述第一板孔和所述第二板孔一起形成所述第一容器開(kāi)口。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置還包括與所述基板連接的排氣裝置，以將來(lái)自所述第一容器開(kāi)口的空氣引入所述第一板和所述第二板之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置還包括與所述第二惰性氣體容器連接的第二容器惰性氣體供應(yīng)裝置，以向所述第二惰性氣體容器供應(yīng)惰性氣體，其中所述第一惰性氣體容器從所述第二惰性氣體容器的溢流接收來(lái)自所述第二容器惰性氣體供應(yīng)裝置的惰性氣體，并且無(wú)惰性氣體供應(yīng)裝置被直接連接到所述第一惰性氣體容器。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的模片鍵合裝置，其中所述第二容器惰性氣體供應(yīng)裝置包括多個(gè)惰性氣體出口，所述多個(gè)惰性氣體出口均勻地間隔開(kāi)以將圍繞定位在所述第二惰性氣體容器內(nèi)的所述鍵合頭的層流引向所述第二惰性氣體容器的開(kāi)口。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模片鍵合裝置，該模片鍵合裝置還包括位于所述第二惰性氣體容器的側(cè)壁處的透明窗口，以允許用戶觀察所述第二惰性氣體容器。