技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種鰭式場效應(yīng)管及其形成方法，鰭式場效應(yīng)管的形成方法包括：在鰭部的頂部和側(cè)壁表面形成第一氧化層；去除所述第一區(qū)域的第一氧化層，暴露出第一區(qū)域的鰭部表面；在所述第一區(qū)域的鰭部表面形成第二氧化層；在所述第一氧化層上以及第二氧化層上形成刻蝕阻擋層；在所述刻蝕阻擋上形成隔離層，所述隔離層填充滿相鄰鰭部之間的區(qū)域；回刻蝕去除部分厚度的隔離層形成隔離結(jié)構(gòu)，所述隔離結(jié)構(gòu)頂部低于鰭部頂部；去除高于所述隔離結(jié)構(gòu)頂部的刻蝕阻擋層，暴露出所述第二氧化層。本發(fā)明避免隔離結(jié)構(gòu)損失的問題，并且還避免了有效鰭部底部寬度尺寸變大的問題，從而顯著的改善了短溝道效應(yīng)問題，提高了形成的鰭式場效應(yīng)管的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：李勇
受保護的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.05
技術(shù)公布日：2017.11.14