本發(fā)明涉及一種激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法。

背景技術(shù)：

準(zhǔn)同步激光掃描方式運用于玻璃料封裝中，具有工藝區(qū)間寬，產(chǎn)率高，沿掃描向溫度分布均勻性好等優(yōu)點。其中，有機發(fā)光二極管(organiclight-emittingdiode，oled)顯示器為典型的玻璃封裝體。玻璃封裝體，包括上下基板玻璃以及位于上下基板玻璃之間的玻璃料，oled層和電極，玻璃料一般設(shè)置成圓角矩形形狀的密封線。近年來，一種使用玻璃料輔助激光加熱的密封方法被應(yīng)用于oled顯示器的密封。其中所述的玻璃料摻雜有對特定光波長具有高吸收率的材料，具有低熔點的特性。通過采用高能激光器加熱并軟化玻璃料，使其上有玻璃料的上基板玻璃和其上有oled的下基板玻璃之間形成氣密式密封。激光器輸出可控的激光能量依次照射涂覆玻璃料的密封線，使所述玻璃料先后加熱軟化，形成氣密式密封。然而在實際應(yīng)用中，由于聚焦在玻璃料層的激光光斑的形狀為圓形，均勻性(10％-20％)等特性約束，造成玻璃料沿非掃描向的各點在封裝過程中獲得的光斑劑量不均勻，從中間對稱點向兩側(cè)呈由高向低的劑量分布，從而進(jìn)一步導(dǎo)致玻璃料沿非掃描向的溫度分布不均勻。這種溫度場的不均勻性對工藝窗口產(chǎn)生惡化作用，更容易出現(xiàn)封裝玻璃料中心因為溫度過高導(dǎo)致的過燒，白孔現(xiàn)象與玻璃料邊緣因為溫度過低導(dǎo)致的鍵合比不達(dá)標(biāo)現(xiàn)象。

現(xiàn)有技術(shù)中提供一種解決上述問題的方式是使用特定能量分布的激光光斑，例如m型分布，來掃描玻璃料，獲取相對均勻的封裝溫度場。然而這種方法需要在激光封裝系統(tǒng)中增加額外的光斑整形器件，同時該方法應(yīng)對不同線寬的玻璃料封裝時，適應(yīng)性較差。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，克服以上不足，提供了一種激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，以解決玻璃封裝體的玻璃料在非掃描向的溫度分布不均勻的問題，有利于提高玻璃封裝體的封裝質(zhì)量。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，包括以下步驟：

步驟s1，以玻璃封裝體的玻璃料形成的密封線為掃描向，使激光光斑的幾何中心沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線的任意一側(cè)偏移一定距離的方式使激光光斑投射到玻璃料上掃描形成第一個周期；

步驟s2，以玻璃封裝體的玻璃料形成的密封線為掃描向，使激光光斑的幾何中心沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線的另外一側(cè)偏移一定距離的方式使激光光斑投射到玻璃料上掃描形成第二個周期；

步驟s3，將所述第一個周期和所述第二個周期設(shè)為一個循環(huán)周期，至少掃描一次所述循環(huán)周期，以將玻璃料熔化，使玻璃封裝體的上基板玻璃與下基板玻璃連接在一起，形成氣密式密封封裝。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述第一個周期和所述第二個周期均為單獨的一次掃描的方式形成，所述第一個周期的激光光斑與所述第二個周期的激光光斑不存在過渡區(qū)域。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述第一個周期和第二個周期為一次性掃描的方式形成；其中，所述第一個周期的激光光斑與所述第二個周期的激光光斑存在過渡區(qū)域。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在所述過渡區(qū)域中，所述第一個周期的激光光斑與所述第二個周期的激光光斑采用交叉式路徑切換方式過渡。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在所述過渡區(qū)域中，所述第一個周期的激光光斑與所述第二個周期的激光光斑采用重疊式路徑切換方式過渡。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，掃描所述第一個周期與掃描所述第二個周期的過程中，激光光斑的幾何中心與玻璃料形成的密封線的對稱中心線之間的偏移距離相等，所述偏移距離為δ應(yīng)滿足：r+ δ<la；其中，r為激光光斑的半徑，la為玻璃料沿掃描向的對稱中心線與主動區(qū)之間的距離。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述激光光斑的半徑為滿足：w/2<r<la；其中，w為玻璃料的線寬，la為玻璃料沿掃描向的對稱中心線與主動區(qū)之間的距離。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述激光光斑的形狀為圓形，所述激光光斑的半徑為所述圓形的半徑。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述激光光斑的形狀為正多邊形，所述激光光斑的半徑為所述正多邊形的外接圓的半徑。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述激光光斑的半徑與偏移距離的關(guān)系應(yīng)滿足：δ<r，w/2<r-δ<la-2δ；其中，w為玻璃料的線寬，r為激光光斑的半徑，la為玻璃料沿掃描向的對稱中心線與主動區(qū)之間的距離，δ為激光光斑的幾何中心與玻璃料形成的密封線的對稱中心線之間的偏移距離。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述任意一側(cè)和所述另外一側(cè)，均指激光光斑與所述密封線的掃描向的對稱中心線的內(nèi)側(cè)或外側(cè)，并且所述任意一側(cè)與所述另外一側(cè)為互補方式。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述激光光斑與所述密封線的掃描向的對稱中心線的內(nèi)側(cè)，是指玻璃料形成的密封線的圖案的密閉區(qū)域方向；所述激光光斑與所述密封線的掃描向的對稱中心線的外側(cè)，是指玻璃料形成的密封線的圖案的開放區(qū)域方向。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，將所述過渡區(qū)域設(shè)置在所述密封線的直線區(qū)域，并且將所述過渡區(qū)域與所述密封線的轉(zhuǎn)折區(qū)域間隔一段距離設(shè)置。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在單次掃描所述循環(huán)周期時，將所述過渡區(qū)域設(shè)置為一個。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在多次掃描所述循環(huán)周期時，將所述過渡區(qū)域設(shè)置為一個或多個。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，激光光斑 在所述過渡區(qū)域的運動軌跡存在相交區(qū)域，在同一偏移方向的運動軌跡線上，激光光斑的起點和終點之間的距離s應(yīng)滿足：s<2r；其中，r為激光光斑的半徑。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，當(dāng)所述密封線為單一段直線時，在所述步驟s1中，還包括以所述單一段直線的第一端為起點開始掃描至所述單一段直線的第二端為終點，使激光光斑投射到玻璃料上形成第一個周期的步驟；在所述步驟s2中，還包括從第一個周期的終點空跳轉(zhuǎn)到第二個周期的起點的步驟，以所述單一段直線的一端為起點開始掃描至所述單一段直線的另一端為終點，使激光光斑投射到玻璃料上形成第二個周期的步驟；

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在多次掃描所述循環(huán)周期時，包括從第二個周期的終點空跳轉(zhuǎn)到第一個周期的起點的步驟；當(dāng)前第一個周期的起點與上一個第一個周期的起點或終點落在所述單一段直線的同一端時，將當(dāng)前第一個周期的起點與上一個第一個周期的起點或終點間隔一段步進(jìn)距離設(shè)置。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在多次掃描所述循環(huán)周期時，從第一個周期的終點空跳轉(zhuǎn)到第二個周期的起點的步驟中；當(dāng)前第二個周期的起點與上一個第二個周期的起點或終點落在所述單一段直線的同一端時，將當(dāng)前第二個周期的起點與上一個第二個周期的起點或終點間隔一段步進(jìn)距離設(shè)置。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述步進(jìn)距離為l2，應(yīng)滿足：l2＝l/m；其中，m為周期的次數(shù)，l為單一段直線的長度。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在多次掃描所述循環(huán)周期時，所述激光光斑的能量采用保持不變或者可變的方式進(jìn)行。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在玻璃封裝體的氣密式密封封裝過程中，將激光光斑的能量設(shè)置為可變的方式，并且將玻璃封裝體的玻璃料形成的密封線的直線區(qū)域的激光光斑的能量強度大于玻璃封裝體的玻璃料形成的密封線的彎折區(qū)域的激光光斑的能量強度的方式進(jìn)行掃描。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在玻璃封裝體的氣密式密封封裝過程中，將激光光斑的能量設(shè)置為可變的方式，并且將玻璃封裝體的玻璃料形成的密封線的直線區(qū)域的激光光斑的能量強度大于玻璃封裝體的電極區(qū)域的激光光斑的能量強度的方式進(jìn)行掃描。

本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，以玻璃料形成的密封線為掃描向，使激光光斑的幾何中心與所述密封線的對稱中心線偏移一定距離的方式使激光光斑投射到玻璃料上掃描形成第一個周期和第二個周期。即第一個周期和第二個周期分布在密封線的對稱中心線的兩側(cè)，通過一次或多次的掃描循環(huán)周期使玻璃料熔化，從而將玻璃封裝體的上基板玻璃與下基板玻璃通過玻璃料連接在一起，形成氣密式的密封封裝體結(jié)構(gòu)。本發(fā)明激光光斑的掃描分布在玻璃料形成的密封線的對稱中心線的兩側(cè)，均化了玻璃料在垂直方向的非掃描向的掃描區(qū)域，從而改善了玻璃料在非掃描向的溫度分布，因此，能夠提高玻璃封裝體的密封質(zhì)量。另外，還可以根據(jù)實際制造的需要，設(shè)定激光光斑的幾何中心與玻璃料形成的密封線的對稱中心線的偏移距離，形成適合寬度的激光掃描區(qū)域，從而改善玻璃料在非掃描向的溫度分布。與現(xiàn)有技術(shù)中在密封線的對稱中心線的位置掃描相比，本發(fā)明克服了玻璃料在非掃描向造成的溫度分布不均勻，以及玻璃料在非掃描向呈現(xiàn)中間高兩邊低的溫度分布的問題。本發(fā)明通過將激光光斑分布在玻璃料的密封線的對稱中心線的兩側(cè)掃描，避免了激光光斑為圓形形狀以及10％-20％的均勻性對玻璃料非掃描向的溫度分布不均勻的影響。并且能夠避免玻璃料在非掃描向溫度分布的不均勻性對工藝窗口產(chǎn)生惡化的影響，不會出現(xiàn)封裝玻璃料的對稱中心溫度過高導(dǎo)致的過燒、白孔現(xiàn)象與玻璃料邊緣溫度過低導(dǎo)致的鍵合比不達(dá)標(biāo)現(xiàn)象。

附圖說明

圖1是激光掃描封裝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是玻璃封裝體的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是激光光斑偏移結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是一實施例的激光光斑掃描軌跡示意圖；

圖5-6是激光光斑掃描軌跡過渡區(qū)域的示意圖；

圖7是另一實施例的激光光斑掃描軌跡的示意圖；

圖8是改進(jìn)的準(zhǔn)同步掃描方案掃描軌跡示意圖；

圖9是激光光斑掃描時在玻璃料非掃描向的溫度分布圖；

圖10是激光掃描玻璃封裝體的封裝方法的流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細(xì)描述：

圖1是激光掃描封裝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是玻璃封裝體的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。請參考圖1-2，本實施方式提供一種激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，用于對oled顯示器120采用玻璃料形成氣密式密封，其中，oled顯示器120是典型的玻璃封裝體，所述oled顯示器120其主要結(jié)構(gòu)包括上基板玻璃121、玻璃料122、下基板玻璃123、oled層125和電極124。其中，所述玻璃料122位于oled顯示器120的下基板玻璃123上。所述玻璃料122通過絲網(wǎng)印刷、預(yù)燒結(jié)步驟預(yù)固化在下基板玻璃123上，形成具有一定厚度的圓角矩形密封線。下基板玻璃123上的oled層125位于玻璃料122密封線的內(nèi)側(cè)，同時下基板玻璃123上存在連接oled顯示器120內(nèi)外部的電極124。

請參考圖1，在本實施例采用的激光掃描密封玻璃封裝體的系統(tǒng)包括：控制器模塊110、激光掃描模塊111以及激光器模塊112，其中，所述控制器模塊110分別與所述激光器模塊112、激光掃描模塊111相連，用于控制所述激光器模塊112及所述激光掃描模塊111，所述激光器模塊112與激光掃描模塊111相連，所述激光器模塊112用于生成激光，以預(yù)定功率將激光發(fā)送至所述激光掃描模塊111，所述激光掃描模塊111用于改變激光傳送方向及運動特征；所述系統(tǒng)還包括計算機114，所述計算機114與所述控制器模塊110相連，用于與所述控制器模塊110進(jìn)行數(shù)據(jù)交換?？蛇x的，本實施例中的激光掃描密封玻璃封裝體的系統(tǒng)，還可以采用帶有溫度測量控制模塊113的系統(tǒng)。所述溫度測量控制模塊113與所述控制器模塊110相連，用于測量激光照射至玻璃料122表面上激光光斑117的實時溫度，并將激光光斑117的實時溫度反饋至所述控制器模塊110。所述溫度測量控制模塊113能夠非接觸的、實時的測量激光光斑117所在位置的玻璃料122的溫度，并將其反饋至控制器模塊110，其一特征為，當(dāng)激光光斑 117作高速運動時，所述溫度測量控制模塊113仍能有足夠的時間/空間分辨率來測量激光光斑117所在處玻璃料122的溫度?？刂破髂K110能夠采集處理溫度測量控制模塊113反饋的溫度信號，并與激光器模塊112通過控制信號構(gòu)成閉環(huán)控制回路。閉環(huán)控制回路具有匹配或高于激光掃描模塊的控制分辨率。

圖4是一實施例的激光光斑掃描軌跡示意圖；圖7是另一實施例的激光光斑掃描軌跡的示意圖；圖10是激光掃描玻璃封裝體的封裝方法的流程圖。請參考圖4、圖7、圖10，本實施例提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，包括以下步驟：

步驟s1，以玻璃封裝體的玻璃料122形成的密封線為掃描向，使激光光斑117的幾何中心沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的任意一側(cè)偏移一定距離δ的方式使激光光斑117投射到玻璃料122上掃描形成第一個周期；即可以先沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的內(nèi)側(cè)掃描形成第一個周期，也可以先沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的外側(cè)掃描形成第一個周期；

步驟s2，以玻璃封裝體的玻璃料122形成的密封線為掃描向，使激光光斑117的幾何中心沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的另外一側(cè)偏移一定距離δ的方式使激光光斑117投射到玻璃料122上掃描形成第二個周期；即可以先沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的外側(cè)掃描形成第一個周期，也可以先沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的內(nèi)側(cè)掃描形成第一個周期；

步驟s3，將所述第一個周期和所述第二個周期設(shè)為一個循環(huán)周期，至少掃描一次所述循環(huán)周期，以將玻璃料122熔化，使玻璃封裝體的上基板玻璃121與下基板玻璃123連接在一起，形成氣密式密封封裝。

其中，所述任意一側(cè)和所述另外一側(cè)，均指激光光斑117與所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的內(nèi)側(cè)或外側(cè)，其中，內(nèi)側(cè)是指玻璃料122形成的密封線的圖案的密閉區(qū)域方向，即密封線的密閉區(qū)以內(nèi)的方向；外側(cè)是指玻璃料122形成的密封線的圖案的開放區(qū)域方向，即密封線的密閉區(qū)以外的方向。其中，第一個周期與第二個周期為互補方式，是指第一個周期為內(nèi)側(cè)時，則第二個周期為外側(cè)；第一個周期為外側(cè)時，則第二個周期為內(nèi)側(cè)。

在該掃描循環(huán)周期內(nèi)，控制器模塊110控制激光掃描模塊111和激光器模塊112，使激光功率與掃描位置/速度相匹配，在預(yù)定的位置按特定方式發(fā)生線性或非線性的變化。這種線性或非線性變化的控制方式可以是前饋的，也可以是利用溫度測量控制模塊113的溫度反饋閉環(huán)式的控制。

本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，以玻璃料122形成的密封線為掃描向，使激光光斑117的幾何中心與所述密封線的對稱中心線122a偏移一定距離δ的方式使激光光斑117投射到玻璃料122上掃描形成第一個周期和第二個周期。即第一個周期和第二個周期分布在密封線的對稱中心線122a的兩側(cè)，通過一次或多次的掃描循環(huán)周期使玻璃料122熔化，從而將玻璃料122封裝體的上基板玻璃121與下基板玻璃123通過玻璃料122連接在一起，形成氣密式的密封封裝體結(jié)構(gòu)。本發(fā)明激光光斑117的掃描分布在玻璃料122形成的密封線的對稱中心線122a的兩側(cè)，均化了玻璃料122在垂直方向的非掃描向的掃描區(qū)域，從而改善了玻璃料122在非掃描向的溫度分布，因此能夠提高玻璃封裝體的密封質(zhì)量。另外，還可以根據(jù)實際制造的需要，設(shè)定激光光斑117的幾何中心與玻璃料122形成的密封線的對稱中心線122a的偏移距離δ，形成適合寬度的激光掃描區(qū)域，從而改善玻璃料122在非掃描向的溫度分布。與現(xiàn)有技術(shù)中在密封線的對稱中心線122a的位置掃描相比，克服了玻璃料122在非掃描向造成的溫度分布不均勻，以及玻璃料122在非掃描向呈現(xiàn)中間高兩邊低的溫度分布的問題。本發(fā)明通過將激光光斑117分布在玻璃料122的密封線的對稱中心線122a的兩側(cè)掃描，避免了激光光斑117為圓形形狀以及10％-20％的均勻性對玻璃料122非掃描向的溫度分布不均勻的不利影響；避免了玻璃料122溫度場的不均勻性對工藝窗口產(chǎn)生惡化的影響，不會出現(xiàn)封裝玻璃料的對稱中心122a因為溫度過高導(dǎo)致的過燒、白孔現(xiàn)象與玻璃料邊緣因為溫度過低導(dǎo)致的鍵合比不達(dá)標(biāo)現(xiàn)象。

請參考圖7，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述第一個周期和所述第二個周期均為單獨的一次掃描的方式形成，所述第一個周期的激光光斑117與所述第二個周期的激光光斑117不存在過渡區(qū)域。即第一個周期和第一個周期的掃描均為單獨掃描，不存在交叉。此種方式，避免了交叉點的激光的重復(fù)掃描，避免了交叉點的存在激光能量高而導(dǎo)致形成oled顯示器 120的壽命低的缺陷。

圖5-6是激光光斑掃描軌跡過渡區(qū)域的示意圖。請參考圖4至6，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述第一個周期和第二個周期為一次性掃描的方式形成；其中，所述第一個周期的激光光斑117與所述第二個周期的激光光斑117存在過渡區(qū)域o。此種方式，一次性形成一個或者多個循環(huán)周期，在多個循環(huán)周期掃描時，也能夠一次性不間斷的掃描完成，具有快速、高效、操作簡便的優(yōu)點；并且能夠避免不交叉方式中多次重復(fù)打開和關(guān)閉激光的困擾，使玻璃料122在持續(xù)受激光光斑117照射的過程中快速熔化，以與上下基板玻璃形成密封封裝體。請參考圖5，其中，所述過渡區(qū)域o中，所述第一個周期的激光光斑117與所述第二個周期的激光光斑117采用交叉式路徑切換方式過渡。其為點重合，具有減少重復(fù)掃描玻璃料的重合區(qū)域，避免過渡區(qū)域o的重復(fù)掃描面積過大，以造成重復(fù)掃描區(qū)域的溫度過高而對玻璃封裝體的質(zhì)量產(chǎn)生的不利影響。請參考圖6，所述過渡區(qū)域o中，所述第一個周期的激光光斑117與所述第二個周期的激光光斑117還可以采用重疊式路徑切換方式過渡，即為線重合。

請參考圖4，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，將所述過渡區(qū)域o設(shè)置在所述密封線的直線區(qū)域，并且將所述過渡區(qū)域o與所述密封線的轉(zhuǎn)折區(qū)域間隔一段距離設(shè)置。即過渡區(qū)域o設(shè)置在圓角矩形玻璃料122的四條邊的任意一段直線區(qū)域，不設(shè)置在圓角矩形玻璃料122的拐角、轉(zhuǎn)角或?qū)Ы堑绒D(zhuǎn)折區(qū)域。

作為較佳的實施方式，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在多次掃描所述循環(huán)周期時，所述過渡區(qū)域o設(shè)置可以設(shè)置為一個或多個。例如在掃描10個循環(huán)周期時，可以設(shè)置1到10個過渡區(qū)域o。設(shè)置多個過渡區(qū)域o能夠使過渡區(qū)域o分散在所述密封線的直線區(qū)域，避免同一個過渡區(qū)域的溫度過于集中造成溫度過高的危險。在單次掃描所述循環(huán)周期時，將所述過渡區(qū)域o設(shè)置為一個。

作為較佳的實施方式，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，所述激光光斑117的形狀為圓形，所述激光光斑117的半徑為所述圓形的半徑。所述激光光斑117的形狀還可以是正多邊形，所述激光光斑117的半徑為所述 正多邊形的外接圓的半徑。也就是說，本實施例不必對激光進(jìn)行特別形狀例如“m”形狀的整形處理。

請參考圖3，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，掃描所述第一個周期與掃描所述第二個周期的過程中，激光光斑117的幾何中心與玻璃料122形成的密封線的對稱中心線122a之間的偏移距離δ相等，即兩側(cè)的偏移距離δ相等；所述偏移距離為δ應(yīng)滿足：r+δ<la；其中，r為激光光斑117的半徑，la為玻璃料122沿掃描向的對稱中心線122a距離主動區(qū)(activearea，a-a)的距離，所述主動區(qū)可以是指半導(dǎo)體元件的主動元件區(qū)域，如發(fā)光顯示器件中間的熱敏材料區(qū)。其中，所述激光光斑117的半徑為滿足：w/2<r<la；其中，w為玻璃料122的線寬，la為玻璃料122沿掃描向的對稱中心線122a距離主動區(qū)。作為較佳的實施方式，所述激光光斑117的半徑與偏移距離δ的關(guān)系應(yīng)滿足：δ<r，w/2<r-δ<la-2δ；其中，w為玻璃料122的線寬，δ為激光光斑117的幾何中心與玻璃料122形成的密封線的對稱中心線122a之間的偏移距離。上述參數(shù)條件，是為了使激光光斑117照射在玻璃料122上，并且避免照射在與玻璃料112不相關(guān)的其它區(qū)域。當(dāng)然，其主要目的是為了使玻璃料122在非掃描向的溫度分布更加均勻化。

作為較佳的實施方式，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，激光光斑117在所述過渡區(qū)域o的運動軌跡存在相交區(qū)域，在同一偏移方向的運動軌跡線上，激光光斑117的起點和終點之間的距離s應(yīng)滿足：s<2r；其中，r為激光光斑117的半徑。其目的是使過渡區(qū)域o的轉(zhuǎn)折點圍合而成的面積盡可能的小，使沿著所述密封線的掃描向的對稱中心線122a的兩側(cè)分布的激光光斑117形成軌跡線盡可能的長，以使玻璃料122在非掃描向的溫度分布更加均勻。

圖8是改進(jìn)的準(zhǔn)同步掃描方案掃描軌跡示意圖。請參考圖8，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，當(dāng)所述玻璃料122的密封線為單一段直線時，在所述步驟s1中，還包括以所述單一段直線的第一端e為起點開始掃描至所述單一段直線的第二端f為終點使激光光斑117投射到玻璃料122上形成第一個周期的步驟；在所述步驟s2中，還包括從第一個周期的終點空跳轉(zhuǎn)到第二個周期的起點的步驟，以所述單一段直線的第一端e或f為起點開始掃描至 所述單一段直線的另一端f或e為終點，使激光光斑117投射到玻璃料122上形成第二個周期的步驟；其中，在多次掃描所述循環(huán)周期時，包括從第二個周期的終點空跳轉(zhuǎn)到第一個周期的起點的步驟，當(dāng)前第一個周期的起點與上一個第一個周期的起點或終點落在所述單一段直線的同一端時，將當(dāng)前第一個周期的起點與上一個第一個周期的起點或終點間隔一段步進(jìn)距離l2設(shè)置。可選的，從第一個周期的終點空跳轉(zhuǎn)到第二個周期的起點的步驟中；當(dāng)前第二個周期的起點與上一個第二個周期的起點或終點落在所述單一段直線的同一端時，將當(dāng)前第二個周期的起點與上一個第二個周期的起點或終點間隔一段步進(jìn)距離設(shè)置。其中，所述步進(jìn)距離為l2，應(yīng)滿足：l2＝l/m；其中，m為周期的次數(shù)，l為單一段直線的長度。此種方式，稱為改進(jìn)的準(zhǔn)同步掃描封裝方法。圖8中僅示出了第一個周期的起點與第二個周期的起點位置均在單一段直線玻璃料122的同一端的具體實施方案，但不能作為第一個周期的起點與第二個周期的起點位置可以在單一段直線玻璃料122的不同端的實施方案的限制。

作為較佳的實施方式，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在多次掃描所述循環(huán)周期時，所述激光光斑117的采用能量保持不變或者可變的方式進(jìn)行。其中，可變的方式，為能量遞增方式、能量遞減方式或者二者結(jié)合的方式，其目的是使玻璃料在各區(qū)域段的熔化率基本一致，以保證玻璃封裝體的密封質(zhì)量。

作為較佳的實施方式，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在玻璃封裝體的氣密式密封封裝過程中，將激光光斑117的能量設(shè)置為可變方式，并且將玻璃封裝體的玻璃料122形成的密封線的直線區(qū)域的激光光斑117的能量強度大于玻璃封裝體的玻璃料122形成的密封線的彎折區(qū)域的激光光斑117的能量強度的方式進(jìn)行掃描，從而保證玻璃料122的密封質(zhì)量。

作為較佳的實施方式，本發(fā)明提供的激光掃描密封玻璃封裝體的封裝方法，在玻璃封裝體的氣密式密封封裝過程中，將激光光斑117的能量設(shè)置為可變的方式，并且將玻璃封裝體的玻璃料122形成的密封線的直線區(qū)域的激光光斑117的能量強度大于玻璃封裝體的電極區(qū)域的激光光斑117的能量強度的方式進(jìn)行掃描，從而保證玻璃料122的密封質(zhì)量。

圖9是激光光斑掃描時在玻璃料非掃描向的溫度分布圖。其中橫坐標(biāo)為激 光波長用ylength表示，縱坐標(biāo)為溫度用temperature表示，玻璃料122的對稱中心線用fritcenter表示。請參考圖3、圖9，曲線為激光光斑117的幾何中心與玻璃料形成的密封線的對稱中心線之間的偏移距離δ。圖9中曲線為7根不同偏移距離δ，從上至從依次偏移距離為0um，100um，200um，300um，400um，450um，500um，其中0um不是本實施例采用的技術(shù)方案。由圖9可知，偏移距離越大，溫度越低，反之偏移距離越小，溫度越高。在oled顯示器等玻璃封裝體的制造過程中，可以設(shè)定該偏移距離，以使玻璃料在非掃描向的溫度分布更加均勻。

本發(fā)明不限于上述具體實施方式，凡在本發(fā)明權(quán)利要求書的精神和范圍內(nèi)所作出的各種變化，均在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。