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清洗裝置、清洗系統(tǒng)、清洗方法以及清洗系統(tǒng)中的控制方法與流程

文檔序號(hào):11142542閱讀:344來源:國知局
清洗裝置、清洗系統(tǒng)、清洗方法以及清洗系統(tǒng)中的控制方法與制造工藝

本發(fā)明涉及通過非活性氣體或者潔凈干燥空氣等清洗氣體對保存被保存物的保存容器的內(nèi)部進(jìn)行清洗處理的清洗裝置、清洗系統(tǒng)、清洗方法以及清洗系統(tǒng)中的控制方法。



背景技術(shù):

已知有一種清洗裝置,通過向保存半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等被保存物的保存容器的內(nèi)部注入清洗氣體來保持潔凈度(進(jìn)行所謂的清洗處理)。在這樣的清洗裝置中,例如存在想要通過希望的流量以及/或者注入模式向保存容器內(nèi)注入清洗氣體的需求。

作為滿足這種需求的技術(shù),存在以下的清洗裝置(專利文獻(xiàn)1):按照配置于上下左右的每個(gè)架來設(shè)置向保存容器供給清洗氣體的供給機(jī)構(gòu),并對該供給機(jī)構(gòu)分別設(shè)置有能夠調(diào)節(jié)清洗氣體的供給流量的質(zhì)量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller)。在該構(gòu)成的清洗裝置中,能夠按照載放于架的每個(gè)保存容器自由地調(diào)節(jié)注入的流量以及/或者注入模式。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1:日本特開2013-131712號(hào)公報(bào)



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

發(fā)明要解決的課題

但是,如上述那樣按照設(shè)置于架的每個(gè)供給機(jī)構(gòu)來設(shè)置該質(zhì)量流量控制器的構(gòu)成,較高價(jià)、構(gòu)造變得復(fù)雜。

因此,本發(fā)明的目的在于,通過廉價(jià)且簡單的構(gòu)成來提供能夠通過希望的流量以及/或者注入模式注入清洗氣體的清洗裝置、清洗系統(tǒng)、清洗方法以及清洗系統(tǒng)中的控制方法。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的一個(gè)方案的清洗裝置為,通過清洗氣體對保存被保存物的保存容器的內(nèi)部進(jìn)行清洗處理,具備:多個(gè)載放部,載放保存容器;多個(gè)供給管,向載放于載放部的保存容器供給清洗氣體;主管,連接有多個(gè)供給管,并且向多個(gè)供給管供給清洗氣體;以及流量調(diào)節(jié)部,調(diào)節(jié)主管中的清洗氣體的流量。

本發(fā)明的一個(gè)方案的清洗方法,是通過清洗氣體對保存被保存物的保存容器的內(nèi)部進(jìn)行清洗處理時(shí)的清洗方法,其中,連接對載放保存容器的多個(gè)載放部分別供給清洗氣體的供給管,并且連接對多個(gè)供給管供給清洗氣體的主管,并調(diào)節(jié)主管中的清洗氣體的流量。

根據(jù)該構(gòu)成的清洗裝置或者清洗方法,由于在向多個(gè)供給管供給清洗氣體的主管上設(shè)置有流量調(diào)節(jié)部,因此與按照每個(gè)供給管來設(shè)置流量調(diào)節(jié)部的構(gòu)成相比,能夠減少應(yīng)設(shè)置的流量調(diào)節(jié)部的數(shù)量。因此,能夠通過廉價(jià)且簡單的構(gòu)成來提供能夠通過希望的流量以及/或者注入模式注入清洗氣體的清洗裝置。

在一個(gè)實(shí)施方式中也可以為,在以目標(biāo)的供給流量向保存容器供給清洗氣體時(shí),流量調(diào)節(jié)部使主管中的清洗氣體的流量連續(xù)地或者階段地增加以便成為目標(biāo)的供給流量。

根據(jù)該構(gòu)成的清洗裝置,能夠防止保存容器內(nèi)的氣體流動(dòng)急劇變化。由此,能夠抑制保存容器內(nèi)的塵埃被卷起。

在一個(gè)實(shí)施方式中也可以為,在供給管上設(shè)置有調(diào)節(jié)部,該調(diào)節(jié)部進(jìn)行調(diào)節(jié),以使向保存容器供給的清洗氣體的流量在多個(gè)供給管彼此之間變得相等。此時(shí),也可以為,在以目標(biāo)的供給流量向保存容器供給清洗氣體時(shí),流量調(diào)節(jié)部進(jìn)行調(diào)節(jié),以使主管中的所述清洗氣體的流量成為將目標(biāo)的供給流量乘以載放部的個(gè)數(shù)而得到的流量。

根據(jù)該構(gòu)成的清洗裝置,通過配置調(diào)節(jié)部,由此也可以不考慮載放部中有無保存容器、由配管導(dǎo)致的壓力損失等條件的不同。因此,僅通過將主管中的清洗氣體的流量設(shè)為“將目標(biāo)的供給流量乘以載放部的個(gè)數(shù)而得到的流量”這樣簡單的調(diào)節(jié),就能夠通過希望的流量以及/或者注入模式向保存容器注入清洗氣體。

在一個(gè)實(shí)施方式中也可以為,在供給管上設(shè)置有開閉閥,在向載放部載放有保存容器的情況下,該開閉閥使供給管中的清洗氣體的流路成為打開狀態(tài),在向載放部未載放有保存容器的情況下,該開閉閥使清洗氣體的流路成為關(guān)閉狀態(tài)。此時(shí),也可以為,在以目標(biāo)的供給流量向保存容器供給清洗氣體時(shí),流量調(diào)節(jié)部進(jìn)行調(diào)節(jié),以使主管中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)的供給流量乘以載放于載放部的保存容器的個(gè)數(shù)而得到的流量。

根據(jù)該構(gòu)成的清洗裝置,通過配置開閉閥,由此僅向在載放部載放有保存容器的供給管供給清洗氣體。在載放部是否載放有保存容器的信息,例如能夠根據(jù)來自對有無載放于載放部的保存容器進(jìn)行檢測的檢測部、或者上位控制器的信息等來得到。由此,僅通過將主管中的清洗氣體的流量設(shè)為“將目標(biāo)的供給流量乘以載放于載放部的保存容器的個(gè)數(shù)而得到的流量”這樣簡單的調(diào)節(jié),就能夠通過希望的流量以及/或者注入模式向保存容器注入清洗氣體。

在一個(gè)實(shí)施方式中也可以為,清洗裝置進(jìn)一步具備檢測部,該檢測部檢測載放部中有無載放保存容器。

根據(jù)該構(gòu)成的清洗裝置,能夠更可靠地取得在載放部是否載放有保存容器的信息。

在本發(fā)明的一個(gè)方案的清洗系統(tǒng)中,具備:多個(gè)清洗裝置;搬送裝置,搬送保存容器;以及控制部,控制搬送裝置中的保存容器的搬送,清洗裝置是上述記載的清洗裝置,控制部將搬送裝置控制為,使保存容器優(yōu)先向多個(gè)清洗裝置中的特定清洗裝置所包含的未載放保存容器的載放部入庫,該特定清洗裝置是存在載放有保存容器的載放部的清洗裝置。

本發(fā)明的一個(gè)方案的控制方法是清洗系統(tǒng)中的清洗方法,該清洗系統(tǒng)具備通過上述清洗方法進(jìn)行清洗處理的多個(gè)清洗裝置、搬送保存容器的搬送裝置、以及控制搬送裝置中的保存容器的搬送的控制部,在該清洗方法中,將搬送裝置控制,使保存容器優(yōu)先向多個(gè)清洗裝置中的特定清洗裝置所包含的未載放保存容器的載放部入庫,該特定清洗裝置是存在載放有保存容器的載放部的清洗裝置。

在該構(gòu)成的清洗系統(tǒng)或者控制方法中,在多個(gè)載放部中配置有保存容器的載放部一個(gè)也不存在的情況下,以主管中的清洗氣體的流量成為0的方式進(jìn)行調(diào)節(jié),在多個(gè)載放部中配置有保存容器的載放部即使存在一個(gè)的情況下,以主管中的清洗氣體的流量成為規(guī)定流量的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。因此,只要將搬送裝置控制為,使保存容器優(yōu)先向多個(gè)清洗裝置中的特定清洗裝置所包含的未載放保存容器的載放部入庫,該特定清洗裝置是存在載放有保存容器的載放部的清洗裝置,則能夠抑制浪費(fèi)地排出的清洗氣體。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明,能夠通過廉價(jià)且簡單的構(gòu)成,通過希望的流量以及/或者注入模式注入清洗氣體。

附圖說明

圖1是表示具備第一實(shí)施方式的清洗裝置的清洗堆料機(jī)的側(cè)視圖;

圖2是表示第一實(shí)施方式的清洗裝置的構(gòu)成的概要構(gòu)成圖;

圖3是表示第一實(shí)施方式的流量控制的一例的時(shí)間圖;

圖4是表示第三實(shí)施方式的清洗裝置的構(gòu)成的概要構(gòu)成圖;

圖5是表示第三實(shí)施方式的流量控制的一例的時(shí)間圖。

具體實(shí)施方式

以下,參照附圖對一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。在附圖的說明中,對于相同要素賦予相同的符號(hào),并省略重復(fù)的說明。附圖的尺寸比例并不一定與說明的對象一致。

(第一實(shí)施方式)

對具備第一實(shí)施方式的清洗裝置30的清洗堆料機(jī)(清洗系統(tǒng))1進(jìn)行說明。清洗堆料機(jī)1通過清洗氣體(例如氮?dú)?對保存有半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等被保存物的FOUP(Front Opening Unified Pod:前開式晶圓盒)等保存容器F的內(nèi)部進(jìn)行清洗處理,并且具有作為保管多個(gè)保存容器F的保管庫的功能。清洗堆料機(jī)1例如被設(shè)置于潔凈室。

如圖1所示,清洗堆料機(jī)1主要具備隔板3、架子7、起重機(jī)(搬送裝置)9、OHT(Overhead Hoist Transfer::吊運(yùn)裝置)口21、人工口23、清洗裝置30以及控制部50(參照圖2)。

隔板3是清洗堆料機(jī)1的罩板,在其內(nèi)側(cè)形成有保管保存容器F的保管區(qū)域。架子7是保管保存容器F的部分,在保管區(qū)域內(nèi)通常設(shè)置有1~2列(此處為2列)。各架子7在規(guī)定方向X上延伸,相鄰的兩個(gè)架子7、7以對置的方式大致平行地配置。在各架子7中,沿著規(guī)定方向X以及鉛垂方向Z形成有多個(gè)對保存容器F進(jìn)行載放而保管的保管架7A。

起重機(jī)9是將保存容器F相對于保管架7A進(jìn)行取出送入、并且使保存容器F在保管架7A之間移動(dòng)的機(jī)構(gòu),配置在相對置的架子7、7所夾著的區(qū)域。起重機(jī)9沿著架子7的延伸方向X在配置于地面的行駛軌道(未圖示)上行駛,由此能夠沿著架子7在規(guī)定方向X上移動(dòng)。起重機(jī)9的貨臺(tái)9A被設(shè)置為能夠沿導(dǎo)軌9B升降,并能夠相對于沿鉛垂方向設(shè)置的多個(gè)保管架7A取出送入保存容器F。

保存容器F向清洗堆料機(jī)1的取出送入,從OHT口21以及人工口23進(jìn)行。OHT口21是在沿鋪設(shè)于頂棚的行駛軌道25行駛的頂棚行駛車(OHT)27與清洗堆料機(jī)1之間交接保存容器F的部分,具有搬送保存容器F的輸送機(jī)21A。人工口23是在作業(yè)者與清洗堆料機(jī)1之間交接保存容器F的部分,具有搬送保存容器F的輸送機(jī)23A。

清洗裝置30通過清洗氣體對保存容器F的內(nèi)部進(jìn)行清洗處理。如圖2所示,清洗裝置30具備N個(gè)(多個(gè))載放部31、N根(多根)供給管33、連接N根供給管33的主管41、以及調(diào)節(jié)主管41中的清洗氣體的流量的MFC(Mass Flow Controller)(流量調(diào)節(jié)部)43。在第一實(shí)施方式的清洗堆料機(jī)1中,具備M套(多套)包含上述構(gòu)成要素的清洗裝置30。在以后的說明中,有時(shí)將這些中的一個(gè)清洗裝置30稱為“屬于組1的清洗裝置30”、“屬于組2的清洗裝置30”等。從一個(gè)清洗氣體源47向各清洗裝置30供給清洗氣體。清洗氣體源47是儲(chǔ)藏清洗氣體的罐。

載放部31是載放保存容器F的部分,在一個(gè)保管架7A上配置有一個(gè)載放部31。供給管33向載放于載放部31的保存容器F供給清洗氣體。供給管33的前端成為噴嘴,通過與保存容器F的供給口緊貼來向保存容器F的內(nèi)部供給清洗氣體。

在供給管33上設(shè)置有顆粒過濾器35和孔口(調(diào)節(jié)部)37。顆粒過濾器35是能夠捕集塵埃(顆粒)的過濾器。顆粒過濾器35根據(jù)需要來設(shè)置即可??卓?7進(jìn)行調(diào)節(jié),以使從主管41供給的清洗氣體的流量在多個(gè)供給管33彼此之間變得相等。

主管41連接N根供給管33,并且向N根供給管33供給清洗氣體。在主管41上設(shè)置有對主管41中的清洗氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)的MFC43。MFC43是對在主管41中流動(dòng)的清洗氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行計(jì)測、并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。MFC43中的流量控制通過控制部50控制。

控制部50是對清洗堆料機(jī)1中的各種清洗處理進(jìn)行控制的部分,例如是由CPU(Central Processing Unit:中央處理器)、ROM(Read Only Memory:只讀存儲(chǔ)器)、以及RAM(Random Access Memory:隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)等構(gòu)成的電子控制單元。

控制部50基于從未圖示的上位控制器發(fā)送來的、使保存容器F入庫的預(yù)定的保管架7A的信息(入庫預(yù)定信息),對具有該預(yù)定進(jìn)行入庫的保管架7A的清洗裝置30所具備的MFC43進(jìn)行控制。具體而言,在以目標(biāo)供給流量TF向載放于載放部31的保存容器F供給清洗氣體時(shí),控制部50控制MFC43來進(jìn)行調(diào)節(jié),以使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放部31(保管架7A)的個(gè)數(shù)N而得到的流量。此時(shí),如圖3所示,控制部50將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸(連續(xù))地增加而成為目標(biāo)供給流量TF。另外,控制部50也可以使主管41中的清洗氣體的流量階段地增加而成為目標(biāo)供給流量TF。

接著,對上述清洗裝置30的清洗處理的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖3表示清洗氣體向?qū)儆诮M1的保管架7A的載放部31所載放的各保存容器F的供給流量和供給定時(shí)。換言之,圖3表示從屬于組1的供給管33供給的清洗氣體的供給流量和供給定時(shí)。

控制部50基于從上位控制器發(fā)送來的入庫預(yù)定信息(例如,預(yù)定使保存容器F向?qū)儆诮M1的保管架1入庫這樣的信息),計(jì)算保存容器F被載放于載放部31的定時(shí)。控制部50將MFC43控制為,在保存容器F被載放于載放部31的定時(shí)(時(shí)間t1)開始向保存容器F供給清洗氣體(清洗處理)。具體而言,控制部50控制MFC43來進(jìn)行調(diào)節(jié),以使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放部31的個(gè)數(shù)N而得到的流量(TF×N)。在供給管33中流動(dòng)的清洗氣體的流量,是將在主管41中流動(dòng)的流量(TF×N)按照供給管33的根數(shù)N進(jìn)行平分的流量。如圖3所示,控制部50將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸增加而成為目標(biāo)供給流量TF。

在對保存容器F的清洗處理中,當(dāng)從上位控制器發(fā)送來入庫預(yù)定信息(例如,預(yù)定使保存容器F向?qū)儆诮M1的保管架2入庫這樣的信息)時(shí)(時(shí)間t2),控制部50計(jì)算出該保存容器F(稱作“下一個(gè)保存容器F”。)被載放于載放部31的定時(shí)(時(shí)間t11),并且將MFC43控制為,使清洗氣體向清洗處理中的保存容器F的供給流量逐漸減少并成為0(時(shí)間t3)。控制部50將MFC43控制為,在下一個(gè)保存容器F被載放于載放部31(保管架2)的定時(shí)(時(shí)間t11),再次開始向保存容器F供給清洗氣體(清洗處理)。具體而言,控制部50控制MFC43來進(jìn)行調(diào)節(jié),以使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放部31的個(gè)數(shù)N而得到的流量(TF×N)。在供給管33中流動(dòng)的清洗氣體的流量,是將在主管41中流動(dòng)的流量(TF×N)按照供給管33的根數(shù)N進(jìn)行平分的流量。如圖3所示,控制部50將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸增加而成為目標(biāo)供給流量TF。

以后,在從上述控制器發(fā)送來入庫預(yù)定信息的情況下,在時(shí)間t21(時(shí)間t22)、時(shí)間t31(時(shí)間t32)以及時(shí)間t12(時(shí)間t13)分別進(jìn)行與在上述時(shí)間t2、時(shí)間t3以及時(shí)間t11進(jìn)行的控制同樣的控制。另外,在第一實(shí)施方式中,如圖3所示,在一個(gè)清洗裝置30中,清洗氣體向保存容器F的供給流量和供給定時(shí),在配置于保管架7A的所有供給管33中都相同。

根據(jù)上述實(shí)施方式的清洗裝置30,在向多個(gè)供給管33供給清洗氣體的主管41上設(shè)置有MFC43,因此與在每個(gè)供給管33上設(shè)置有MFC43的構(gòu)成相比,能夠減少應(yīng)設(shè)置的MFC43的數(shù)量。因此,能夠通過廉價(jià)且簡單的構(gòu)成來提供能夠通過希望的流量以及/或者注入模式注入清洗氣體的清洗裝置30。

另外,根據(jù)上述實(shí)施方式的清洗裝置30,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸增加以便成為目標(biāo)供給流量TF,因此能夠防止保存容器F內(nèi)的氣體流動(dòng)的急劇變化。由此,能夠抑制保存容器F內(nèi)的塵埃被卷起。

另外,在上述實(shí)施方式的清洗裝置30中,在供給管33上設(shè)置有孔口37,因此也可以不考慮載放部31中有無載放保存容器F、由主管41以及供給管33導(dǎo)致的壓力損失等條件的不同。因此,僅通過進(jìn)行簡單的調(diào)節(jié),以使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放部31(保管架7A)的個(gè)數(shù)N而得到的流量,就能夠通過希望的流量以及/或者注入模式對保存容器F注入清洗氣體。

(第二實(shí)施方式)

接著,對第二實(shí)施方式的清洗堆料機(jī)(清洗系統(tǒng))1進(jìn)行說明。第二實(shí)施方式的清洗堆料機(jī)1為,在第一實(shí)施方式中說明了的清洗堆料機(jī)1所具備的控制部50,除了上述MFC43的控制以外,還控制起重機(jī)(搬送裝置)對保存容器F的搬送。即,控制部50將起重機(jī)9控制為,使保存容器F優(yōu)先向?qū)儆诮M1到組M的多個(gè)清洗裝置30中的特定清洗裝置30所包含的未載放有保存容器F的載放部31入庫,該特定清洗裝置30是存在載放有保存容器F的載放部31的清洗裝置30。

在該構(gòu)成的清洗堆料機(jī)1中,在多個(gè)載放部31中、配置了保存容器F的載放部31一個(gè)也不存在的情況下,控制部50將MFC調(diào)節(jié)為,使主管41中的清洗氣體的流量成為0,在多個(gè)載放部31中、配置了保存容器F的載放部31即使存在一個(gè)的情況下,控制部50也將MFC43調(diào)節(jié)為,使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放部31(保管架7A)的個(gè)數(shù)N而得到的流量。

在第二實(shí)施方式的清洗堆料機(jī)1中,將起重機(jī)9控制為,使保存容器F優(yōu)先向多個(gè)清洗裝置30中的特定清洗裝置30所包含的未載放有保存容器F的載放部31入庫,該特定清洗裝置30是存在載放有保存容器F的載放部31的清洗裝置30,因此能夠抑制浪費(fèi)地排出的清洗氣體。

(第三實(shí)施方式)

如圖4所示,包括第三實(shí)施方式的清洗裝置130的清洗堆料機(jī)1,與圖2所示的清洗裝置30的不同點(diǎn)在于:代替孔口37(或者在其基礎(chǔ)上)而具備通過控制部150進(jìn)行開閉控制的開閉閥39;具備對在載放部31載放有保存容器F的情況進(jìn)行檢測的檢測部32;以及控制部150對MFC43的控制內(nèi)容不同。此處,對與第一實(shí)施方式的清洗裝置30不同的點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)說明,對于共通的點(diǎn)省略說明。

開閉閥39配置于供給管33。在載放部31載放有保存容器F的情況下,開閉閥39使供給管33中的清洗氣體的流路成為打開狀態(tài),在載放部31未載放有保存容器F的情況下,開閉閥39使清洗氣體的流路成為關(guān)閉狀態(tài)。本實(shí)施方式的開閉閥39,通過后述的控制部150進(jìn)行開閥以及閉閥控制。開閉閥39例如能夠采用電磁式或者氣動(dòng)式等能夠進(jìn)行遠(yuǎn)程控制的構(gòu)成的設(shè)備。

檢測部32對在載放部31載放有保存容器F的情況進(jìn)行檢測。檢測部32設(shè)置于各保管架7A。檢測部32能夠使用光傳感器或者接觸傳感器等。檢測部32為,當(dāng)檢測到在載放部31載放有保存容器F的情況時(shí),將該含義的信息即檢測信息發(fā)送給控制部150。

控制部150基于從未圖示的上位控制器送來的、預(yù)定使保存容器F入庫的保管架7A的信息、以及從檢測部32發(fā)送來的檢測信息,對具有該預(yù)定進(jìn)行入庫的保管架7A的清洗裝置30所具備的MFC43進(jìn)行控制。具體而言,在以目標(biāo)供給流量TF對保存容器F供給清洗氣體時(shí),控制部150控制MFC43而調(diào)節(jié)為,使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放于載放部31的保存容器F的個(gè)數(shù)n而得到的流量(TF×n)。在供給管33中流動(dòng)的清洗氣體的流量,是將在主管41中流動(dòng)的流量(TF×n)按照載放于載放部31的保存容器F的個(gè)數(shù)n進(jìn)行平分的流量。如圖5所示,控制部150將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸(連續(xù))地增加而成為目標(biāo)供給流量TF。

接著,對上述清洗裝置130的清洗處理的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖5表示清洗氣體向?qū)儆诮M1的保管架1~N的載放部31所載放的保存容器F的供給流量以及供給定時(shí)。換言之,圖5表示從屬于組1的供給管33供給的清洗氣體的供給流量和供給定時(shí)。

控制部150基于從檢測部32發(fā)送來的檢測信息,將MFC43控制為,使向與該檢測部32對應(yīng)的載放部31供給清洗氣體的供給管33的開閉閥39開閥,并且開始向保存容器F供給清洗氣體(清洗處理)(時(shí)間t1)。具體而言,控制部150控制MFC43而調(diào)節(jié)為,使主管41中的清洗氣體的流量成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放于載放部31的各容器的個(gè)數(shù)n(n=1)而得到的流量(TF)。如圖5所示,控制部150將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸增加而成為目標(biāo)供給流量TF。

在對保存容器F的清洗處理中,當(dāng)從上位控制器發(fā)送來入庫預(yù)定信息(例如,預(yù)定使保存容器F向?qū)儆诮M1的保管架2入庫這樣的信息)時(shí)(時(shí)間t2),控制部150將MFC43控制為,使清洗氣體向清洗處理中的保存容器F的供給流量逐漸變少而成為0(時(shí)間t3)??刂撇?50將MFC43控制為,在該保存容器F被載放于載放部31(保管架2)的定時(shí)、即從檢測部32發(fā)送來檢測信息(在保管架2)的載放部31載放有保存容器F這樣的信息)的定時(shí),使向該載放部31供給清洗氣體的供給管33的開閉閥39開閥,并且再次開始向保存容器F供給清洗氣體(清洗處理)(時(shí)間t11)。具體而言,控制部150控制MFC43而將主管41中的清洗氣體的流量調(diào)節(jié)為,成為將目標(biāo)供給流量TF乘以載放于載放部31的保存容器的個(gè)數(shù)n(n=2)而得到的流量。在供給管33中流動(dòng)的清洗氣體的流量,是將在主管41中流動(dòng)的流量(2TF)按照載放于載放部31的保存容器F的個(gè)數(shù)n(n=2)進(jìn)行平分的流量(TF)。如圖5所示,控制部150將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸增加而成為目標(biāo)供給流量TF。

以后,當(dāng)從檢測部32發(fā)送來檢測信息時(shí),在時(shí)間t21(時(shí)間t22)、時(shí)間t31(時(shí)間t32)以及時(shí)間t12(時(shí)間t13)分別進(jìn)行與在上述時(shí)間t2、時(shí)間t3以及t11進(jìn)行的控制同樣的控制。另外,在第二實(shí)施方式中,如圖5所示,有時(shí)在一個(gè)清洗裝置30中,清洗氣體向保存容器F的供給流量和供給定時(shí),在配置于保管架7A的供給管33彼此之間不同。即,在載放部31未載放保存容器F的情況下,開閉閥39被閉閥,因此不向配置于該保管架7A的供給管33供給清洗氣體。在這一點(diǎn)上與第一實(shí)施方式的清洗裝置30不同。

具備第三實(shí)施方式的清洗裝置30的清洗堆料機(jī)1,也能夠享有與上述第一實(shí)施方式同樣的作用效果。

以上,對本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明,但是本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式。在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。

在上述第一實(shí)施方式中,列舉對多個(gè)清洗裝置30共通地設(shè)置有控制部50的例子進(jìn)行了說明,但是本發(fā)明并不限定于此??刂芃FC43的控制部也可以對每個(gè)清洗裝置設(shè)置。同樣,在上述第二實(shí)施方式中也可以為,與控制起重機(jī)9的控制部不同,控制MFC43以及開閉閥39的控制部對每個(gè)清洗裝置設(shè)置。

在上述第一以及第三實(shí)施方式中,列舉如下例子進(jìn)行了說明,但是本發(fā)明并不限于此:如圖3以及圖5所示,當(dāng)控制部50(150)控制MFC而開始向保存容器F以目標(biāo)供給流量TF進(jìn)行供給時(shí),在到從上位控制器發(fā)送來入庫預(yù)定信息為止的期間,以目標(biāo)供給流量TF向保存容器F供給清洗氣體。例如,也可以為,如圖3以及圖5所示,控制部50(150)控制MFC而開始向保存容器F以目標(biāo)供給流量TF進(jìn)行供給,當(dāng)經(jīng)過規(guī)定時(shí)間時(shí)(時(shí)刻t4、t41、t42),降低到能夠維持保存容器F的內(nèi)部環(huán)境的程度的供給流量而繼續(xù)進(jìn)行清洗處理。

在上述第一和第三實(shí)施方式中,列舉如下例子進(jìn)行了說明,但是本發(fā)明并不限于此:如圖3以及圖5所示,控制部50(150)將MFC43控制為,使主管41中的清洗氣體的流量逐漸(連續(xù))地增加而成為目標(biāo)供給流量TF。例如,也可以為,控制部50(150)將MFC43控制為,能夠?qū)Ρ4嫒萜鱂瞬間地供給目標(biāo)供給流量TF。

在上述實(shí)施方式中,將配置于清洗堆料機(jī)1的清洗裝置為例進(jìn)行了說明,但本發(fā)明并不限于此。本發(fā)明例如也能夠應(yīng)用于頂棚行駛車彼此之間的中繼點(diǎn)、從輸送機(jī)向頂棚行駛車的轉(zhuǎn)接點(diǎn)(裝載口)、以及頂棚緩沖區(qū)等所搭載的清洗裝置。

符號(hào)的說明

1:清洗堆料機(jī)(清洗系統(tǒng));3:隔板;7:架子;7A:保管架(保管架1~保管架N);9:起重機(jī)(搬送裝置);30、130:清洗裝置;31:載放部;32:檢測部;33:供給管;35:顆粒過濾器;37:孔口(調(diào)節(jié)部);39:開閉閥;41:主管;43:MFC(流量調(diào)節(jié)部);47:清洗氣體源;50、150:控制部;F:保存容器;TF:目標(biāo)供給流量。

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