技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種發(fā)光元件的制造方法及通過該制造方法制造的發(fā)光元件，即使使用表面以形成衍射面的周期形成有凹部或凸部的基板，也能夠抑制因凹凸的間距造成的III族氮化物半導(dǎo)體的結(jié)晶品質(zhì)的變化。在發(fā)光元件的制造方法中，使包含發(fā)光層且由III族氮化物半導(dǎo)體構(gòu)成的半導(dǎo)體層疊部在以比從發(fā)光層發(fā)出的光的光學(xué)波長大且比該光的相干長度小的周期形成凸部的基板表面成長，其中，沿著包含凸部的基板表面形成緩沖層，在緩沖層上，使內(nèi)包至少一個凸部并具有刻面且相互隔離的多個晶核成長，使平坦化層在形成有多個晶核的緩沖層上成長。

技術(shù)研發(fā)人員：北野司;難波江宏一
受保護(hù)的技術(shù)使用者：崇高種子公司
文檔號碼：201580012519
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.04
技術(shù)公布日：2017.02.22