技術(shù)總結(jié)
方法包括接收集成電路設(shè)計(jì)布局，該集成電路設(shè)計(jì)布局包括分隔開(kāi)第一間隔的第一布局塊和第二布局塊。第一布局塊和第二布局塊分別包括在第一方向上縱向定向的第一線(xiàn)圖案和第二線(xiàn)圖案。該方法還包括向第一間隔添加偽圖案，該偽圖案連接第一線(xiàn)圖案和第二線(xiàn)圖案。該方法還包括輸出計(jì)算機(jī)可讀格式的芯軸圖案布局和切割圖案布局。該芯軸圖案布局包括第一線(xiàn)圖案和第二線(xiàn)圖案以及偽圖案。該切割圖案布局包括對(duì)應(yīng)于第一間隔的圖案。在實(shí)施例中，該方法還包括制造具有芯軸圖案布局的第一掩模和制造具有切割圖案布局的第二掩模。在實(shí)施例中，該方法還包括用第一掩模和第二掩模圖案化襯底。本發(fā)明的實(shí)施例還涉及用于芯軸和間隔件圖案化的方法和結(jié)構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員：王崇銘;彭志雄;張岐康;陳桂順;傅士奇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510982705
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.24
技術(shù)公布日：2017.01.25