技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明關(guān)于一種半導(dǎo)體容器清洗機(jī)的運(yùn)作方法，主要通過將一半導(dǎo)體容器的開口對準(zhǔn)一第一清潔部后置放于該半導(dǎo)體容器清洗機(jī)中，開始進(jìn)行清洗，并于清洗完畢之后以加熱和通入極純凈干燥空氣或氮?dú)鈦砀稍锇雽?dǎo)體容器，以完成清潔。

技術(shù)研發(fā)人員：潘詠晉;邱順盛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：家登精密工業(yè)股份有限公司
文檔號碼：201510285065
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.29
技術(shù)公布日：2016.12.07