技術(shù)編號(hào)：11955543
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體容器清洗機(jī)的運(yùn)作方法【技術(shù)領(lǐng)域】本發(fā)明關(guān)于一種半導(dǎo)體容器清洗機(jī)及其運(yùn)作方法，尤指一種能對(duì)半導(dǎo)體容器進(jìn)行清潔、加熱以及風(fēng)干的半導(dǎo)體容器清洗機(jī)及其運(yùn)作方法?！颈尘凹夹g(shù)】隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)達(dá)，相關(guān)的配件也顯得日益重要，其中半導(dǎo)體對(duì)于灰塵或是濕氣等外在條件十分敏感。有鑒于此，承載半導(dǎo)體的容器，例如承載晶圓的半導(dǎo)體容器相應(yīng)地需要做到密封且接近無塵的條件，但是在容器的啟閉過程中難免會(huì)有入塵等情形發(fā)生，因此承載半導(dǎo)體的容器需要定期進(jìn)行清洗，以維持其承載半導(dǎo)體的質(zhì)量。為解決此問題，人們研發(fā)出專門針對(duì)半導(dǎo)體...
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