技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種電感耦合等離子體的處理系統(tǒng)，其包括射頻電源系統(tǒng)，所述射頻電源系統(tǒng)包括源射頻電源系統(tǒng)和偏置射頻電源系統(tǒng)，所述源射頻電源系統(tǒng)包括源射頻電源和源匹配網(wǎng)絡，所述偏置射頻電源系統(tǒng)包括偏置射頻電源和偏置匹配網(wǎng)絡，其中，所述源匹配網(wǎng)絡為具有寬頻帶工作的固定匹配網(wǎng)絡，所述偏置匹配網(wǎng)絡為自動匹配網(wǎng)絡。源匹配網(wǎng)絡能夠使得源射頻功率源的阻抗與等離子體阻抗的快速匹配，偏置匹配網(wǎng)絡使得在低偏置射頻功率下能夠始終得到非常低的反射功率。因此，該處理系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)射頻電源和等離子體之間的阻抗快速準確地調(diào)整。此外，本發(fā)明還提供了電感耦合等離子體處理方法。

技術(shù)研發(fā)人員：羅偉義;劉驍兵;倪圖強
受保護的技術(shù)使用者：中微半導體設備（上海）有限公司
文檔號碼：201510253305
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.18
技術(shù)公布日：2017.01.04