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半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11955922閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其包含一第一基板和一第二基板,一第一導(dǎo)電墊設(shè)于第一基板上,一導(dǎo)電柱接觸第一導(dǎo)電墊以及至少一第一緩沖層設(shè)于導(dǎo)電柱內(nèi)部,其中導(dǎo)電柱包覆第一緩沖層,第一緩沖層的彈性系數(shù)和導(dǎo)電柱的彈性系數(shù)不同,一第二導(dǎo)電墊設(shè)于第二基板上,一錫球設(shè)置于第二基板和第一基板之間,其中錫球和導(dǎo)電柱電連結(jié),此外導(dǎo)電柱可以選擇性地包含截頭錐形。

技術(shù)研發(fā)人員:郭柏辰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:聯(lián)華電子股份有限公司
文檔號碼:201510216467
技術(shù)研發(fā)日:2015.04.30
技術(shù)公布日:2016.12.07

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