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半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11955922閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),包含:

第一基板;

第一導(dǎo)電墊,設(shè)于該第一基板上;

導(dǎo)電柱接觸,該第一導(dǎo)電墊;以及

至少一第一緩沖層,設(shè)于該導(dǎo)電柱內(nèi)部,其中該導(dǎo)電柱包覆該第一緩沖層,該第一緩沖層的彈性系數(shù)和該導(dǎo)電柱的彈性系數(shù)不同;

第二基板;

第二導(dǎo)電墊,設(shè)于該第二基板上;以及

錫球,設(shè)置于該第二基板和該第一基板之間,其中該錫球和該導(dǎo)電柱電連結(jié)。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含第二緩沖層,設(shè)于該第一基板上,其中該第一導(dǎo)電墊覆蓋該第二緩沖層,該第二緩沖層的彈性系數(shù)和該第一導(dǎo)電墊的彈性系數(shù)不同。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第二緩沖層包含聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯并惡唑。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含第三緩沖層,設(shè)于該第二基板上,其中該第二導(dǎo)電墊覆蓋該第三緩沖層,該第三緩沖層的彈性系數(shù)和該第二導(dǎo)電墊的彈性系數(shù)不同。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第三緩沖層包含聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯并惡唑。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一緩沖層包含聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯并惡唑。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該導(dǎo)電柱包含第一部分和第二部分,該第二部分具有一截面,該截面包含一矩形或一梯形。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該梯形具有第一底部和第二底部,該第二底部較該第一底部接近該錫球。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一底部大于該第二底部。

10.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一底部小于 該第二底部。

11.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含保護(hù)層,覆蓋該第一導(dǎo)電墊,其中該保護(hù)層中包含一開口,該導(dǎo)電柱的該第一部分位于該開口中,并且該第一部分接觸該第一導(dǎo)電墊,該導(dǎo)電柱的該第二部分位于該開口之外。

12.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含多個該第一緩沖層設(shè)置于該導(dǎo)電柱內(nèi)部。

13.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一基板包含芯片、中介層、電路板或載板,該第二基板包含芯片、中介層、電路板或載板。

14.一種半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),包含:

第一基板;

第一導(dǎo)電墊,設(shè)于該第一基板上;以及

導(dǎo)電柱接觸,該第一導(dǎo)電墊,其中該導(dǎo)電柱包含一截頭錐形;

第二基板;

第二導(dǎo)電墊,設(shè)于該第二基板上;以及

錫球,設(shè)置于該第二基板上,其中該錫球和該導(dǎo)電柱電連結(jié)。

15.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該導(dǎo)電柱包含第一部分和第二部分,該第二部分包含該截頭錐形,并且該第二部分具有一截面,該截面包含一梯形。

16.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該截面具有第一底部和第二底部,該第二底部較該第一底部接近該錫球。

17.如權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一底部大于該第二底部。

18.如權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一底部小于該第二底部。

19.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含保護(hù)層,覆蓋該第一導(dǎo)電墊,其中該保護(hù)層中包含一開口,該導(dǎo)電柱的該第一部分位于該開口中,并且該第一部分接觸該第一導(dǎo)電墊,該導(dǎo)電柱的該第二部分位于該開口之外。

20.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含至少一第一緩 沖層設(shè)于該導(dǎo)電柱內(nèi)部,其中該導(dǎo)電柱包覆該第一緩沖層,該第一緩沖層的彈性系數(shù)和該導(dǎo)電柱的彈性系數(shù)不同。

21.如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),其中該第一緩沖層包含聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯并惡唑。

22.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含一第二緩沖層設(shè)于該第一基板上,其中該第一導(dǎo)電墊覆蓋該第二緩沖層,其中該第二緩沖層包含聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯并惡唑。

23.如權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體元件的堆疊結(jié)構(gòu),還包含一第三緩沖層設(shè)于該第二基板上,其中該第二導(dǎo)電墊覆蓋該第三緩沖層,其中該第三緩沖層包含聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯并惡唑。

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