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半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體裝置的制造方法與流程

文檔序號(hào):11891364閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及的半導(dǎo)體裝置的特征在于,具有:半導(dǎo)體襯底,其由GaAs形成;密接層,其在該半導(dǎo)體襯底之上由Pd或者包含Pd的合金而形成;阻擋層,其在該密接層之上由Co或者包含Co的合金而形成;以及金屬層,其在該阻擋層之上由Cu、Ag、或者Au而形成。

技術(shù)研發(fā)人員:西澤弘一郎
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三菱電機(jī)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼:201480077591
技術(shù)研發(fā)日:2014.09.17
技術(shù)公布日:2016.11.16

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