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半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體裝置的制造方法與流程

文檔序號(hào):11891364閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,具有:

半導(dǎo)體襯底,其由GaAs形成;

密接層,其在所述半導(dǎo)體襯底之上由Pd或者包含Pd的合金而形成;

阻擋層,其在所述密接層之上由Co或者包含Co的合金而形成;以及

金屬層,其在所述阻擋層之上由Cu、Ag、或者Au而形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述密接層是局部由Pd-Ga-As形成的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述密接層是整體由Pd-Ga-As形成的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

在所述密接層與所述阻擋層之間具有包含Co和Pd的合金層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述密接層的層厚大于或等于1nm而小于或等于30nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述密接層由Pd-P形成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

所述阻擋層由Co-P或者Co-W-P而形成。

8.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,具有下述工序:

在由GaAs形成的半導(dǎo)體襯底之上利用Pd或者包含Pd的合金而形成密接層的工序;

在所述密接層之上由Co或者包含Co的合金而形成阻擋層的工序;以及

熱處理工序,使所述半導(dǎo)體襯底、所述密接層以及所述阻擋層升溫至25℃~250℃,在所述密接層形成Pd-Ga-As,在所述密接層與所述阻擋層之間形成包含Co和Pd的合金層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,

在所述熱處理工序之前,具有在所述阻擋層之上由Cu、Ag、或者Au而形成金屬層的工序。

10.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,具有下述工序:

在由GaAs形成的半導(dǎo)體襯底之上利用Pd或者包含Pd的合金而形成密接層的工序;

對(duì)所述半導(dǎo)體襯底實(shí)施無(wú)電解鍍敷,在所述密接層之上由Co-P或者Co-W-P而形成阻擋層的工序;以及

在所述阻擋層之上由Cu、Ag、或者Au而形成金屬層的工序。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,

所述金屬層為在下層具有Au、在上層具有Cu的2層構(gòu)造。

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