本發(fā)明涉及一種電子顯微鏡，例如，涉及一種與測(cè)定電子射線的測(cè)定裝置有關(guān)的、根據(jù)透過(guò)觀察對(duì)象物的電子射線來(lái)分析對(duì)象物的組成、構(gòu)造的系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
在電子顯微鏡觀察中，對(duì)觀察對(duì)象物的組成、構(gòu)造進(jìn)行分析的需求很多。如非專利文獻(xiàn)1和2所示，該電子顯微鏡中的分析手法包括：能量分散型X射線分析(非專利文獻(xiàn)1，pp393-395)、利用電子射線能量損耗分光法的分析(非專利文獻(xiàn)1，pp380-384)、利用電子射線衍射法(非專利文獻(xiàn)1，pp25-26)的分析。并且，利用電子射線衍射法的分析包括：如非專利文獻(xiàn)1(pp25-26)所示的、使用限制視場(chǎng)光闌(limitfielddiaphragm)來(lái)限制分析區(qū)域的限制視場(chǎng)衍射法；以及如非專利文獻(xiàn)2(pp12-13)所示的、將電子射線匯聚得細(xì)來(lái)僅照射特定部位從而限制分析區(qū)域的微束衍射法?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)1：實(shí)驗(yàn)物理學(xué)講座23電子顯微鏡，上田良二責(zé)任編輯，共立出版株式會(huì)社(1982)，pp25-26，pp380-384，pp393-395.非專利文獻(xiàn)2：高分辨率電子顯微鏡-原理和利用法-，堀內(nèi)繁雄著，共立出版株式會(huì)社(1988)，pp12-13，pp142-143.

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明要解決的課題如非專利文獻(xiàn)1所示，作為電子顯微鏡中的分析手法之一的限制視場(chǎng)衍射法是如下的方法：在物鏡的像面上插入限制視場(chǎng)光闌來(lái)限制分析區(qū)域，根據(jù)該區(qū)域的電子射線衍射圖形來(lái)分析組成、構(gòu)造。一般來(lái)說(shuō)，關(guān)于限制視場(chǎng)光闌的孔徑，很多情況下使用直徑數(shù)μm～數(shù)十μm的限制視場(chǎng)光闌，限制觀察對(duì)象物的直徑數(shù)nm～數(shù)十nm的范圍。因此，為了將上述光闌插入到目的位置，將觀察對(duì)象物擴(kuò)大從數(shù)萬(wàn)到數(shù)十萬(wàn)倍來(lái)進(jìn)行調(diào)整作業(yè)。由此，該位置調(diào)整作業(yè)需要精密的操作。并且，在一個(gè)視場(chǎng)中包含多處分析對(duì)象物的情況多，因此上述位置調(diào)整作業(yè)會(huì)成為頻繁進(jìn)行的作業(yè)。另外，限制視場(chǎng)光闌插入到物鏡的像面，因此電子射線被光闌的孔以外的部分切斷，在所限制的區(qū)域以外無(wú)法進(jìn)行像觀察。由此，難以進(jìn)行調(diào)整光闌的位置、限制任意分析區(qū)域這樣的作業(yè)。另外，為了利用限制視場(chǎng)衍射法進(jìn)行分析，需要正確地識(shí)別分析區(qū)域。此外，實(shí)際分析區(qū)域是比上述限制視場(chǎng)光闌所限制的區(qū)域大的區(qū)域。該區(qū)域是預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，如非專利文獻(xiàn)2(pp142-143)所示，能夠根據(jù)偏移量和衍射波的散射角來(lái)計(jì)算物鏡的球面像差系數(shù)和焦點(diǎn)。但是，在以往的限制視場(chǎng)光闌的位置調(diào)整作業(yè)中，在所限制的區(qū)域以外無(wú)法進(jìn)行像觀察，因此無(wú)法通過(guò)目視來(lái)確認(rèn)上述分析區(qū)域。因此，本發(fā)明在于提供一種限制視場(chǎng)光闌的位置調(diào)整作業(yè)方法和分析區(qū)域確認(rèn)方法，限制視場(chǎng)光闌的位置調(diào)整作業(yè)方法是：在插入限制視場(chǎng)光闌、進(jìn)行位置調(diào)整作業(yè)時(shí)，拍攝該光闌插入前的圖像來(lái)設(shè)為映射圖像，從上述光闌插入時(shí)的圖像提取光闌的輪廓，在該映射圖像上繪制上述光闌的輪廓，由此提高作業(yè)性；分析區(qū)域確認(rèn)方法是：用于基于上述光闌的輪廓來(lái)計(jì)算預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，在上述映射圖像上繪制該區(qū)域，由此提高分析的可靠性。本發(fā)明的目的在于提高限制視場(chǎng)光闌的位置調(diào)整作業(yè)中的作業(yè)性和/或提高分析區(qū)域確認(rèn)中的可靠性。例如，上述問(wèn)題能夠通過(guò)以下方式解決：設(shè)定計(jì)算電子光學(xué)的誤差所需的球面像差系數(shù)Cs、失焦量Δf、散射角度β，具有：拍攝限制視場(chǎng)光闌插入前的觀察視場(chǎng)作為映射圖像的攝影單元、存儲(chǔ)該映射圖像的存儲(chǔ)單元、拍攝上述光闌插入后的觀察視場(chǎng)來(lái)提取輪廓線的提取單元、計(jì)算預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域的計(jì)算單元、在上述映射圖像上繪制該輪廓線的繪制單元、以及顯示所繪制的該圖像的顯示單元；將如下繪制圖像顯示在上述顯示單元上，該繪制圖像是：在由上述攝影單元拍攝到的映射圖像上，繪制由上述提取單元提取出的輪廓線，從而制作出的繪制圖像，或者，該繪制圖像是：在由上述攝影單元拍攝到的映射圖像上，繪制通過(guò)上述計(jì)算單元基于由上述提取單元提取出的輪廓線而計(jì)算出的分析區(qū)域，從而制作出的繪制圖像。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)限制視場(chǎng)光闌的位置調(diào)整作業(yè)中的作業(yè)性的提高和/或分析區(qū)域確認(rèn)中的可靠性的提高。例如，在插入限制視場(chǎng)光闌來(lái)進(jìn)行位置調(diào)整作業(yè)時(shí)，能夠通過(guò)目視來(lái)識(shí)別該光闌與觀察視場(chǎng)的位置關(guān)系，將該光闌位置調(diào)整到任意分析區(qū)域的作業(yè)變得容易，由此，能夠提高利用使用電子顯微鏡的限制視場(chǎng)衍射法進(jìn)行的分析的作業(yè)效率。另外，表示上述光闌位置的輪廓線的直徑成為預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，能夠通過(guò)目視來(lái)識(shí)別觀察視場(chǎng)中的該分析區(qū)域，因此能夠提高利用使用電子顯微鏡的限制視場(chǎng)衍射法進(jìn)行的分析的可靠性。附圖說(shuō)明圖1是本例的裝置結(jié)構(gòu)的概要圖。圖2是說(shuō)明以往與本發(fā)明的限制視場(chǎng)光闌位置調(diào)整方法的比較的圖。圖3是顯示于輸出裝置12的本系統(tǒng)的GUI的概要圖。圖4是本發(fā)明(第一實(shí)施方式)的概要圖。圖5(a)是本發(fā)明(第一實(shí)施例)的運(yùn)算部的處理流程圖(前半)。圖5(b)是本發(fā)明(第一實(shí)施例)的運(yùn)算部的處理流程圖(后半)。圖6是預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域的說(shuō)明圖。圖7是本發(fā)明(第二實(shí)施例)的運(yùn)算部的處理流程圖。具體實(shí)施方式以下，使用附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。以下說(shuō)明是用于理解發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明，但是并不是對(duì)權(quán)利的范圍進(jìn)行限定。(第一實(shí)施例)本實(shí)施例提供了如下一種限制視場(chǎng)光闌位置調(diào)整方法：通過(guò)使用在限制視場(chǎng)光闌插入前拍攝的映射圖像以及從該光闌插入時(shí)的圖像提取出的輪廓線，能夠一邊通過(guò)目視來(lái)確認(rèn)分析對(duì)象物與上述光闌的位置關(guān)系，一邊進(jìn)行上述光闌的位置調(diào)整作業(yè)。圖1是本實(shí)施例中的裝置結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例所涉及的電子顯微鏡具備：照射透鏡系統(tǒng)2，其用于向試樣1照射電子射線；物鏡系統(tǒng)3，其用于對(duì)焦于試樣；成像透鏡系統(tǒng)4，其形成透過(guò)試樣的電子射線像；圖像檢測(cè)部5，其檢測(cè)所形成的像；限制視場(chǎng)光闌6，其限制分析范圍；計(jì)算機(jī)7，其進(jìn)行各種運(yùn)算控制處理；計(jì)算機(jī)內(nèi)部的運(yùn)算裝置8；存儲(chǔ)裝置9，其存儲(chǔ)數(shù)據(jù)；信號(hào)傳遞部10，其向計(jì)算機(jī)傳遞來(lái)自圖像檢測(cè)部的信號(hào)；輸入裝置11，其用于進(jìn)行參數(shù)的輸入；以及輸出裝置12，其用于輸出圖像。圖2中示出了以往與本實(shí)施例的限制視場(chǎng)光闌位置調(diào)整方法的比較。以往，在決定了觀察視場(chǎng)20之后，當(dāng)插入限制視場(chǎng)光闌時(shí)，視場(chǎng)的大部分由于該光闌的影子而變黑，很難識(shí)別觀察視場(chǎng)中的上述光闌的位置關(guān)系(標(biāo)記21)。由此，以往難以進(jìn)行將上述光闌位置調(diào)整到任意的分析區(qū)域的作業(yè)。與此相對(duì)，在本實(shí)施例中，在將上述光闌插入到觀察視場(chǎng)時(shí)，光闌的位置信息僅通過(guò)輪廓線進(jìn)行顯示，因此不會(huì)出現(xiàn)視場(chǎng)的大部分變黑的情況(標(biāo)記22)。由此，能夠容易地識(shí)別觀察視場(chǎng)中的上述光闌的位置關(guān)系，將上述光闌位置調(diào)整到任意的分析區(qū)域的作業(yè)變得容易。圖3是顯示于輸出裝置12的本系統(tǒng)的GUI的概要圖。在GUI的主窗口30中存在：圖像顯示部31；映射圖像攝影執(zhí)行部32、SAA(SelectedAreaAperture，選區(qū)光闌)對(duì)齊模式執(zhí)行部33、顯示分析區(qū)域執(zhí)行部34這共計(jì)三個(gè)執(zhí)行部；球面像差系數(shù)Cs輸入部35、失焦量Δf輸入部36、散射角度β輸入部37這共計(jì)三個(gè)數(shù)值輸入部。在決定觀察視場(chǎng)之后，按下映射圖像攝影執(zhí)行部32來(lái)拍攝映射圖像，按下SAA對(duì)齊模式(SAAalignmentmode)執(zhí)行部33，由此，能夠執(zhí)行本實(shí)施例的處理。此外，上述執(zhí)行部中的顯示分析區(qū)域(Showanalysisarea)執(zhí)行部34以及上述三個(gè)數(shù)值輸入部是在第二實(shí)施例中使用的功能，在第一實(shí)施例的實(shí)施方式中也可以不顯示。圖4中示出了本實(shí)施例的概要圖，使用圖3和圖4來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的概要。在本實(shí)施例中，首先按下映射圖像攝影執(zhí)行部32，通過(guò)圖像檢測(cè)部5來(lái)拍攝觀察視場(chǎng)20，作為映射圖像41保存在存儲(chǔ)裝置9中。之后，向觀察視場(chǎng)插入限制視場(chǎng)光闌6(標(biāo)記42)，按下SAA對(duì)齊模式執(zhí)行部33，由此在圖像顯示部31上顯示：用輪廓線在觀察視場(chǎng)上繪制上述光闌的位置信息而得到的繪制圖像(標(biāo)記43)。在SAA對(duì)齊模式的執(zhí)行中，通過(guò)運(yùn)算裝置8來(lái)與從圖像檢測(cè)部傳遞的檢測(cè)圖像同步地對(duì)上述映射圖像、輪廓線提取圖像44以及上述繪制圖像進(jìn)行更新。在該更新定時(shí)，對(duì)于映射圖像，對(duì)隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生的位置偏移進(jìn)行校正；對(duì)于輪廓線提取圖像，從上述檢測(cè)圖像新提取輪廓線；對(duì)于繪制圖像，更新為在該映射圖像上繪制該輪廓線而得到的圖像，并顯示在上述圖像顯示部上。圖5中示出了本發(fā)明(第一實(shí)施方式)的運(yùn)算部的處理流程。在以下的流程中設(shè)為：已經(jīng)拍攝了映射圖像41并作為Im(x,y)保存在存儲(chǔ)裝置9中，從圖像檢測(cè)部15輸出的圖像輸出周期被設(shè)定為A(ms)，圖像的像素?cái)?shù)表述為x,y和j,k。此外，設(shè)用戶能夠任意地設(shè)定數(shù)值A(chǔ),x,y,j,k。首先，在步驟501中，通過(guò)圖像檢測(cè)部檢測(cè)插入了限制視場(chǎng)光闌6的觀察視場(chǎng)20來(lái)作為檢測(cè)圖像It(x,y)。通過(guò)步驟502來(lái)判定上述檢測(cè)圖像It(x,y)的檢測(cè)時(shí)間T是否與圖像輸出周期A的值相同，在檢測(cè)時(shí)間T與該周期A的值相同的情況下，圖像檢測(cè)部在使檢測(cè)時(shí)間T復(fù)位之后，輸出檢測(cè)圖像It(x,y)(步驟503)。此外，圖像檢測(cè)部在使檢測(cè)時(shí)間T復(fù)位后，再次開(kāi)始檢測(cè)圖像It(x,y)的檢測(cè)。上述檢測(cè)圖像It(x,y)通過(guò)信號(hào)傳遞部10被傳遞到進(jìn)行運(yùn)算控制處理的計(jì)算機(jī)7。通過(guò)步驟504來(lái)進(jìn)行SAA對(duì)齊模式執(zhí)行判定，在“是”的情況下，檢測(cè)圖像It(x,y)被保存到運(yùn)算裝置8(步驟505)，在“否”的情況下，檢測(cè)圖像It(x,y)被輸出到圖像顯示部31(步驟514)。在步驟506中，對(duì)檢測(cè)圖像It(x,y)實(shí)施使用微分濾波等輪廓線提取處理，制作輪廓線圖像Ie(x,y)，保存到存儲(chǔ)裝置。在步驟507中，提取檢測(cè)圖像It(x,y)的輪廓線內(nèi)部的圖像，制作模板圖像Itemp(j,k)。以該模板圖像Itemp(j,k)為模板，與上述映射圖像Im(x,y)之間執(zhí)行模板匹配處理，根據(jù)該處理結(jié)果來(lái)測(cè)定映射圖像Im(x,y)相對(duì)于檢測(cè)圖像It(x,y)的位置偏移量，導(dǎo)出位置偏移校正量X,Y(步驟508，509)。通過(guò)步驟510使映射圖像Im(x,y)移動(dòng)該位置偏移校正量X,Y，制作位置偏移校正映射圖像Im’(x,y)。通過(guò)步驟511，在該映射圖像Im’(x,y)上繪制上述輪廓線圖像Ie(x,y)來(lái)制作輪廓線繪制圖像Im”(x,y)，并輸出到圖像顯示部(步驟512)。通過(guò)步驟513進(jìn)行SAA對(duì)齊模式執(zhí)行的判定，在“是”的情況下再次進(jìn)行檢測(cè)圖像It(x,y)的檢測(cè)，重復(fù)進(jìn)行上述處理直到該判定變?yōu)椤胺瘛睘橹埂Ｔ谠撆卸椤胺瘛钡那闆r下，將檢測(cè)圖像It(x,y)輸出到圖像顯示部，恢復(fù)為以往的觀察狀態(tài)來(lái)結(jié)束處理(步驟514)。通過(guò)以上的處理，能夠以圖像輸出周期通過(guò)目視來(lái)識(shí)別限制視場(chǎng)光闌與觀察視場(chǎng)的位置關(guān)系，因此將上述光闌位置調(diào)整到任意的分析區(qū)域的作業(yè)變得容易。由此，能夠提高利用使用電子顯微鏡的限制視場(chǎng)衍射法進(jìn)行的分析的作業(yè)效率。上述實(shí)施例將映射圖像、輪廓線圖像以及輪廓線繪制圖像的像素?cái)?shù)記載為相同的值，但是對(duì)于上述圖像的像素?cái)?shù)不同的情況，也能夠應(yīng)用本發(fā)明。上述實(shí)施例在檢測(cè)圖像與映射圖像的位置偏移校正量的導(dǎo)出中使用了模板匹配處理，但是本發(fā)明也可以應(yīng)用其它位置偏移校正量導(dǎo)出算法。上述實(shí)施例在輪廓線提取處理中使用了微分濾波，但是在本發(fā)明中也可以使用其它輪廓線提取算法。上述實(shí)施例在提取輪廓線之后進(jìn)行位置偏移校正量的導(dǎo)出，但是本發(fā)明也可以在位置偏移校正量的導(dǎo)出之后進(jìn)行輪廓線的提取。上述實(shí)施例將數(shù)值A(chǔ),x,y,j,k記載為用戶指定，但是本發(fā)明也可以自動(dòng)設(shè)定該數(shù)值。上述實(shí)施例繪制輪廓線，但是本發(fā)明也可以繪制輪廓線內(nèi)部的圖像。上述實(shí)施例記載為在映射圖像上繪制輪廓線，但是本發(fā)明也可以將輪廓線圖像與映射圖像相加，來(lái)在映射圖像上顯示輪廓線。此外，本發(fā)明能夠提高利用使用電子顯微鏡的限制視場(chǎng)衍射法進(jìn)行的分析的作業(yè)效率，能夠期待應(yīng)用于材料分析領(lǐng)域。另外，在半導(dǎo)體設(shè)備等的觀察中也能夠期待應(yīng)用于分析目的以外的目的，如任意的限制視場(chǎng)中的方位對(duì)準(zhǔn)作業(yè)的高效化等。(第二實(shí)施例)本實(shí)施例提供了如下一種限制視場(chǎng)光闌位置調(diào)整方法：通過(guò)使用在限制視場(chǎng)光闌插入前拍攝的映射圖像以及從該光闌插入時(shí)的圖像提取出的輪廓線，能夠一邊通過(guò)目視來(lái)確認(rèn)分析對(duì)象物與上述光闌的位置關(guān)系、一邊進(jìn)行上述光闌的位置調(diào)整作業(yè)。在第二實(shí)施方式中，變更表示上述光闌位置的輪廓線的直徑，繪制預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，由此能夠提高分析的可靠性。本實(shí)施例的裝置結(jié)構(gòu)和處理的概要與上述第一實(shí)施例共同，因此省略。上述第一實(shí)施例在利用輪廓線在觀察視場(chǎng)上繪制限制視場(chǎng)光闌的位置信息而得到的繪制圖像(標(biāo)記43)上，繪制上述光闌的輪廓線，但是本實(shí)施例變更了表示光闌位置的該輪廓線的直徑，繪制預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域。使用圖6來(lái)說(shuō)明預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域。在不存在物鏡系統(tǒng)的球面像差、以正焦點(diǎn)進(jìn)行的觀察中，入射電子射線60透過(guò)試樣1時(shí)，變?yōu)橥干洳?1和衍射波62，這兩個(gè)波被物鏡系統(tǒng)3折射，按散射角β64匯聚在焦點(diǎn)面63上，之后，按上述試樣上的每個(gè)位置匯聚在物鏡系統(tǒng)的像面65上。在此，一般來(lái)說(shuō)，限制視場(chǎng)光闌6被插入到上述像面部，因此觀察視場(chǎng)42的被該光闌所限制的區(qū)域66成為分析區(qū)域。但是，實(shí)際上物鏡系統(tǒng)存在球面像差，在觀察時(shí)失焦的情況多。因此，上述兩個(gè)波不在上述像面上匯聚，而是在上述像面上產(chǎn)生Δ的偏移67。由于該偏移量Δ，分析區(qū)域成為比限制視場(chǎng)光闌所限制的區(qū)域大的區(qū)域(在此，將該區(qū)域設(shè)為預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域68。)。此外，上述偏移量Δ能夠通過(guò)以下式子求出。[式1]Δ＝Cs·β3-Δf·β…式(1)Cs：球面像差系數(shù)Δf：失焦量如以上那樣，上述分析區(qū)域比上述光闌所限制的區(qū)域大，因此在以往的觀察中無(wú)法通過(guò)目視來(lái)識(shí)別處于上述光闌的限制區(qū)域外、且包含于分析區(qū)域的區(qū)域。本發(fā)明變更了上述第一實(shí)施例中繪制出的表示限制視場(chǎng)光闌位置的輪廓線的直徑并繪制預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，由此能夠通過(guò)目視來(lái)識(shí)別上述分析區(qū)域。下面說(shuō)明其實(shí)施方式。圖7中示出了本實(shí)施例的運(yùn)算部的處理流程。此外，步驟510以前和步驟512以后的處理與上述第一實(shí)施方式的處理相同，因此省略。在第二實(shí)施方式中，除了上述第一實(shí)施方式以外，還需要以下的前提條件。首先，在數(shù)值b被輸入到圖2所示的球面像差系數(shù)Cs輸入部35、數(shù)值c被輸入到失焦量Δf輸入部36、數(shù)值d被輸入到散射角度β輸入部的狀態(tài)下，按下顯示分析區(qū)域執(zhí)行部34來(lái)執(zhí)行顯示分析區(qū)域。另外，由圖像檢測(cè)部5檢測(cè)的像的倍率M是已知的。在步驟701中，進(jìn)行顯示分析區(qū)域執(zhí)行判定，在“是”的情況下，使用上述三個(gè)輸入值b,c,d，根據(jù)[式2]Δ＝Cs·β3-Δf·β來(lái)計(jì)算偏移量Δ(步驟702)，在“否”的情況下，進(jìn)入上述第一實(shí)施例的步驟511的處理。在步驟703中，根據(jù)上述倍率M來(lái)計(jì)算與輪廓線圖像Ie(x,y)的1像素相當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度L。在步驟704中，根據(jù)上述偏移量Δ和該長(zhǎng)度L來(lái)計(jì)算用像素?cái)?shù)來(lái)表示偏移量Δ的量Δp。在步驟705中，導(dǎo)出在輪廓線圖像Ie(x,y)上繪制的輪廓線的中心坐標(biāo)P(xx,yy)以及輪廓線的半徑r。在步驟706中，新制作分析區(qū)域圖像Ia(x,y)，在該圖像上繪制以上述坐標(biāo)P(xx,yy)為中心、以上述半徑r與上述偏移量Δp相加所得的長(zhǎng)度為半徑的圓。在步驟707中，在位置偏移校正映射圖像Im’(x,y)上繪制該分析區(qū)域圖像Ia(x,y)，制作輪廓線繪制圖像Im”(x,y)后輸出到圖像顯示部(步驟512)。通過(guò)以上的處理，表示限制視場(chǎng)光闌位置的輪廓線的直徑成為預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，能夠通過(guò)目視來(lái)識(shí)別觀察視場(chǎng)中的該分析區(qū)域，因此能夠提高分析的可靠性。上述實(shí)施例將預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域繪制成圓，但是本發(fā)明也可以基于所提取的輪廓線來(lái)繪制擴(kuò)大了偏移量Δ后的上述分析區(qū)域。上述實(shí)施例繪制一個(gè)預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，但是本發(fā)明也可以同時(shí)繪制多個(gè)失焦量Δf不同的分析區(qū)域和散射角β不同的分析區(qū)域。上述實(shí)施例在映射圖像上繪制預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域，但是本發(fā)明也可以通過(guò)將預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域圖像與映射圖像相加來(lái)在映射圖像上顯示預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域。符號(hào)說(shuō)明1：試樣；2：照射透鏡系統(tǒng)；3：物鏡系統(tǒng)；4：成像透鏡系統(tǒng)；5：圖像檢測(cè)部；6：限制視場(chǎng)光闌；7：計(jì)算機(jī)；8：運(yùn)算裝置；9：存儲(chǔ)裝置；10：信號(hào)傳遞部；11：輸入裝置；12：輸出裝置；20：觀察視場(chǎng)；21：以往的觀察視場(chǎng)；22：使用本發(fā)明的觀察視場(chǎng)；30：GUI主窗口；31：圖像顯示部；32：映射圖像攝影執(zhí)行部；33：SAA對(duì)齊模式執(zhí)行部；34：顯示分析區(qū)域執(zhí)行部；35：球面像差系數(shù)Cs輸入部；36：失焦量Δf輸入部；37：散射角度β輸入部；41：映射圖像；42：限制視場(chǎng)光闌插入后的觀察視場(chǎng)；43：在觀察視場(chǎng)中用輪廓線繪制限制視場(chǎng)光闌的位置信息而得到的圖像；44：輪廓線提取圖像試樣；60：入射電子射線；61：透射波；62：衍射波；63：物鏡系統(tǒng)的焦點(diǎn)面；64：散射角度β；65：物鏡系統(tǒng)的像面；66：被限制視場(chǎng)光闌所限制的區(qū)域；67：透射波與衍射波在物鏡系統(tǒng)的像面上的偏移量；68：預(yù)計(jì)了電子光學(xué)的誤差的分析區(qū)域。