一種氣體噴淋裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣體噴淋裝置，包括上下對(duì)應(yīng)設(shè)置的噴淋系統(tǒng)和抽風(fēng)系統(tǒng)，所述噴淋系統(tǒng)包括進(jìn)氣接口、噴淋頭、設(shè)于噴淋頭外側(cè)的側(cè)抽風(fēng)通道以及連通側(cè)抽風(fēng)通道的抽風(fēng)接口一，所述抽風(fēng)系統(tǒng)包括與所述噴淋系統(tǒng)側(cè)抽風(fēng)通道連通的抽風(fēng)槽、連通抽風(fēng)槽的抽風(fēng)接口二以及鼓風(fēng)機(jī)，鼓風(fēng)機(jī)與抽風(fēng)接口一、抽風(fēng)接口二分別相連。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易操作，兼容能力強(qiáng)，可結(jié)合多種設(shè)備和氣體使用，不僅可以用于氧化、鈍化半導(dǎo)體表面的批量處理，還能實(shí)現(xiàn)物體表面吹掃清潔以及清洗后吹干等多種用途。
【專利說(shuō)明】一種氣體噴淋裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及一種氣體噴淋裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]硅材料是半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要材料，由于懸掛鍵、位錯(cuò)、化學(xué)殘留物等缺陷能級(jí)的存在，使得硅表面存在大量的復(fù)合中心，成為降低半導(dǎo)體少數(shù)載流子壽命、增加表面復(fù)合速率的主要因素，嚴(yán)重影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。目前市場(chǎng)上高質(zhì)量的半導(dǎo)體產(chǎn)品都是利用良好的表面鈍化技術(shù)來(lái)降低半導(dǎo)體的表面活性，使表面的復(fù)合速度降低。其主要方式是設(shè)置飽和半導(dǎo)體表面處的懸掛鍵，降低表面活性，增加表面的清潔程序，避免由于表面層引入雜質(zhì)而形成復(fù)合中心，以此來(lái)降低少數(shù)載流子的表面復(fù)合速度。
[0003]通過(guò)氧化對(duì)硅片表面懸掛鍵進(jìn)行飽和是解決缺陷的主要手段之一，但目前在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)硅片的氧化主要是利用氧氣在高溫氧化爐內(nèi)實(shí)現(xiàn)，這種方式由于操作復(fù)雜，設(shè)備成本高，能耗高、成品率低等諸多因素而不適合批量生產(chǎn)，所以尋求一種適合批量生產(chǎn)的鈍化設(shè)備成為了行業(yè)難題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明目的:針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種氣體噴淋裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，兼容能力強(qiáng)，可在現(xiàn)在技術(shù)條件下實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的批量處理。
[0005]技術(shù)方案:本實(shí)用新型所述的氣體噴淋裝置，包括上下對(duì)應(yīng)設(shè)置的噴淋系統(tǒng)和抽風(fēng)系統(tǒng)，所述噴淋系統(tǒng)包括進(jìn)氣接口、噴淋頭、設(shè)于噴淋頭外側(cè)的側(cè)抽風(fēng)通道以及連通側(cè)抽風(fēng)通道的抽風(fēng)接口一，所述抽風(fēng)系統(tǒng)包括與所述噴淋系統(tǒng)側(cè)抽風(fēng)通道連通的抽風(fēng)槽、連通抽風(fēng)槽的抽風(fēng)接口二以及鼓風(fēng)機(jī)，鼓風(fēng)機(jī)與抽風(fēng)接口一、抽風(fēng)接口二分別相連。
[0006]所述噴淋頭包括與所述進(jìn)氣接口相連的均流管以及設(shè)于均流管下方的噴淋面板。
[0007]所述側(cè)抽風(fēng)通道為倒“U”型通道，由外U型板和內(nèi)U型板組成；所述抽風(fēng)槽為“U”型通道，由外U型槽和內(nèi)U型槽組成。
[0008]所述外U型板與所述內(nèi)U板之間的距離為3-lOcm。
[0009]所述鼓風(fēng)機(jī)通過(guò)三通和抽風(fēng)管道一、抽風(fēng)管道二與所述噴淋系統(tǒng)抽風(fēng)接口一、所述抽風(fēng)系統(tǒng)抽風(fēng)接口二分別相連。
[0010]所述進(jìn)氣接口為多種口徑快插接口或軟管接口。
[0011]所述均流管通過(guò)連接管路與所述進(jìn)氣接口相連，連接管路為PU、PVC、硅膠中任一材料制成的氣體管道。
[0012]所述噴淋面板由按矩陣均勻排列的篩孔組成，篩孔的直徑為0.5-1.5mm。
[0013]所述噴淋面板與所述均流管之間的距離為l-5cm。
[0014]所述噴淋系統(tǒng)兩側(cè)伸出有翼板，翼板上設(shè)有調(diào)節(jié)高度距離的螺母一，所述抽風(fēng)系統(tǒng)設(shè)有調(diào)節(jié)高度距離的螺母二。
[0015]將本實(shí)用新型安裝在晶體硅太陽(yáng)能電池刻蝕清洗工序下料區(qū)出口位置，使得下料區(qū)滾輪正好位于噴淋系統(tǒng)和抽風(fēng)系統(tǒng)之間，經(jīng)過(guò)刻蝕清洗后的晶體硅太陽(yáng)能電池在本實(shí)用新型的作用下快速消除晶體硅表面雜質(zhì)，避免復(fù)合中心的形成和半導(dǎo)體少數(shù)載流子壽命的縮短，有效地提高了晶體硅的質(zhì)量和使用壽命。此外本實(shí)用新型可結(jié)合其他半導(dǎo)體設(shè)備使用，實(shí)現(xiàn)物體清洗后吹干、半導(dǎo)體表面氧化、鈍化以及表面清潔等多種用途。
[0016]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):
[0017]1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，易操作、維護(hù)簡(jiǎn)單，設(shè)備穩(wěn)定性及工藝重復(fù)性好，與現(xiàn)有工藝完美結(jié)合，能實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，適合大規(guī)模推廣；
[0018]2、本實(shí)用新型可以在常溫下使用，結(jié)合強(qiáng)氧化氣體鈍化效果好，能耗低；
[0019]3、本實(shí)用新型兼容能力強(qiáng)，可結(jié)合多種設(shè)備和氣體使用，不僅可以用于氧化、鈍化半導(dǎo)體表面，還能實(shí)現(xiàn)物體表面吹掃清潔以及清洗后吹干等多種用途。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ] 其中，I——抽風(fēng)接口一、21——進(jìn)氣接口、2——連接管道、3——外U型板、
[0022]4-內(nèi)U型板、5-噴淋板面、6-均流管、7-夕卜U型槽、8-內(nèi)U型槽、
[0023]9——抽風(fēng)接口二、10——螺母二、11——螺母一、12——抽風(fēng)管道、13——進(jìn)氣管道、14—抽風(fēng)管道二。
[0024]圖2是本實(shí)用新型噴淋系統(tǒng)的俯視圖。
[0025]圖3是噴淋板面平面圖；
[0026]其中，51——噴淋孔。

【具體實(shí)施方式】
[0027]下面通過(guò)附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0028]實(shí)施例1:如圖1至圖2所示的氣體噴淋裝置，包括上下對(duì)應(yīng)設(shè)置的噴淋系統(tǒng)和抽風(fēng)系統(tǒng)；噴淋系統(tǒng)包括抽風(fēng)接口一 1、進(jìn)氣接口 21、連接管道2、外U型板3、內(nèi)U型板4、噴淋板面5、均流管6和螺母一 11，抽風(fēng)系統(tǒng)包括外U型槽7、內(nèi)U型槽8、抽風(fēng)接口二 9、螺母二10和外接的鼓風(fēng)機(jī)。外U型板3呈開(kāi)口朝下的“U”型板，內(nèi)U型板4也呈開(kāi)口朝下的“U”型板，內(nèi)U型板4設(shè)于外U型板3內(nèi)部且與外U型板3保持5cm的平行間距，外U型板3的頂端中部設(shè)有抽風(fēng)接口一 1，內(nèi)U型板4內(nèi)部設(shè)有均流管6，均流管6的上端通過(guò)連接管道2與設(shè)于抽風(fēng)接口一 I內(nèi)部的進(jìn)氣接口 21相連，連接管道2為材料制成的連接管道，在內(nèi)U型板4的底部開(kāi)口、距均流孔6距離3cm處設(shè)有噴淋面板5，噴淋面板5的結(jié)構(gòu)如圖3所示，由按矩陣均勻排列的篩孔51組成、篩孔51的直徑為Imm ;噴淋系統(tǒng)兩側(cè)伸出有翼板，翼板上安裝有螺母一 11 ;外U型槽7和內(nèi)U型槽8均為開(kāi)口向上的“U”型板，內(nèi)U型槽8設(shè)于外U型槽7內(nèi)并與外U型槽保持平行，外U型槽7的一側(cè)邊設(shè)有抽風(fēng)接口二 9，外U型槽7的底部設(shè)有螺母二 10 ；
[0029]本實(shí)用新型可用于晶體硅太陽(yáng)能電池表面的氧化，使用時(shí)安裝在晶體硅太陽(yáng)能電池刻蝕清洗工序下料區(qū)出口位置，安裝方法如下:
[0030]( I)將抽風(fēng)系統(tǒng)置于下料區(qū)滾輪下方，設(shè)置螺母二 10，使下料區(qū)滾輪下邊緣距抽風(fēng)槽頂面3-5cm，并用抽風(fēng)管道二 14將抽風(fēng)接口二 9與鼓風(fēng)機(jī)連接；
[0031](2)噴淋系統(tǒng)置于下料區(qū)滾輪上方、抽風(fēng)系統(tǒng)的正上方位置，設(shè)置螺母一 11，使噴淋系統(tǒng)的底面距滾輪上邊緣0.5-lcm的位置,并用抽風(fēng)管道一 12將抽風(fēng)接口一 I與鼓風(fēng)機(jī)連接，用進(jìn)氣管道13將進(jìn)氣接口 21與氣源連接，進(jìn)氣管道13為軟管。
[0032]使用方法:開(kāi)啟鼓風(fēng)機(jī)，通入具有氧化性能的氣體，刻蝕清洗完成的硅片通過(guò)下料臺(tái)時(shí)，位于下料區(qū)上方的噴淋板即可將硅片表面氧化。此外本實(shí)用新型可以配合其他半導(dǎo)體設(shè)備使用，實(shí)現(xiàn)物體清洗后吹干、半導(dǎo)體表面氧化、鈍化以及表面清潔等多種用途。
[0033]如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型，但其不得解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下，可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體噴淋裝置，其特征在于:包括上下對(duì)應(yīng)設(shè)置的噴淋系統(tǒng)和抽風(fēng)系統(tǒng)，所述噴淋系統(tǒng)包括進(jìn)氣接口、噴淋頭、設(shè)于噴淋頭外側(cè)的側(cè)抽風(fēng)通道以及連通側(cè)抽風(fēng)通道的抽風(fēng)接口一，所述抽風(fēng)系統(tǒng)包括與所述噴淋系統(tǒng)側(cè)抽風(fēng)通道連通的抽風(fēng)槽、連通抽風(fēng)槽的抽風(fēng)接口二以及鼓風(fēng)機(jī)，鼓風(fēng)機(jī)與抽風(fēng)接口 一、抽風(fēng)接口 二分別相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述噴淋頭包括與所述進(jìn)氣接口相連的均流管以及設(shè)于均流管下方的噴淋面板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述側(cè)抽風(fēng)通道為倒“U”型通道，由外U型板和內(nèi)U型板組成；所述抽風(fēng)槽為“U”型通道，由外U型槽和內(nèi)U型槽組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述外U型板與所述內(nèi)U板之間的距離為3-10cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述鼓風(fēng)機(jī)通過(guò)三通和抽風(fēng)管道一、抽風(fēng)管道二與所述噴淋系統(tǒng)抽風(fēng)接口一、所述抽風(fēng)系統(tǒng)抽風(fēng)接口二分別相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述進(jìn)氣接口為多種口徑快插接口或軟管接口。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述均流管通過(guò)連接管路與所述進(jìn)氣接口相連，連接管路為PU、PVC、硅膠中任一材料制成的氣體管道。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述噴淋面板由按矩陣均勻排列的篩孔組成，篩孔的直徑為0.5-1.5mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述噴淋面板與所述均流管之間的距離為l_5cm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋裝置，其特征在于:所述噴淋系統(tǒng)兩側(cè)伸出有翼板、翼板上設(shè)有調(diào)節(jié)高度距離的螺母一，所述抽風(fēng)系統(tǒng)設(shè)有調(diào)節(jié)高度距離的螺母二。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK204118047SQ201420627197
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月27日
【發(fā)明者】黃青松, 勾憲芳, 范維濤, 朱宏平, 黃惜惜 申請(qǐng)人:中節(jié)能太陽(yáng)能科技（鎮(zhèn)江）有限公司