擴晶膜的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供擴晶機使用的擴晶膜，包括十字型擴晶膜和八邊形擴晶膜，使得粘貼在擴晶膜上已經(jīng)切好的晶元均勻擴張、芯片互相分離，相鄰芯片之間的距離相等，使得后續(xù)的測量和分選的工藝占用較少的機器分辨和定位時間，達到芯片級封裝或晶元級封裝的要求，便于后續(xù)的工藝流程。
【專利說明】擴晶膜

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體行業(yè)和LED行業(yè)的擴晶機使用的擴晶膜，使得晶元均勻擴張，相鄰芯片之間的距離相等，減少后續(xù)的測量和分選工藝占用的機器分辨和定位時間，達到晶元級封裝的要求，便于后續(xù)的工藝流程。

【背景技術(shù)】
[0002]晶元(wafer)上正方形和矩形芯片的切割道(cutting street)是沿互相垂直的兩個方向:X方向和Y方向，X方向與晶元的平邊(flat)平行?，F(xiàn)有的擴晶機(waferexpander)都是沿晶元的半徑方向擴張，因此，同一切割道方向上的相鄰芯片(chip)之間的距離不相等，使得后續(xù)的測量和分選的工藝占用較多的機器分辨和定位時間。另外，芯片級封裝(chip scale package)或晶元級封裝(wafer level package)要求同一切割道方向上的芯片之間的距離基本上相同。
[0003]為了達到上述要求，新型擴晶機已經(jīng)被提出，如中國專利申請:201410205369.6，201420252689.2,201410364441.x, 201420421786.x，采用這種新型擴晶機，需要新型的擴晶膜，使得擴張后的晶元上的同一切割道方向的芯片之間的距離基本上相同。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的首要目的是提供一種擴晶膜，使得擴張后的晶元上同一切割道方向上相鄰的芯片之間的距離基本相同，芯片之間的沿X方向的距離與沿Y方向的距離相同，使得后續(xù)的測量和分選的工藝占用較少的機器分辨和定位時間，滿足芯片級封裝的要求。第二個目的是提供一種擴晶膜，使得擴張后的晶元在X方向的相鄰的芯片之間的距離基本上相同，在Y方向的相鄰的芯片之間的距離基本上相同，芯片之間的沿X方向的距離與沿Y方向的距離不同，因此，適用于矩形芯片，滿足芯片級封裝的要求。
[0005]本實用新型的擴晶膜包括十字形擴晶膜和八邊形擴晶膜，實施實例如下:
[0006]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜包括橫臂(100，110，120，130，140，300，310，500，510，520，700，710)和豎臂(200，210，220，230，240，400，410，600，610，620，800，810)，橫臂與所述豎臂互相垂直，使得擴晶機擴張十字型擴晶膜時，十字型擴晶膜沿兩個互相垂直的方向擴張。
[0007]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊與相鄰的豎臂的邊(例如，101與201，102與202，103與203，104與204)相連接。
[0008]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊(與相鄰的豎臂的邊(例如，101 與 201，102 與 202，103 與 203，104 與 204，501 與 601，502 與 602，503 與603，504 與 604，)分別通過弧線(115，116，117，118，515，516，517，518)相連接。
[0009]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊與相鄰的豎臂的邊(例如，101 與 201，102 與 202，103 與 203，104 與 204)分別通過斜線(125，126，127，128)相連接。
[0010]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊與相鄰的豎臂的邊(例如，101 與 201，102 與 202，103 與 203，104 與 204)分別通過折線(135，136，137，138)相連接。
[0011]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊與相鄰的豎臂的邊之間的夾角分別等于90。(例如，101與201，102與202，103與203，104與204)。
[0012]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊與相鄰的豎臂的邊之間的夾角分別大于90。(例如，301與401，302與402，303與403，304與404)。
[0013]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的邊與相鄰的豎臂的邊之間的夾角分別小于90。(例如，501與601，502與602，503與603，504與604)。
[0014]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的長度與豎臂的長度相等(例如，20和30)。
[0015]十字型擴晶膜的實施實例，其特征在于，十字型擴晶膜的橫臂的長度與豎臂的長度不相等(例如，40和50)。
[0016]八邊形擴晶膜的實施實例，其特征在于，八邊形擴晶膜的相對應(yīng)的兩條邊(例如，905和906，907和908)互相平行，使得擴晶機擴張八邊形擴晶膜時，八邊形擴晶膜沿兩個互相垂直的方向擴張。
[0017]八邊形擴晶膜的實施實例，其特征在于，八邊形擴晶膜是正八邊形擴晶膜。
[0018]八邊形擴晶膜的實施實例，其特征在于，互相平行的兩條邊之間的距離與至少一對其他的互相平行的兩條邊之間的距離(例如，40和50)不相等。
[0019]下面的事項對所有本實用新型的擴晶膜的實施實例都適用:(I)附圖中的尺寸不成比例；(2)豎臂與橫臂的的交叉處的最小尺寸大于后續(xù)使用的晶元的直徑。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1a和圖1b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0021]圖2a和圖2b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0022]圖3a和圖3b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0023]圖4a和圖4b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0024]圖5a和圖5b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0025]圖6a和圖6b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0026]圖7a和圖7b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0027]圖8a和圖8b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0028]圖9a和圖9b分別是本實用新型的擴晶膜的實施實例。
[0029]圖中的數(shù)字符號代表的含義如下:
[0030]10表示的交叉處，
[0031]20和40分別表示橫臂的長度，
[0032]30和50分別表示豎臂的長度，
[0033]100、110、120、130、140、300、310、500、510、520、700、710 分別表示十字型擴晶膜的橫臂，
[0034]200、210、220、230、240、400、410、600、610、620、800、810 分別表示十字型擴晶膜的豎臂，
[0035]101、102、301、302、501、502 分別表示橫臂的上邊，
[0036]103、104、303、304、503、504 分別表示橫臂的下邊，
[0037]201、203、401、403、601、603 分別表示豎臂的左邊，
[0038]202、204、402、404、602、604 分別表示豎臂的右邊，
[0039]105、305、505、705和106、306、506、706分別表示十字型擴晶膜的橫臂的左邊和右邊，
[0040]205、405、605、805和206、406、606、806分別表示十字型擴晶膜的豎臂的上邊和下邊，
[0041]115、116、117、118 分別表示連接 101 和 201、102 和 202、103 和 203、104 和 204 的弧線，
[0042]125、126、127、128 分別表示連接 101 和 201、102 和 202、103 和 203、104 和 204 的直線，
[0043]715、716、717、718 分別表示連接 705 和 805,705 和 805,705 和 806,706 和 806 的弧線，
[0044]907和908分別表不八邊形擴晶I吳的左邊和右邊，
[0045]905和906分別表示八邊形擴晶膜的上邊和下邊，
[0046]915、916、917、918 分別表示連接 905 和 907,905 和 908,907 和 906,908 和 906 的直線。

【具體實施方式】
[0047]圖1a和圖1b分別是本實用新型的十字型擴晶膜的實施實例。
[0048]圖1a展示的實施實例中，十字型擴晶膜包括橫臂100和豎臂200，橫臂100與豎臂200互相垂直，橫臂100的長度20與豎臂200的長度30基本相同，使得擴晶機擴張十字型擴晶膜時，十字型擴晶膜沿兩個互相垂直的方向擴張。橫臂100包括左邊105、右邊106、上邊101、上邊102、下邊103、下邊104。豎臂200包括上邊205、下邊206、左邊201、左邊203、右邊202、下邊204。橫臂100和豎臂200的交叉處10。
[0049]其中，左邊105和右邊106基本平行；上邊101和上邊102與下邊103和下邊104基本平行；上邊205和下邊206基本平行；左邊201和左邊203與右邊202和下邊204基本平行；上邊101與左邊201基本垂直并直接連接；上邊102與右邊202基本垂直并直接連接；下邊103與左邊203基本垂直并直接連接；下邊104與右邊204基本垂直并直接連接。
[0050]上邊101與上邊102之間的虛擬連接線(虛線)、下邊103與下邊104之間的虛擬連接線(虛線)、左邊201與左邊203之間的虛擬連接線(虛線)、右邊202與右邊204之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂100和豎臂200的交叉處10(圖1a中帶有點的區(qū)域)。
[0051]交叉處10的最小尺寸等于大于后續(xù)放在其上的晶元的直徑，例如，交叉處10的寬度等于大于后續(xù)放在其上的晶元的直徑，或者交叉處10的長度等于大于后續(xù)放在其上的晶元的直徑。
[0052]圖1b展示的實施實例與圖1a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖1b展示的實施實例中，橫臂110的長度40大于豎臂210的長度50。
[0053]圖2a和圖2b分別是本實用新型的十字型擴晶膜的實施實例。
[0054]圖2a展示的實施實例的形狀與圖1a展示的實施實例的形狀基本相同，不同之處在于:上邊101與左邊201基本垂直并由弧線115連接；上邊102與右邊202基本垂直并由弧線116連接；下邊103與左邊203基本垂直并由弧線117連接；下邊104與右邊204基本垂直并由弧線118連接。
[0055]上邊101與上邊102之間的虛擬連接線(虛線)、下邊103與下邊104之間的虛擬連接線(虛線)、左邊201與左邊203之間的虛擬連接線(虛線)、右邊202與右邊204之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂100和豎臂200的交叉處10(圖2a中帶有點的區(qū)域)。
[0056]圖2b展示的實施實例與圖2a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖2b展示的實施實例中，橫臂120的長度大于豎臂220的長度。
[0057]圖3a和圖3b分別是本實用新型的十字型擴晶膜的實施實例。
[0058]圖3a展示的實施實例的形狀與圖2a展示的實施實例的形狀基本相同，不同之處在于:上邊101與左邊201基本垂直并由直線125連接；上邊102與右邊202基本垂直并由直線126連接；下邊103與左邊203基本垂直并由直線127連接；下邊104與右邊204基本垂直并由直線128連接。
[0059]上邊101與上邊102之間的虛擬連接線(虛線)、下邊103與下邊104之間的虛擬連接線(虛線)、左邊201與左邊203之間的虛擬連接線(虛線)、右邊202與右邊204之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂100和豎臂200的交叉處10(圖3a中帶有點的區(qū)域)。
[0060]圖3b展示的實施實例與圖3a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖3b展示的實施實例中，橫臂130的長度大于豎臂230的長度。
[0061]圖4a展示的實施實例的形狀與圖2a展示的實施實例的形狀基本相同，不同之處在于:上邊101與左邊201基本垂直并由折線135連接；上邊102與右邊202基本垂直并由折線136連接；下邊103與左邊203基本垂直并由折線137連接；下邊104與右邊204基本垂直并由折線138連接。
[0062]注意:折線可以由2條或者多條直線首尾相連組成。
[0063]上邊101與上邊102之間的虛擬連接線(虛線)、下邊103與下邊104之間的虛擬連接線(虛線)、左邊201與左邊203之間的虛擬連接線(虛線)、右邊202與右邊204之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂100和豎臂200的交叉處10(圖4a中帶有點的區(qū)域)。
[0064]圖4b展示的實施實例與圖4a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖4b展示的實施實例中，橫臂140的長度大于豎臂240的長度。
[0065]圖5a和圖5b分別是本實用新型的十字型擴晶膜的實施實例。
[0066]圖5a展示的實施實例的形狀與圖1a展示的實施實例的形狀基本相同，不同之處在于:上邊301與左邊401之間的夾角大于90°并直接連接；上邊302與右邊402之間的夾角大于90°并直接連接；下邊303與左邊403之間的夾角大于90°并直接連接；下邊304與右邊404之間的夾角大于90°并直接連接。
[0067]上邊405的左端點與下邊406的左端點之間的虛擬連接線(虛線)、上邊405的右端點與下邊406的右端點之間的虛擬連接線(虛線)、左邊305的上端點與右邊306的上端點之間的虛擬連接線(虛線)、左邊305的下端點與右邊306的下端點之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂300和豎臂400的交叉處10 (圖5a中帶有點的區(qū)域)。
[0068]圖5b展示的實施實例與圖5a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖5b展示的實施實例中，橫臂310的長度大于豎臂410的長度。
[0069]注意:上邊301和左邊401之間也可以通過弧線或者另一條直線或者折線連接；下邊303和左邊403之間也可以通過弧線或者另一條直線或者折線連接；上邊302和右邊402之間也可以通過弧線或者另一條直線或者折線連接；下邊304和右邊404之間也可以通過弧線或者另一條直線或者折線連接。
[0070]圖6a和圖6b分別是本實用新型的十字型擴晶膜的實施實例。
[0071]圖6a展示的實施實例的形狀與圖5a展示的實施實例的形狀基本相同，不同之處在于:上邊501與左邊601之間的夾角小于90°并直接連接；上邊502與右邊602之間的夾角小于90°并直接連接；下邊503與左邊603之間的夾角小于90°并直接連接；下邊504與右邊604之間的夾角小于90°并直接連接。
[0072]上邊501的右端點與上邊502的左端點之間的虛擬連接線(虛線)、下邊503的右端點與下邊504的左端點之間的虛擬連接線(虛線)、左邊601的下端點與左邊603的上端點之間的虛擬連接線(虛線)、右邊602的下端點與右邊604的上端點之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂500和豎臂600的交叉處10 (圖6a中帶有點的區(qū)域)。
[0073]圖6b展示的實施實例與圖6a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖6b展示的實施實例中，橫臂510的長度大于豎臂610的長度。
[0074]圖7a展示的實施實例的形狀與圖6a展示的實施實例的形狀基本相同，不同之處在于:上邊501與左邊601基本垂直并由弧線515連接；上邊502與右邊602基本垂直并由弧線516連接；下邊503與左邊603基本垂直并由弧線517連接；下邊504與右邊604基本垂直并由弧線518連接。
[0075]上邊501與上邊502之間的虛擬連接線(虛線)、下邊503與下邊504之間的虛擬連接線(虛線)、左邊601與左邊603之間的虛擬連接線(虛線)、右邊602與右邊604之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂500和豎臂600的交叉處10(圖7a中帶有點的區(qū)域)。
[0076]注意:上邊501和左邊601之間也可以通過另一條直線或者折線連接；下邊503和左邊603之間也可以通過另一條直線或者折線連接；上邊502和右邊602之間也可以通過另一條直線或者折線連接；下邊504和右邊604之間也可以通過另一條直線或者折線連接。
[0077]圖8a和圖8b分別是本實用新型的十字型擴晶膜的實施實例。
[0078]圖8a展示的實施實例的形狀是圖2a展示的實施實例的變形，不同之處在于:上邊805的左端點與左邊705的上端點由弧線715連接；上邊805的右端點與右邊706的上端點由弧線716連接；下邊806的左端點與左邊705的下端點由弧線717連接；下邊806的右端點與右邊706的下端點由弧線718連接。
[0079]上邊805的左端點與下邊806的左端點之間的虛擬連接線(虛線)、上邊805的右端點與下邊806的右端點之間的虛擬連接線(虛線)、左邊705的上端點與右邊706的上端點之間的虛擬連接線(虛線)、左邊705的下端點與右邊706的下端點之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為橫臂700和豎臂800的交叉處10 (圖8a中帶有點的區(qū)域)。
[0080]圖8b展示的實施實例與圖8a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖8b展示的實施實例中，橫臂710的長度40大于豎臂810的長度50。
[0081]圖9a和圖9b分別是本實用新型的八邊形擴晶膜的實施實例。
[0082]圖9a展示的實施實例的形狀是八邊形，包括，邊905、邊906、邊907、邊908，邊915連接邊905和邊907，邊916連接邊905和邊908，邊917連接邊906和邊907，邊918連接邊906和邊908。邊905和邊906之間的距離30與邊907和邊908之間的距離20相等。
[0083]邊905和邊906基本互相平行,邊907和邊908基本互相平行,邊915和邊918基本互相平行，邊916和邊917基本互相平行。
[0084]邊905的左端點與邊906的左端點之間的虛擬連接線(虛線)、邊905的右端點與邊906的右端點之間的虛擬連接線(虛線)、邊907的上端點與邊908的上端點之間的虛擬連接線(虛線)、邊907的下端點與邊908的下端點之間的虛擬連接線(虛線)圍成的區(qū)域被稱為的交叉處10 (圖9a中帶有點的區(qū)域)。
[0085]圖9b展示的實施實例與圖9a展示的實施實例的形狀相同，不同之處在于:圖9b展示的實施實例中，邊905和邊906之間的距離50小于邊907和邊908之間的距離40。
[0086]最后應(yīng)說明的是:以上實施實例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實施實例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解:其依然可以對前述實施實例所記載的技術(shù)方案進行修改，或?qū)ζ渲胁糠旨夹g(shù)特征進行等同替換；而這些修改或替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施實例技術(shù)方案的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜包括橫臂和豎臂，所述橫臂與所述豎臂互相垂直，使得擴晶機擴張所述擴晶膜時，所述擴晶膜沿兩個互相垂直的方向擴張。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊通過弧線相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊通過斜線相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊通過折線相連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊之間的夾角等于90°。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊之間的夾角大于90°。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的邊與相鄰的所述豎臂的邊之間的夾角小于90°。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的長度與所述豎臂的長度相等。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的所述橫臂的長度與所述豎臂的長度不相等。
11.一種擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜形狀是八邊形，所述擴晶膜的相對應(yīng)的兩條邊互相平行，使得擴晶機擴張所述擴晶膜時，所述擴晶膜沿兩個互相垂直的方向擴張。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜是正八邊形擴晶膜。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的擴晶膜，其特征在于，所述擴晶膜的互相平行的所述兩條邊之間的距離與至少一對其他的互相平行的兩條邊之間的距離不相等。
【文檔編號】H01L33/48GK204204904SQ201420627183
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月21日
【發(fā)明者】彭暉, 李文玉, 張亞菲, 王 華, 宋定潔, 黃映儀 申請人:佛山市南海區(qū)聯(lián)合廣東新光源產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心, 彭暉