基板載具的制作方法
【專利摘要】本實用新型的基板載具呈盒狀并包括一底板、由底板向上延伸的一環(huán)側壁及由環(huán)側壁相對底板共同圍繞出的一容置空間，且環(huán)側壁設有至少一區(qū)段部分，其上下延伸有一彈性構件。借助彈性構件的結構設計，可避免在分頁工藝中抓取基板載具內所容置的基板時造成基板因撞擊載具的環(huán)側壁而導致破片的問題，并相對可提高工藝良率。本實用新型有關于一種配合前述基板載具使用的基板輸送裝置。
【專利說明】基板載具

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種基板載具。

【背景技術】
[0002] 于一般基板的工藝中，例如太陽能電池片的基板，其一片一片疊置于一基板載具 (例如矩形狀之盒體）內，并以機械手臂以吸嘴模組從基板載具內吸(抓）取一片一片疊置的 基板（即所謂"分頁"）以進行相關工藝。
[0003] 然而，因目前科技進步，基板在制作上越來越薄，當以機械手臂抓取基板載具內所 容置的基板時，容易造成基板因為撞擊到載具的環(huán)側壁而導致破片的問題，因此相對降低 工藝良率，故不理想。 實用新型內容
[0004] 為解決上述技術問題，本實用新型一種基板載具，其呈盒狀并包括一底板、由該底 板向上延伸的一環(huán)側壁及由該環(huán)側壁相對該底板共同圍繞出的一容置空間，且該環(huán)側壁設 有至少一區(qū)段部分，該區(qū)段部上下延伸有一彈性構件。
[0005] 本實用新型的一個實施例中，其中該環(huán)側壁的區(qū)段部分的設置數(shù)量為四個，且該 區(qū)段部分彼此之間間隔出一距離。
[0006] 本實用新型的一個實施例中，其中該四個區(qū)段部分的每一者的兩側分別由上而下 朝向該底板漸擴傾方向斜出一斜邊，該底板呈矩形狀并包括四個轉角，該四個區(qū)段部分分 別呈L形狀并分別位于該四個轉角，其中該區(qū)段部分包括一轉折處及一凹槽，且該凹槽上 下延伸凹設于該轉折處，該彈性構件包括至少一彈性臂。
[0007] 本實用新型的一個實施例中，其中該彈性臂的縱截面呈倒L形。
[0008] 本實用新型的一個實施例中，其中該彈性臂包括一自由端。
[0009] 本實用新型的一個實施例中，其中該彈性臂呈倒U形、實心長柱狀或中空長管狀。
[0010] 本實用新型的一個實施例中，還包括一外盒體，該基板載具設于該外盒體內，其中 該彈性臂的數(shù)量為數(shù)個，且數(shù)個該彈性臂彼此之間間隔出一間隙。
[0011] 上述實施例中，其中該基板載具與該外盒體一體成型。
[0012] 上述實施例中，其中該環(huán)側壁凸伸有一環(huán)肩部，該環(huán)肩部凸設有數(shù)個凸緣，該外盒 體開設有數(shù)個開孔，且該數(shù)個凸緣分別嵌入于該數(shù)個開孔。
[0013] 本實用新型的一個實施例中，其中該彈性臂的形狀是選自下列群組中的其中之
[0014] 該彈性臂呈實心圓柱狀；
[0015] 該彈性臂呈中空圓柱狀并包括一外徑及一內徑，且該外徑與該內徑的比值大于等 于2. 0的結構設計，從而使得該彈性臂在其徑向具有最佳的緩沖功效，以消除基板因撞擊 到載具的內壁而導致破片的風險；
[0016] 該彈性臂呈中空圓柱狀并包括一長度及一外徑，且該長度徑與該外徑之比值大于 等于2. 0的結構設計，從而使得該彈性臂在其軸向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞 擊到載具之內壁而導致破片的風險；
[0017] 該彈性臂呈矩形狀并包括一長度及一寬度，且該長度徑與該寬度之比值大于等于 2. 0的結構設計，從而使得該彈性臂在其寬度方向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊 到載具之內壁而導致破片的風險；
[0018] 該彈性臂呈矩形狀并包括一長度及一厚度，且該長度與該厚度比值大于等于2. 0 的結構設計，從而使得該彈性臂在其厚度方向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊到 載具之內壁而導致破片的風險；以及
[0019] 該彈性臂呈矩形狀并包括一寬度及一厚度，且該寬度與該厚度比值大于等于2.0 的結構設計，從而使得該彈性臂在其寬度方向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊到 載具之內壁而導致破片的風險。
[0020] 本實用新型一種基板載具，借助環(huán)側壁的區(qū)段部分上下延伸有彈性構件的結構設 計，當在分頁工藝中抓取基板載具內所容置的基板時，該彈性臂具有最佳的緩沖功效以借 此消除基板因撞擊到載具的內壁而導致破片的風險，并相對可借以提高工藝良率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021] 圖1為本實用新型第一較佳具體實施例的立體圖。
[0022] 圖2為本實用新型第一較佳具體實施例容置基板的剖視圖。
[0023] 圖3為本實用新型第一較佳具體實施例的使用狀態(tài)示意圖之一。
[0024] 圖4為本實用新型第一較佳具體實施例的使用狀態(tài)示意圖之二。
[0025] 圖5為本實用新型第一較佳具體實施例的使用狀態(tài)示意圖之三。
[0026] 圖6為本實用新型第二較佳具體實施例的立體圖。
[0027] 圖7系為本實用新型第三較佳具體實施例的立體圖。
[0028] 圖8為本實用新型第四較佳具體實施例的立體圖。
[0029] 圖9為本實用新型第五較佳具體實施例的立體圖。
[0030] 圖10為本實用新型第六較佳具體實施例的立體圖。
[0031] 圖11為本實用新型第七較佳具體實施例的立體圖。
[0032] 圖12為本實用新型第七較佳具體實施例的彈性臂的尺寸示意圖。
[0033] 圖13為本實用新型第七較佳具體實施例的另一彈性臂的尺寸示意圖。
[0034] 【符號說明】
[0035] 1基板載具 2底板 21轉角
[0036] 22孔洞 3環(huán)側壁 31區(qū)段部分
[0037] 311轉折處 312凹槽 313斜邊
[0038] 32彈性構件 321彈性臂 322自由端
[0039] 33環(huán)肩部 331凸緣 34彈性構件
[0040] 341彈性臂 35彈性構件 351彈性臂
[0041] 36彈性構件 361彈性臂 37環(huán)側壁
[0042] 38彈性構件 381彈性臂 39彈性構件
[0043] 391彈性臂 4容置空間 5外盒體
[0044] 51外孔洞 52開孔 53條碼標簽
[0045] 54金屬感應片 6基板輸送裝置61輸送帶
[0046] 62噴嘴模組 63分頁機構 631吸嘴模組
[0047] 7基板 8基板載具 81底板
[0048] 82彈性臂 83側邊 d內徑
[0049] t厚度 D外徑 L長度
[0050] W 寬度。

【具體實施方式】
[0051] 請參照圖1，其為本實用新型第一較佳具體實施例的立體圖，其中顯示有一基板載 具1，且此基板載具1大致呈盒狀并包括一底板2、由底板2向上延伸的一環(huán)側壁3及由環(huán) 側壁3相對于底板2共同圍繞出的一容置空間4,且環(huán)側壁3設有至少一區(qū)段部分31，其上 下延伸有一彈性構件32。
[0052] 上述的基板載具1可用于承載各種不同的基板，例如太陽能基板（solar cell substrate)、玻璃基板、石英基板、監(jiān)寶石基板、半導體晶圓、陶瓷基板、液晶顯不面板、有機 /無機EL面板或電路基板（PCB)等。
[0053] 于本實施例中，如圖1所示，基板載具1的環(huán)側壁3的區(qū)段部分31的數(shù)量為四個， 且此四個區(qū)段部分31彼此之間間隔出一距離。當然，環(huán)側壁3的區(qū)段部分31的數(shù)量并不 以此為限，例如亦可設計為二個、三個、五個、六個等。
[0054] 此外，圖1所示的基板載具1的底板2于本實施例中呈一矩形狀并包括四個轉角 21，且環(huán)側壁3的四個區(qū)段部分31分別呈L形狀并分別位于四個轉角21。另外，四個區(qū)段 部分31的每一者分別包括一轉折處311及一凹槽312,且凹槽312上下延伸凹設于轉折處 311。
[0055] 如上所述，基板載具1的底板2于本實施例中呈矩形狀，相對的，基板載具1即因 此為呈矩形狀的盒狀。當然，基板載具1的底板2亦可為任何形狀(相對的，基板載具1即 因此可為任何形狀的盒狀)，例如(但不限制）圓形、正方形、（正）多邊形等。
[0056] 再由圖1可知，上述的彈性構件32于本實施例中包括至少一彈性臂321，于圖1顯 示于每一區(qū)域具有四個彈性臂321，且此些彈性臂321的每一者彼此之間間隔出一間隙，此 些彈性臂321并各自具有一自由端322。
[0057] 此外，于圖1中可看出數(shù)個彈性臂321的縱截面呈倒L形，且可看出數(shù)個彈性臂 321的橫截面為長矩形。當然，數(shù)個彈性臂321的橫截面亦可為任何形狀，例如(但不限制） 正方形、多邊形、圓柱形、半圓柱形、圓管形、半圓管形等，且數(shù)個彈性臂321的縱截面亦可 為任何形狀，例如(但不限制）直(長）條形、倒L形、弧形等。前述的內容將于以下較佳具體 實施例說明。
[0058] 請參照圖2,其為本實用新型第一較佳具體實施例容置基板的剖視圖。于圖2中 顯示于上述基板載具1的容置空間4內放置有一片一片疊置的數(shù)片基板7,且此數(shù)片基板7 如圖2所示抵靠于環(huán)側壁3的四個區(qū)段部分31的數(shù)個彈性臂321。
[0059] 因此，在工藝中要以機械手臂吸(抓)取基板載具1內所放置的基板7時(將于以下 以圖式詳述)，即進行基板7的分頁作業(yè)時，借助基板載具1環(huán)側壁3的區(qū)段部分31上下延 伸有彈性構件32 (彈性臂321)的結構設計，可避免基板7因撞擊基板載具1的環(huán)側壁3而 導致破片的問題，并相對可借以提高工藝良率。
[0060] 再請同時參照圖1及圖2, 一般基板7制作為矩形狀，當基板7放置于上述基板載 具1的容置空間4時，因為環(huán)側壁3的四個區(qū)段部分31的每一者的轉折處311分別凹設有 一凹槽312,故基板7的四個角落(轉角尖銳處）可因為凹槽312所產生的余裕空間而不會 緊觸到基板載具1的環(huán)側壁3,并可借以避免基板7的四個角落因緊觸而產生無法平順抓取 并因此導致破片的問題。
[0061] 又由圖1及圖2可知，基板載具1的環(huán)側壁3四個區(qū)段部分31的每一者的兩側分 別由上而下朝向底板2漸擴傾方向斜出一斜邊313,而此斜邊313可產生一導引作用，亦即 基板7可因為斜邊313的導引作用而平順地放置于容置空間4內。
[0062] 請參照圖3,其為本實用新型第一較佳具體實施例的使用狀態(tài)示意圖之一。
[0063] 在使用上，上述的基板載具1設于一外盒體5內，基板載具1的環(huán)側壁3凸伸有一 環(huán)肩部33,環(huán)肩部33凸設有數(shù)個凸緣331，外盒體5對準此數(shù)個凸緣而開設有數(shù)個開孔52， 當基板載具1設于外盒體5內時，環(huán)肩部33可抵靠于外盒體5內的相對部位，且數(shù)個凸緣 331分別嵌入于數(shù)個開孔52。當然，基板載具1與外盒體5亦可分別制作可相對嵌合(卡合） 的結構，使基板載具1可穩(wěn)固地容置于外盒體5內。
[0064] 此外，上述的外盒體附設有至少一標簽，且前述的至少一標簽選自下列群組中之 其中之一：無線射頻辨識系統(tǒng)（RFID)標簽、條碼（Bar Code)標簽、無線標簽、身份識別（ID) 標簽、集成電路（1C)標簽、射頻（RF)標簽及金屬感應片。于圖3所不的實施例中，在外盒 體5附設一條碼標簽53及一金屬感應片54,其中的條碼標簽53可記錄存有外盒體5的相 關資料，例如外盒體5的尺寸、外盒體5所容納的基板種類、廠商名稱、批號等(其他的無線 射頻辨識系統(tǒng)（RFID)標簽、無線標簽、身份識別（ID)標簽、集成電路（1C)標簽、射頻（RF) 標簽等亦具有相似的功能)，而金屬感應片54可以在工藝中用以追蹤外盒體5及設于外盒 體5內的基板載具1的所在位置。
[0065] 請參照圖4所示，其為本實用新型第一較佳具體實施例的使用狀態(tài)示意圖之二。 與圖3所示的較佳具體實施例相似，基板載具1設于一外盒體5內，但基板載具1與外盒體 5 -體成型。
[0066] 請參照圖5所示，其為本實用新型第一較佳具體實施例的使用狀態(tài)示意圖之三。 之后，上述的基板載具1與外盒體5可以一基板輸送裝置6進行分頁輸送作業(yè)。如圖5所 不，基板輸送裝置6包括一輸送帶61，基板載具1設于外盒體5內，且外盒體5置于輸送帶 61上。
[0067] 此外，上述的基板輸送裝置6包括一分頁機構63及一噴嘴模組62,上述分頁機構 63于本實施例中為一機械手臂并包括一吸嘴模組631，且噴嘴模組62與吸嘴模組631分別 朝向基板載具1及外盒體5。
[0068] 在進行分頁輸送作業(yè)時，亦即要對基板載具1內所承載的一層一層疊置的基板7 進行分頁輸送作業(yè)時，噴嘴模組62以大致平行于基板7平面的方向吹出流體，使得一層一 層迭置的基板7之間可產生微小的擾動而使每個基板7之間可產生微小的空隙，之后再以 分頁機構63的吸嘴模組631吸(抓）取最上層之基板7以進行后續(xù)工藝。
[0069] 換言之，上述的基板輸送裝置6可將基板載具1內所堆疊的多個基板7由上而下 逐片輸送，而吸嘴模組631用以吸取基板載具1內位于最上方的基板7,噴嘴模組62朝向基 板載具1噴射流體，以確?；遢d具1內所堆疊的多個基板7可由吸嘴模組631逐片分頁 地被吸取后依序輸送。
[0070] 再請參照圖3,基板載具1的底板2可開設有至少一孔洞22,于本實施例中開設有 數(shù)個孔洞22,外盒體5亦開設有相對應的數(shù)個外孔洞51，這些對應的孔洞22與外孔洞51 可在工藝中做為外盒體5與基板載具1之間的定位固定之用。
[0071] 請參照圖6,其為本實用新型第二較佳具體實施例的立體圖。于本實施例中，其主 要結構皆與上述第一較佳具體實施例相同，唯差別在于彈性構件34包括呈倒U形的一彈性 臂341，而本實施例所述的結構設計同樣可達成上述第一較佳具體實施例所述的各種功效。
[0072] 請參照圖7,其為本實用新型第三較佳具體實施例的立體圖。于本實施例中，其主 要結構皆與上述第一較佳具體實施例相同，唯差別在于彈性構件35包括數(shù)個呈直條形的 彈性臂351，換言之，由圖7可知，數(shù)個彈性臂351的橫截面為長矩形，且數(shù)個彈性臂351的 縱截面為直條形，而本實施例所述的結構設計同樣可達成上述第一較佳具體實施例所述的 各種功效。
[0073] 請參照圖8,其為本實用新型第四較佳具體實施例的立體圖。于本實施例中，其主 要結構皆與上述第一較佳具體實施例相同，唯差別在于彈性構件36所包括的數(shù)個呈直條 形的彈性臂361的上端與環(huán)側壁37的上端相連，也就是彈性臂361沒有自由端的設計，而 本實施例所述的結構設計同樣可達成上述第一較佳具體實施例所述的各種功效。
[0074] 請參照圖9,其為本實用新型第五較佳具體實施例的立體圖。于本實施例中，其主 要結構皆與上述第一較佳具體實施例相同，唯差別在于彈性構件38包括數(shù)個呈實心長柱 狀的彈性臂381，換言之，由圖9可知，數(shù)個彈性臂381的橫截面為圓柱形，且數(shù)個彈性臂 381的縱截面為長條形，而本實施例所述的結構設計同樣可達成上述第一較佳具體實施例 所述的各種功效。
[0075] 請參照圖10,其為本實用新型第六較佳具體實施例的立體圖。于本實施例中，其 主要結構皆與上述第一較佳具體實施例相同，唯差別在于彈性構件39包括數(shù)個呈中空長 管狀的彈性臂391，換言之，由圖10可知，數(shù)個彈性臂391的橫截面為圓管形，且數(shù)個彈性 臂391的縱截面為長條形，而本實施例所述的結構設計同樣可達成上述第一較佳具體實施 例所述的各種功效。
[0076] 請參照圖11，其為本實用新型第七較佳具體實施例的立體圖。其中顯示有一基板 載具8,其包括一底板81及由底板81的至少一側邊83的約略中央處向上延伸之至少一彈 性臂82。于本實施例中，底板81呈矩形狀，且于底板81的每個側邊83的約略中央處皆分 別向上延伸有一彈性臂82,于本實施例中，彈性臂82呈實心圓柱狀。
[0077] 因此，借助彈性臂82的結構設計，同樣可達到避免基板（圖未示)的破片問題，并相 對可借以提商工藝良率。
[0078] 上述的彈性臂82并不限于本實施例所述形成在底板81的每個側邊83,其亦可視 需要而改變設計，例如僅在底板81其中的一個側邊83形成一彈性臂82,當在輸送過程中， 因為停電等意外造成底板81急停時，該彈性臂82可擋止基板（圖未示）而避免其飛出。
[0079] 此外，彈性臂82的數(shù)量亦不限于本實施例所述的一個，亦可視需要而改變設計， 例如二個、三個、四個等。
[0080] 請同時參照圖12及圖13,其中的圖12為本實用新型第七較佳具體實施例的彈性 臂的尺寸示意圖，圖13為本實用新型第七較佳具體實施例的另一彈性臂的尺寸示意圖，并 請同時一并參照圖11。
[0081] 上述的至少一彈性臂82選自下列群組中的其中之一 ：(a)至少一彈性臂82呈實 心圓柱狀(如圖11所示）；(b)至少一彈性臂82呈中空圓柱狀并包括一外徑D及一內徑d， 且外徑D與內徑d的比值大于等于2.0 (如圖12所示）；（c)至少一彈性臂82呈中空圓柱 狀并包括一長度L及一外徑D，且長度L與外徑D的比值大于等于2. 0 (如圖12所示）；（d) 至少一彈性臂82呈矩形狀并包括一長度L及一寬度W，且長度L與寬度W的比值大于等于 2.0 (如圖13所示）；（e)至少一彈性臂82呈矩形狀并包括一長度L及一厚度t，且長度L 與厚度t之比值大于等于2. 0 (如圖13所示）；以及（f)至少一彈性臂82呈矩形狀并包括 一寬度W及一厚度t，且寬度W與厚度t之比值大于等于2. 0 (如圖13所示)。
[0082] 以上所述各較佳具體實施例中所使用的名詞，如：基板載具，實務上亦可以載具內 襯替換之。
[〇〇83] 以上所述僅為本實用新型的較佳具體實施例，其并不用以限制本實用新型，凡在 本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新 型的保護范圍之內。
【權利要求】
1. 一種基板載具，其特征在于，其呈盒狀并包括一底板、由該底板向上延伸的一環(huán)側壁 及由該環(huán)側壁相對該底板共同圍繞出的一容置空間，且該環(huán)側壁設有至少一區(qū)段部分，該 區(qū)段部上下延伸有一彈性構件。
2. 如權利要求1所述的基板載具，其特征在于，其中該環(huán)側壁的區(qū)段部分的設置數(shù)量 為四個，且該區(qū)段部分彼此之間間隔出一距離。
3. 如權利要求2所述的基板載具，其特征在于，其中該四個區(qū)段部分的每一者的兩側 分別由上而下朝向該底板漸擴方向傾斜出一斜邊，該底板呈矩形狀并包括四個轉角，該四 個區(qū)段部分分別呈L形狀并分別位于該四個轉角，其中該區(qū)段部分包括一轉折處及一凹 槽，且該凹槽上下延伸凹設于該轉折處，該彈性構件包括至少一彈性臂。
4. 如權利要求3所述的基板載具，其特征在于，其中該彈性臂的縱截面呈倒L形。
5. 如權利要求3所述的基板載具，其特征在于，其中該彈性臂包括一自由端。
6. 如權利要求3所述的基板載具，其特征在于，其中該彈性臂呈倒U形、實心長柱狀或 中空長管狀。
7. 如權利要求3所述的基板載具，其特征在于，還包括一外盒體，該基板載具設于該外 盒體內，其中該彈性臂的數(shù)量為數(shù)個，且數(shù)個該彈性臂彼此之間間隔出一間隙。
8. 如權利要求7所述的基板載具，其特征在于，其中該基板載具與該外盒體一體成型。
9. 如權利要求7所述的基板載具，其特征在于，其中該環(huán)側壁凸伸有一環(huán)肩部，該環(huán)肩 部凸設有數(shù)個凸緣，該外盒體開設有數(shù)個開孔，且該數(shù)個凸緣分別嵌入于該數(shù)個開孔。
10. 如權利要求3所述的基板載具，其特征在于，其中該彈性臂的形狀是選自下列群組 中的其中之一： 該彈性臂呈實心圓柱狀； 該彈性臂呈中空圓柱狀并包括一外徑及一內徑，且該外徑與該內徑的比值大于等于 2. 0 ； 該彈性臂呈中空圓柱狀并包括一長度及一外徑，且該長度與該外徑之比值大于等于 2. 0 ； 該彈性臂呈矩形狀并包括一長度及一寬度，且該長度與該寬度之比值大于等于2. 0 ; 該彈性臂呈矩形狀并包括一長度及一厚度，且該長度與該厚度之比值大于等于2. 0 ; 以及 該彈性臂呈矩形狀并包括一寬度及一厚度，且該寬度與該厚度之比值大于等于2. 0。
【文檔編號】H01L21/673GK203871307SQ201420296035
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年6月5日 優(yōu)先權日:2014年6月5日
【發(fā)明者】顏暉展, 朱筱惠 申請人:中勤實業(yè)股份有限公司