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一種新型石墨舟卡點(diǎn)的制作方法

文檔序號:7068584閱讀:441來源:國知局
一種新型石墨舟卡點(diǎn)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種新型石墨舟卡點(diǎn),包括圓柱形固定柱,圓柱形固定柱兩側(cè)設(shè)有扇貝形卡點(diǎn)。所述圓柱形固定柱的厚度為0~2.5mm,直徑為0~9mm。使用時(shí),將硅片插入到石墨舟中卡點(diǎn)位置,由機(jī)械臂送入機(jī)器當(dāng)中運(yùn)行;完成工藝后形成扇貝形卡點(diǎn)的膜。本實(shí)用新型的非圓形卡點(diǎn)遮蓋電池板的面積小,使沉積在硅片表面的氮化硅膜面積最大化,使用壽命長,不會劃傷電池片。
【專利說明】
一種新型石墨舟卡點(diǎn)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種卡點(diǎn),特別是一種新型石墨舟卡點(diǎn)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前,現(xiàn)有的太陽能電池片生產(chǎn)PECVD當(dāng)中使用的是石墨舟圓形卡點(diǎn),用于卡住石墨舟片當(dāng)中的硅片,以便在進(jìn)行放電反應(yīng)時(shí)有較良好的通電,使氮化硅沉積在硅片的表面,形成80-85AM厚的氮化硅膜。但硅片和卡點(diǎn)接觸的部分由于被卡點(diǎn)遮擋沒有形成氮化硅膜,致使最終電池邊緣有一定的瑕疵;并且現(xiàn)有的星型卡點(diǎn)由于外圍尖銳,在電池片放置過程中易劃傷電池片。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)石墨舟圓形卡點(diǎn)遮擋面積太大,使用壽命相對較短以及劃傷電池片的問題。
[0004]技術(shù)方案:本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:一種新型石墨舟卡點(diǎn),其特征在于:包括圓柱形固定柱,圓柱形固定柱兩側(cè)設(shè)有非圓形卡點(diǎn)。
[0005]作為優(yōu)化,所述圓柱形固定柱的厚度為0?2.5mm,直徑為0?9_。
[0006]作為優(yōu)化,所述扇貝形卡點(diǎn)是以0?8_為半徑的圓弧。
[0007]工作原理:使用時(shí),將硅片插入到石墨舟中卡點(diǎn)位置,由機(jī)械臂送入機(jī)器當(dāng)中運(yùn)行;完成工藝后形成非圓形卡點(diǎn)的膜。
[0008]有益效果:本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比:本發(fā)明采用非圓形的卡點(diǎn),相對于圓形卡點(diǎn)來說遮擋面積變小,防止滇池邊緣不能形成氮化硅膜,同時(shí)面積變小也節(jié)約了成本,并且由于遮擋面積變小,大大延長了使用壽命,同時(shí)由于扇貝形外部邊緣光滑,不會劃傷電池片,更好的保護(hù)了電池,使電池生產(chǎn)過程中良率提高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的扇貝形卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010]圖2為本實(shí)用新型的扇貝形卡點(diǎn)的俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0011]如附圖1和附圖2所示,一種新型石墨舟卡點(diǎn),其特征在于:包括圓柱形固定柱1,圓柱形固定柱I兩側(cè)設(shè)有扇貝形卡點(diǎn)2。述圓柱形固定柱I的厚度為2.5mm,直徑為9mm。所述扇貝形卡點(diǎn)2是以8mm為半徑的圓弧。
[0012]所述扇貝形卡點(diǎn)設(shè)置于石墨舟的兩側(cè),與石墨舟下部的圓柱形卡點(diǎn)配合托住石墨舟,使之防止下滑。
[0013]使用時(shí),將硅片插入到石墨舟中卡點(diǎn)位置,由機(jī)械臂送入機(jī)器當(dāng)中運(yùn)行;完成工藝后形成扇貝形卡點(diǎn)2的膜。
【權(quán)利要求】
1.一種新型石墨舟卡點(diǎn),其特征在于:包括圓柱形固定柱,圓柱形固定柱兩側(cè)設(shè)有扇貝形卡點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型石墨舟卡點(diǎn),其特征在于:所述圓柱形固定柱的厚度為0^2.5mm,直徑為0?9_。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型石墨舟卡點(diǎn),其特征在于:所述扇貝形卡點(diǎn)是以O(shè)lmm為半徑的圓弧。
【文檔編號】H01L21/673GK203967051SQ201420061512
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年2月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月11日
【發(fā)明者】張東升, 王敬蕊, 周小寶, 陳煥東 申請人:國電光伏有限公司
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