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使用二次離子質(zhì)譜儀分析氣體樣品的系統(tǒng)和方法與流程

文檔序號:11733006閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種使用二次離子質(zhì)譜儀分析氣體樣品的系統(tǒng)和方法,該系統(tǒng)包括:引出極、金屬板和氣體引入導(dǎo)管;所述引出極和所述金屬板位于所述二次離子質(zhì)譜儀的樣品室內(nèi),所述引出極上設(shè)有用于通過一次離子的第一通孔、用于通過二次離子的第二通孔、以及用于穿過所述氣體引入導(dǎo)管的第三通孔;所述氣體引入導(dǎo)管穿過所述第三通孔后將所述氣體樣品引導(dǎo)至所述金屬板的表面,所述氣體樣品在所述一次離子的轟擊下形成所述二次離子;所述引出極和所述金屬板之間形成電場,以使所述二次離子通過所述第二通孔飛離所述金屬板進(jìn)入所述二次離子質(zhì)譜儀進(jìn)行質(zhì)量分析。

技術(shù)研發(fā)人員:唐國強(qiáng);趙洪;李獻(xiàn)華;李秋立;劉宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所
文檔號碼:201380021677
技術(shù)研發(fā)日:2013.12.13
技術(shù)公布日:2017.05.10

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