一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法。其特點是，包括如下步驟：（1）將21片石墨舟送進(jìn)爐管；（2）抽真空，時間3600s；（3）通入氨氣，溫度控制在425℃，放電功率7200w，持續(xù)240秒；（4）抽真空，通入氮氣7500sccm，時間20秒，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)；（5）抽真空，通入氨氣7500sccm，溫度控制在420-430℃，預(yù)沉積120秒，再通入硅烷，持續(xù)放電9000-10000秒；（6）停止通氣，抽真空，至壓力達(dá)到35毫托時，通入氮氣6000sccm，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)；（7）卸料即可。采用本發(fā)明的方法后，可以避免石墨舟飽和不充分，導(dǎo)致工藝過程中產(chǎn)生色差片的缺陷。
【專利說明】一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能是一種重要的清潔能源，太陽能電池片是把太陽能轉(zhuǎn)化成電能的裝置，太陽能電池片生產(chǎn)工藝比較復(fù)雜，為了減少太陽光的反射，通常采取的方法是在太陽能電池片上鍛減反射膜。通過 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等離子體增強化學(xué)氣相沉積法)技術(shù)在太陽能電池片的表面表面沉積一層氮化硅膜，工作原理是高頻電流使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，化學(xué)活性很強的等離子很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上形成所需要的薄膜。能夠很好的減少太陽光在硅片表面的反射，降低反射率。工藝之前要對石墨舟進(jìn)行飽和，其作用是在石墨舟內(nèi)壁上沉積一層氮化硅膜，從而使得內(nèi)壁各處均呈氮化硅狀態(tài)，這樣會使石墨舟內(nèi)部各處的氮化硅沉積速率趨于一致，石墨舟內(nèi)壁平坦度一致。飽和工藝的作用就是在石墨舟內(nèi)壁上沉積一層氮化硅膜，從而使得內(nèi)壁各處均呈氮化硅狀態(tài)，這樣會使石墨舟內(nèi)部各處的氮化硅沉積速率趨于一致，石墨舟內(nèi)壁平坦度一致，平坦度不同會使電場分布不均勻，理論上會使鍍膜不均勻，平坦度不同會引起內(nèi)壁表面積變化，會引起飽和程度不夠的現(xiàn)象，出現(xiàn)色差片。
[0003]石墨舟使用周期鍍膜均勻性的變化:石墨舟使用前期，由于舟的飽和程度不夠易引起色差，石墨舟使用中期，舟的飽和程度足夠且內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜不是很厚，使得鍍膜的均勻性表現(xiàn)良好，石墨舟使用后期，由于內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜很厚，會導(dǎo)致以下兩個現(xiàn)象:局部氮化硅膜的脫落，引起舟的表面狀態(tài)發(fā)生變化，氮化硅膜很厚會引起舟的導(dǎo)熱性能發(fā)生變化，局部過厚會引起色差片的產(chǎn)生。
[0004]石墨舟不同飽和方式:飽和時使用假片，這種飽和比較充分，生產(chǎn)成本高；飽和環(huán)境和實際鍍膜環(huán)境相同:硅片的存在會形成更大面積的電場，產(chǎn)生更多等離子體，石墨舟內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜更充分。飽和時不使用假片，飽和不夠充分，生產(chǎn)成本低；飽和程度不充分，前期鍍膜均勻性較差，色差片較多。經(jīng)過長期生產(chǎn)實踐發(fā)現(xiàn)，但是現(xiàn)有的工藝不能夠滿足21片石墨舟的飽和要求，飽和后進(jìn)行工藝，會出現(xiàn)色差、在爐口表現(xiàn)的尤為嚴(yán)重，最終會影響電池的轉(zhuǎn)化效率，產(chǎn)品合格率下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法，采用該方法飽和石墨舟能夠產(chǎn)生更多等離子體，從而使石墨舟內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜更充分。
[0006]一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法，其特別之處在于，包括如下步驟:
[0007](I)將21片石墨舟送進(jìn)爐管；
[0008](2)抽真空，時間 3600s ；
[0009](3)通入氨氣，使?fàn)t管內(nèi)壓力達(dá)到1700毫托，溫度控制在425°C，放電功率7200w，持續(xù)240秒；[0010](4)抽真空,至壓力達(dá)到35毫托時,通入氮氣7500sccm，時間20秒，再抽真空,重復(fù)兩次后恢復(fù)常壓；
[0011](5)抽真空，至壓力達(dá)到35毫托時，通入氨氣7500sccm,使得爐管內(nèi)壓力達(dá)到1600毫托-1800毫托，溫度控制在420-430°C，預(yù)沉積120秒，再通入硅烷，硅烷流量控制在800sccm-900sccm，至壓力穩(wěn)定在1600毫托-1800毫托，持續(xù)放電9000-10000秒；
[0012](6)停止通氣,抽真空,至壓力達(dá)到35毫托時,通入氮氣6000sccm，時間20秒，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)常壓；
[0013](7)卸料即可。
[0014]步驟(5)中硅烷氨氣比為800:7500。
[0015]步驟(5)中放電功率調(diào)整到7000-7500W，脈沖開關(guān)比例調(diào)整為3:45-48。
[0016]步驟(1)中爐管直徑380mm、長2100mm。
[0017]經(jīng)過試用證明，采用本發(fā)明的方法后，可以很好的避免石墨舟飽和不充分，導(dǎo)致工藝過程中產(chǎn)生色差片的缺陷。
【具體實施方式】
[0018]實施例1:
[0019](I)將清洗完并且烘干后的21片石墨舟送進(jìn)爐管，爐管直徑380mm，長2100mm ；
[0020](2)抽真空，時間3600s，充分抽掉石墨舟表面殘留的水分；
[0021](3)通入氨氣，使?fàn)t管內(nèi)壓力達(dá)到1700毫托，溫度控制在425°C，放電功率7200w，持續(xù)240秒；
[0022](4)抽真空,至壓力達(dá)到35毫托時,通入氮氣7500sccm，時間20秒，再抽真空,重復(fù)兩次后恢復(fù)常壓；
[0023](5)抽真空，至壓力達(dá)到35毫托時，通入氨氣7500sccm，使得爐管內(nèi)壓力達(dá)到1600毫托，溫度控制在425°C，預(yù)沉積120秒，再通入硅烷，硅烷流量控制在800SCCm，至壓力穩(wěn)定在1600-1800毫托，放電功率7200w，持續(xù)放電9000-10000秒；
[0024]上述過程中控制硅烷氨氣比為800:7500，脈沖開關(guān)比例調(diào)整為3:45_48 ；
[0025](6)停止通氣,抽真空,至壓力達(dá)到35毫托時,通入氮氣6000sccm,時間20秒,再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)常壓；
[0026](7)卸料即可。
[0027]此方法使石墨舟內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜更充分，運行工藝不會出現(xiàn)色差片。
[0028]采用上述工藝飽和石墨舟后，進(jìn)行鍍膜工藝，對前幾次色差片進(jìn)行統(tǒng)計，統(tǒng)計結(jié)果
如下:
[0029]
【權(quán)利要求】
1.一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法，其特征在于，包括如下步驟: (1)將21片石墨舟送進(jìn)爐管； (2)抽真空，時間3600s； (3)通入氨氣，使?fàn)t管內(nèi)壓力達(dá)到1700毫托，溫度控制在425°C，放電功率7200?，持續(xù)240 秒； (4)抽真空，至壓力達(dá)到35毫托時，通入氮氣7500sccm，時間20秒，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)常壓； (5)抽真空，至壓力達(dá)到35毫托時，通入氨氣7500sccm，使得爐管內(nèi)壓力達(dá)到1600毫托-1800毫托，溫度控制在420-430°C，預(yù)沉積120秒，再通入硅烷，硅烷流量控制在800sccm-900sccm，至壓力穩(wěn)定在1600毫托-1800毫托，持續(xù)放電9000-10000秒； (6)停止通氣,抽真空,至壓力達(dá)到35毫托時,通入氮氣6000sccm，時間20秒,再抽真空，重復(fù)兩次后恢 復(fù)常壓； (7)卸料即可。
2.如權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法，其特征在于:步驟(5)中硅烷氨氣比為800:7500。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法，其特征在于:步驟(5)中放電功率調(diào)整到7000-7500W，脈沖開關(guān)比例調(diào)整為3:45-48。
4.如權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法，其特征在于:步驟(1)中爐管直徑380mm、長2100mm。
【文檔編號】H01L31/18GK103560171SQ201310524344
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月29日
【發(fā)明者】謝余才, 陳剛剛, 李昕潔, 許莉 申請人:寧夏銀星能源股份有限公司