技術(shù)編號(hào)：7009806
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。其特點(diǎn)是，包括如下步驟（1）將21片石墨舟送進(jìn)爐管；（2）抽真空，時(shí)間3600s；（3）通入氨氣，溫度控制在425℃，放電功率7200w，持續(xù)240秒；（4）抽真空，通入氮?dú)?500sccm，時(shí)間20秒，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)；（5）抽真空，通入氨氣7500sccm，溫度控制在420-430℃，預(yù)沉積120秒，再通入硅烷，持續(xù)放電9000-10000秒；（6）停止通氣，抽真空，至壓力達(dá)到35毫托時(shí)，通入氮?dú)?000sccm，再抽真空，重復(fù)兩次...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。