裸片供給裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明將切割片(34)上的裸片(31)中的由相機(jī)(42)拍攝的裸片(31)(以下稱作“拍攝裸片”)例如間隔一個(gè)裸片(或間隔多個(gè)裸片)地間歇地設(shè)定，對(duì)于拍攝裸片，利用圖像處理對(duì)該拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，從而執(zhí)行該拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，對(duì)于沒有由相機(jī)(42)拍攝的裸片(31)(以下稱作“非拍攝裸片”)，以相鄰的上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)該非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，而執(zhí)行該非拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
【專利說明】裸片供給裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是涉及裸片供給裝置的發(fā)明，所述裸片供給裝置從張?jiān)O(shè)有切割片的晶片張?jiān)O(shè)體供給裸片，所述切割片粘貼有被切割后的晶片且能夠伸縮。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，如專利文獻(xiàn)I (日本特開2010-129949號(hào)公報(bào))所記載的那樣，存在將供給裸片的裸片供給裝置設(shè)置于元件安裝機(jī)并利用元件安裝機(jī)將裸片安裝于電路基板的結(jié)構(gòu)。該裸片供給裝置具備:晶片托盤，張?jiān)O(shè)有切割片，上述切割片粘貼有以分割為多個(gè)裸片的方式被切割后的晶片且能夠伸縮；及頂起銷，配置于上述切割片的下方，在使吸嘴下降而對(duì)上述切割片上的裸片進(jìn)行吸附拾取時(shí)，利用該頂起銷將該切割片中的所要吸附的裸片的粘貼部分頂起而將該裸片的粘貼部分從該切割片部分地剝離，并將該裸片吸附于該吸嘴而從該切割片進(jìn)行拾取。
[0003]在該情況下，切割片在XY方向上均勻地?cái)U(kuò)張(擴(kuò)展)并在各裸片之間空出空隙以易于對(duì)裸片進(jìn)行拾取，因此切割片上的各裸片的位置根據(jù)切割片的擴(kuò)張量而變化。因此，在裸片供給裝置搭載用于對(duì)裸片的位置進(jìn)行圖像識(shí)別的相機(jī)，并在對(duì)切割片上的裸片進(jìn)行吸附之前，利用相機(jī)從上方對(duì)作為吸附對(duì)象的裸片進(jìn)行拍攝而對(duì)該裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，之后執(zhí)行該裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
[0004]另外，在專利文獻(xiàn)2 (日本特開2005-32827號(hào)公報(bào))中，考慮到在一張晶片中包含不合格裸片，利用整體相機(jī)對(duì)晶片整體的圖像進(jìn)行拍攝而對(duì)不合格裸片進(jìn)行識(shí)別，對(duì)不合格裸片不進(jìn)行圖像處理，僅對(duì)合格裸片利用個(gè)別相機(jī)進(jìn)行拍攝而對(duì)合格裸片的位置進(jìn)行圖像識(shí)別，之后進(jìn)行拾取動(dòng)作。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-129949號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-32827號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]在上述專利文獻(xiàn)2中，對(duì)不合格裸片不進(jìn)行圖像處理，僅對(duì)合格裸片進(jìn)行圖像處理，但是由于不合格裸片的數(shù)目遠(yuǎn)少于合格裸片的數(shù)目，因此僅通過省略不合格裸片的圖像處理，縮短平均一張晶片的合計(jì)拍攝圖像處理時(shí)間的效果較小，縮短平均一張晶片的裸片供給時(shí)間的效果較小。
[0008]因此，本發(fā)明所要解決的課題是提供裸片供給裝置，能夠使得縮短平均一張晶片的合計(jì)拍攝圖像處理時(shí)間的效果較大，能夠使得縮短平均一張晶片的裸片供給時(shí)間的效果較大。
[0009]為了解決上述課題，本發(fā)明的裸片供給裝置具備:晶片張?jiān)O(shè)體，張?jiān)O(shè)有切割片，上述切割片粘貼有以分割為多個(gè)裸片的方式被切割的晶片且能夠伸縮；及頂起機(jī)構(gòu)，使配置于上述切割片的下方的頂起銷上下移動(dòng)，在使吸嘴下降而對(duì)上述切割片上的裸片進(jìn)行吸附拾取時(shí)，上述裸片供給裝置利用上述頂起銷將該切割片中的所要吸附的裸片的粘貼部分頂起而將該裸片的粘貼部分從該切割片剝離，將該裸片吸附于該吸嘴而從該切割片進(jìn)行拾取，其中，具備圖像處理單元，該圖像處理單元對(duì)由相機(jī)拍攝上述切割片上的裸片而得到的圖像進(jìn)行處理而對(duì)該裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，在上述切割片上的裸片中，間隔一個(gè)或多個(gè)裸片地設(shè)定由上述相機(jī)拍攝的裸片(以下稱作“拍攝裸片”)，對(duì)于上述拍攝裸片，利用上述圖像處理單元對(duì)該拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別而執(zhí)行該拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，對(duì)于沒有利用上述相機(jī)進(jìn)行拍攝的裸片(以下稱作“非拍攝裸片”)，以上述拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)該非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，從而執(zhí)行該非拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
[0010]通常，如果使用由晶片張?jiān)O(shè)體的制造商提供的產(chǎn)品規(guī)格(例如，晶片的尺寸、裸片的尺寸、裸片之間的間隔、裸片的配置信息等)的數(shù)據(jù)，則能夠?qū)η懈钇系母髀闫奈恢眠M(jìn)行推定，但是由于產(chǎn)品偏差(切割片的擴(kuò)張的偏差、晶片的XY方向的傾斜等)而在裸片的推定位置上產(chǎn)生誤差。另外，即使裸片的吸附位置、頂起位置稍微錯(cuò)位，如果其錯(cuò)位量較小，則也能夠充分地吸附裸片。
[0011]考慮到這些情形，在本發(fā)明中，間隔一個(gè)或多個(gè)裸片地間歇設(shè)定由相機(jī)拍攝的拍攝裸片，對(duì)于拍攝裸片，利用圖像處理單元對(duì)該拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別而執(zhí)行該拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，對(duì)于沒有利用相機(jī)進(jìn)行拍攝的非拍攝裸片，以拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)該非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，從而執(zhí)行該非拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。這樣一來，能夠?qū)⒂上鄼C(jī)拍攝的裸片的數(shù)目降低到切割片上的裸片的總數(shù)的一半以下，因此能夠大幅度地縮短平均一張晶片的合計(jì)拍攝圖像處理時(shí)間，能夠增大縮短平均一張晶片的裸片供給時(shí)間的效果。并且，對(duì)于非拍攝裸片，以拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)該非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，因此能夠減小該非拍攝裸片的位置的推定誤差，也能夠穩(wěn)定地進(jìn)行非拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
[0012]通常，由于在切割片上的裸片中包含不合格裸片，因此由制造商提供表示切割片上的裸片是否合格的晶片映射數(shù)據(jù)(也稱作晶片映射數(shù)據(jù))的情況較多。在這種情況下，基于晶片映射數(shù)據(jù)對(duì)合格裸片和不合格裸片進(jìn)行判別，僅對(duì)合格裸片執(zhí)行頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作即可。
[0013]在該情況下，對(duì)于不合格裸片，也可以不進(jìn)行所有的不合格裸片的圖像處理，但是在不合格裸片連續(xù)排列的情況下，當(dāng)連續(xù)排列的不合格裸片的數(shù)目變多時(shí)，到下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的距離變長(zhǎng)，與此對(duì)應(yīng)地，下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的位置的推定誤差變大，因此在由相機(jī)對(duì)下一個(gè)合格裸片進(jìn)行拍攝時(shí)，有可能將錯(cuò)誤的位置的裸片誤判定為下一個(gè)合格裸片。
[0014]作為該對(duì)策，對(duì)于不合格裸片不進(jìn)行頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，但是在不合格裸片以預(yù)定數(shù)目以上連續(xù)排列的情況下，也可以為，由相機(jī)間隔一個(gè)或多個(gè)裸片地對(duì)該不合格裸片進(jìn)行拍攝，利用圖像處理單元對(duì)該不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，以該不合格裸片的位置為基準(zhǔn)而對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的裸片(不合格裸片或合格裸片)的位置進(jìn)行推定，在對(duì)下一個(gè)裸片進(jìn)行拍攝時(shí)，將該裸片的推定位置作為目標(biāo)拍攝位置，由相機(jī)對(duì)該裸片進(jìn)行拍攝，利用該圖像處理單元對(duì)該裸片的位置進(jìn)行識(shí)別。這樣一來，即使在由于不合格裸片連續(xù)并較多地排列而到下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的距離較長(zhǎng)的情況下，也反復(fù)進(jìn)行利用相機(jī)間隔一個(gè)或多個(gè)裸片地對(duì)不合格裸片進(jìn)行拍攝而對(duì)該不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別并以該不合格裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的不合格裸片(或合格裸片)的位置進(jìn)行推定這樣的處理，從而能夠減小下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的位置的推定誤差，能夠事先防止將錯(cuò)誤的位置的裸片誤判定為下一個(gè)合格裸片。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例中的裸片供給裝置的外觀立體圖。
[0016]圖2是頂起單元和其周邊部分的外觀立體圖。
[0017]圖3是晶片托盤的外觀立體圖。
[0018]圖4是對(duì)在頂起動(dòng)作時(shí)將頂起筒上升至吸附位置后的狀態(tài)進(jìn)行表示的局部剖視放大圖。
[0019]圖5是對(duì)在頂起動(dòng)作時(shí)將使頂起銷從頂起筒突出后的狀態(tài)進(jìn)行表示的局部剖視放大圖。
[0020]圖6是對(duì)拍攝裸片、非拍攝裸片和不合格裸片的位置關(guān)系進(jìn)行說明的圖。
[0021]圖7是對(duì)裸片的排列變形的情況下的拍攝裸片、非拍攝裸片和不合格裸片的位置關(guān)系進(jìn)行說明的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022]以下，對(duì)將用于實(shí)施本發(fā)明的方式具體化后的一實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0023]首先，使用圖1對(duì)裸片供給裝置11的結(jié)構(gòu)概略地進(jìn)行說明。
[0024]裸片供給裝置11具備料倉(cāng)保持部22 (盤塔)、托盤拉出臺(tái)23、XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25和頂起單元28(參照?qǐng)D2)等，將托盤拉出臺(tái)23設(shè)置成插入于元件安裝機(jī)(未圖示)的狀態(tài)。
[0025]在裸片供給裝置11的料倉(cāng)保持部22內(nèi)以能夠上下移動(dòng)的方式收納的料倉(cāng)(未圖示)中，安裝有晶片張?jiān)O(shè)體30的晶片托盤32裝載多層，生產(chǎn)中，從料倉(cāng)將晶片托盤32拉出到托盤拉出臺(tái)23上。如圖3所示，晶片張?jiān)O(shè)體30將粘貼有對(duì)晶片呈棋盤格狀進(jìn)行切割而形成的裸片31的能夠伸縮的切割片34以擴(kuò)展的狀態(tài)安裝在具有圓形的開口部的晶片安裝板33上，利用螺紋緊固等將該晶片安裝板33安裝于托盤主體35。
[0026]頂起單元28 (參照?qǐng)D2)構(gòu)成為能夠在晶片托盤32的切割片34下方的空間區(qū)域沿XY方向移動(dòng)。并且，利用頂起筒37的頂起銷39 (參照?qǐng)D4、圖5)將切割片34中的所要拾取(吸附)的裸片31的粘貼部分從其下方局部地頂起，從而將該裸片31的粘貼部分從切割片34部分地剝離而使裸片31浮起成易于拾取的狀態(tài)。
[0027]該頂起單元28構(gòu)成為以伺服電機(jī)(未圖示)為驅(qū)動(dòng)源而使頂起單元28整體上下移動(dòng)。在裸片拾取動(dòng)作時(shí)，當(dāng)頂起單元28上升而使頂起筒37的上表面上升至與晶片托盤32的切割片34大致接觸的預(yù)定片吸附位置時(shí)，利用止動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)使頂起單元28的上升停止，當(dāng)進(jìn)一步使上升動(dòng)作繼續(xù)時(shí)，頂起銷39 (參照?qǐng)D4、圖5)從頂起筒37的上表面向上方突出，將切割片34中的所要拾取的裸片31的粘貼部分頂起。在該情況下，通過對(duì)作為驅(qū)動(dòng)源的伺服電機(jī)的旋轉(zhuǎn)量進(jìn)行調(diào)整，能夠?qū)斊痄N39的頂起高度位置(頂起量)進(jìn)行調(diào)難
iF.0
[0028]如圖1所示，在XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25組裝吸附頭41和相機(jī)42，吸附頭41和相機(jī)42利用該XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25而一體地沿XY方向移動(dòng)。對(duì)切割片34上的裸片31進(jìn)行吸附的吸嘴43(參照?qǐng)D4、圖5)以上下移動(dòng)的方式設(shè)于吸附頭41。相機(jī)42從上方對(duì)切割片34上的裸片31進(jìn)行拍攝并對(duì)其拍攝圖像進(jìn)行圖像處理，從而能夠?qū)τ晌?3所要吸附的裸片31的位置進(jìn)行識(shí)別。
[0029]裸片供給裝置11的控制裝置(未圖示)作為權(quán)利要求書中所述的圖像處理單元而發(fā)揮作用，對(duì)利用相機(jī)42拍攝切割片34上的裸片31中的所要吸附的裸片31而得到的圖像進(jìn)行處理，并對(duì)該裸片31的位置進(jìn)行識(shí)別，來確定該裸片31的頂起位置以及吸附位置，如圖5所示，利用頂起筒37的頂起銷39將切割片34中的所要拾取(吸附)的裸片31的粘貼部分從其下方局部地頂起，從而將該裸片31的粘貼部分從切割片34部分地剝離而使裸片31浮起成易于拾取的狀態(tài)，并利用吸嘴43對(duì)該裸片31進(jìn)行吸附拾取。
[0030]然而，如果使用由晶片張?jiān)O(shè)體30的制造商提供的產(chǎn)品規(guī)格(例如晶片的尺寸、裸片31的尺寸、裸片31之間的間隔、裸片31的配置信息等)的數(shù)據(jù)，則能夠?qū)η懈钇?4上的各裸片31的位置進(jìn)行推定，但是因?yàn)楫a(chǎn)品偏差(切割片34的擴(kuò)張的偏差、晶片的XY方向的傾斜等)而在裸片31的推定位置上產(chǎn)生誤差。另外，即使裸片31的吸附位置、頂起位置稍微錯(cuò)位，如果其錯(cuò)位量較小，則也能夠充分地吸附裸片31。
[0031]考慮到這些情形，在本實(shí)施例中，如圖6所示，在切割片34上的裸片31中，例如間隔一個(gè)裸片(或間隔多個(gè)裸片)地間歇地設(shè)定由相機(jī)42拍攝的裸片31 (以下稱作“拍攝裸片”)，對(duì)于拍攝裸片，利用圖像處理對(duì)該拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別而執(zhí)行該拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，對(duì)于沒有利用相機(jī)42進(jìn)行拍攝的裸片31(以下稱作“非拍攝裸片”)，以相鄰的上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)該非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，從而執(zhí)行該非拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
[0032]在此，對(duì)于非拍攝裸片的位置，以相鄰的上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而進(jìn)行推定的方法使用上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置和如下信息(a)?(d)等而在幾何學(xué)上算出即可。
[0033](a)從上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片到作為對(duì)象的非拍攝裸片的裸片31的數(shù)目
[0034](b)裸片31的尺寸
[0035](C)相鄰的裸片31之間的間隔
[0036](d)晶片的XY方向的傾斜(裸片31的排列的傾斜)
[0037]如果如本實(shí)施例所示地以相鄰的上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，則能夠?qū)⒂上鄼C(jī)42拍攝的裸片31的數(shù)目降低到切割片34上的裸片31的總數(shù)的一半以下，因此能夠大幅度地縮短平均一張晶片的合計(jì)拍攝圖像處理時(shí)間，能夠增大縮短平均一張晶片的裸片供給時(shí)間的效果。并且，通過以相鄰的上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，能夠減小該非拍攝裸片的位置的推定誤差，也能夠穩(wěn)定地進(jìn)行非拍攝裸片的頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
[0038]通常，由于在切割片34上的裸片31中包含不合格裸片，因此由制造商提供表示切割片34上的裸片31是否合格的晶片映射數(shù)據(jù)的情況較多。因此，在本實(shí)施例中，基于晶片映射數(shù)據(jù)對(duì)合格裸片和不合格裸片進(jìn)行判別，僅對(duì)合格裸片進(jìn)行頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作。
[0039]在該情況下，對(duì)于不合格裸片，也可以不進(jìn)行所有的不合格裸片的圖像處理，但是在不合格裸片連續(xù)排列的情況下，當(dāng)連續(xù)排列的不合格裸片的數(shù)目變多時(shí)，到下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的距離變長(zhǎng)。因此，如圖7所示，在裸片31的排列變形的情況下，當(dāng)?shù)较乱淮芜M(jìn)行拍攝的合格裸片的距離變長(zhǎng)時(shí)，下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的位置的推定誤差變大。因此，在由相機(jī)對(duì)下一個(gè)合格裸片進(jìn)行拍攝時(shí)，有可能會(huì)將錯(cuò)誤的位置的裸片31誤判定為下一個(gè)合格裸片。
[0040]作為該對(duì)策，在本實(shí)施例中，對(duì)于不合格裸片不進(jìn)行頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，但是在不合格裸片以預(yù)定數(shù)目以上(例如兩個(gè)以上或三個(gè)以上)連續(xù)排列的情況下，由相機(jī)42間隔一個(gè)裸片(或間隔多個(gè)裸片)地對(duì)該不合格裸片進(jìn)行拍攝，利用圖像處理對(duì)該不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，以該不合格裸片的位置為基準(zhǔn)而對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的裸片31 (不合格裸片或合格裸片)的位置進(jìn)行推定，在對(duì)下一個(gè)裸片31進(jìn)行拍攝時(shí)，將該裸片31的推定位置作為目標(biāo)拍攝位置，由相機(jī)42對(duì)該裸片31進(jìn)行拍攝，利用圖像處理對(duì)該裸片31的位置進(jìn)行識(shí)別。
[0041]這樣一來，即使在由于不合格裸片連續(xù)并較多地排列而到下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的距離較長(zhǎng)的情況下，也反復(fù)進(jìn)行由相機(jī)42間隔一個(gè)裸片(或間隔多個(gè)裸片)地對(duì)不合格裸片進(jìn)行拍攝而對(duì)該不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別并以該不合格裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的不合格裸片(或合格裸片)的位置進(jìn)行推定這樣的處理，由此能夠減小下一次進(jìn)行拍攝的合格裸片的位置的推定誤差，能夠事先防止將錯(cuò)誤位置的裸片31誤判定為下一個(gè)合格裸片。
[0042]此外，在本實(shí)施例中，在對(duì)非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定時(shí)，作為與該非拍攝裸片相鄰的拍攝裸片的識(shí)別位置，使用上次拍攝結(jié)束后的拍攝裸片的識(shí)別位置而對(duì)該非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，但是在將切割片上的吸附結(jié)束后的裸片的識(shí)別位置存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器并且與作為位置推定對(duì)象的非拍攝裸片最接近的裸片是吸附結(jié)束后的裸片的情況下，也可以以該吸附結(jié)束后的裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的裸片的位置進(jìn)行推定。
[0043]另外，在本實(shí)施例中，將合格裸片的拍攝間隔和不合格裸片的拍攝間隔設(shè)定為相同，但是也可以將不合格裸片的拍攝間隔設(shè)定得比合格裸片的拍攝間隔長(zhǎng)。
[0044]另外，在本實(shí)施例中，由相機(jī)42間歇地對(duì)合格裸片和不合格裸片這兩方進(jìn)行拍攝而對(duì)該裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，但是例如在由于合格裸片的吸附位置/頂起位置的容許誤差較小而間歇地進(jìn)行拍攝不滿足合格裸片的吸附位置/頂起位置的要求精度的情況下，也可以為，對(duì)于合格裸片，由相機(jī)42對(duì)所有的合格裸片進(jìn)行拍攝而對(duì)該裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，對(duì)于不合格裸片，在不合格裸片以預(yù)定數(shù)目以上(例如兩個(gè)以上或三個(gè)以上)連續(xù)排列的情況下，由相機(jī)42對(duì)該不合格裸片間歇地進(jìn)行拍攝，利用圖像處理對(duì)該不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，以該不合格裸片的位置為基準(zhǔn)而對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的裸片(不合格裸片或合格裸片)的位置進(jìn)行推定，在對(duì)下一個(gè)裸片進(jìn)行拍攝時(shí)，將該裸片的推定位置作為目標(biāo)拍攝位置，由相機(jī)42對(duì)該裸片進(jìn)行拍攝，利用圖像處理對(duì)該裸片的位置進(jìn)行識(shí)別。
[0045]另外，本實(shí)施例的裸片供給裝置11構(gòu)成為吸附頭41和相機(jī)42利用XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25而一體地沿XY方向移動(dòng)，但是也可以構(gòu)成為，吸附頭41和相機(jī)42僅沿X方向移動(dòng)，并且，晶片托盤32在托盤拉出臺(tái)23上沿Y方向移動(dòng)，從而使作為拍攝對(duì)象/吸附對(duì)象的裸片31的位置沿XY方向移動(dòng)。
[0046]除此之外，本發(fā)明也可以對(duì)裸片供給裝置11的結(jié)構(gòu)、晶片托盤32的結(jié)構(gòu)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更等，能夠在不脫離要旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更而實(shí)施，這是不言而喻的。
[0047]附圖標(biāo)記說明
[0048]11…裸片供給裝置，22…料倉(cāng)保持部，23…托盤拉出臺(tái)，25…XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)，28...頂起單元，30...晶片張?jiān)O(shè)體，31...裸片，32...晶片托盤，33...晶片安裝板，34...切割片，37…頂起筒，39…頂起銷，41…吸附頭，42...相機(jī)，43...吸嘴。
【權(quán)利要求】
1.一種裸片供給裝置，具備:晶片張?jiān)O(shè)體，張?jiān)O(shè)有切割片，所述切割片粘貼有以分割為多個(gè)裸片的方式被切割的晶片且能夠伸縮；及頂起機(jī)構(gòu)，使配置于所述切割片的下方的頂起銷上下移動(dòng)，在使吸嘴下降而吸附并拾取所述切割片上的裸片時(shí)，所述裸片供給裝置利用所述頂起銷將所述切割片中的所要吸附的裸片的粘貼部分頂起而將所述裸片的粘貼部分從所述切割片剝離，將所述裸片吸附于所述吸嘴而從所述切割片進(jìn)行拾取， 所述裸片供給裝置的特征在于， 具備圖像處理單元，所述圖像處理單元對(duì)由相機(jī)拍攝所述切割片上的裸片而得到的圖像進(jìn)行處理而對(duì)所述裸片的位置進(jìn)行識(shí)別， 在所述切割片上的裸片中，間隔一個(gè)或多個(gè)裸片地設(shè)定由所述相機(jī)拍攝的裸片(以下稱作“拍攝裸片”)，對(duì)于所述拍攝裸片，利用所述圖像處理單元對(duì)所述拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別而執(zhí)行所述拍攝裸片的頂起動(dòng)作及吸附動(dòng)作，對(duì)于沒有由所述相機(jī)拍攝的裸片(以下稱作“非拍攝裸片”)，以所述拍攝裸片的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而對(duì)所述非拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，而執(zhí)行所述非拍攝裸片的頂起動(dòng)作及吸附動(dòng)作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裸片供給裝置，其特征在于， 基于表示所述切割片上的裸片是否合格的晶片映射數(shù)據(jù)而對(duì)合格裸片和不合格裸片進(jìn)行判別，僅對(duì)合格裸片進(jìn)行頂起動(dòng)作及吸附動(dòng)作，對(duì)于不合格裸片則不進(jìn)行頂起動(dòng)作以及吸附動(dòng)作，但是對(duì)于作為所述拍攝裸片的不合格裸片則利用所述圖像處理單元對(duì)所述不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裸片供給裝置，其特征在于， 每當(dāng)利用所述圖像處理單元對(duì)所述拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別時(shí)，以所述拍攝裸片的位置為基準(zhǔn)而對(duì)下一個(gè)拍攝裸片的位置進(jìn)行推定，在對(duì)下一個(gè)拍攝裸片進(jìn)行拍攝時(shí)，將所述拍攝裸片的推定位置作為目標(biāo)拍攝位置，由所述相機(jī)對(duì)所述拍攝裸片進(jìn)行拍攝，利用所述圖像處理單元對(duì)所述拍攝裸片的位置進(jìn)行識(shí)別。
4.一種裸片供給裝置，具備:晶片供給體，張?jiān)O(shè)有切割片，所述切割片粘貼有以分割為多個(gè)裸片的方式被切割的晶片且能夠伸縮；及頂起機(jī)構(gòu)，使配置于所述切割片的下方的頂起銷上下移動(dòng)，在使吸嘴下降而吸附并拾取所述切割片上的裸片時(shí)，所述裸片供給裝置利用所述頂起銷將所述切割片中的所要吸附的裸片的粘貼部分頂起而將所述裸片的粘貼部分從所述切割片剝離，將所述裸片吸附于所述吸嘴而從所述切割片進(jìn)行拾取， 所述裸片供給裝置的特征在于， 具備圖像處理單元，所述圖像處理單元對(duì)由相機(jī)拍攝所述切割片上的裸片而得到的圖像進(jìn)行處理而對(duì)所述裸片的位置進(jìn)行識(shí)別， 基于表示所述切割片上的裸片是否合格的晶片映射數(shù)據(jù)而對(duì)合格裸片和不合格裸片進(jìn)行判別，在不合格裸片以預(yù)定數(shù)目以上連續(xù)排列的情況下，由所述相機(jī)間隔一個(gè)或多個(gè)裸片地對(duì)所述不合格裸片進(jìn)行拍攝，利用所述圖像處理單元對(duì)所述不合格裸片的位置進(jìn)行識(shí)別，以所述不合格裸片的位置為基準(zhǔn)而對(duì)下一次進(jìn)行拍攝的裸片的位置進(jìn)行推定，在對(duì)下一個(gè)裸片進(jìn)行拍攝時(shí)，將所述裸片的推定位置作為目標(biāo)拍攝位置，由所述相機(jī)對(duì)所述裸片進(jìn)行拍攝，利用所述圖像處理單元對(duì)所述裸片的位置進(jìn)行識(shí)別。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104205317SQ201280071764
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2012年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月27日
【發(fā)明者】保坂英希, 巖瀨友則, 小見山延久, 柘植邦明 申請(qǐng)人:富士機(jī)械制造株式會(huì)社