專利名稱：晶圓升降機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓升降機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，經(jīng)常將若干晶圓放置于特制的晶圓升降機(jī)中，然后通過晶圓升降機(jī)帶著所述晶圓在反應(yīng)槽內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)。如圖I所示，現(xiàn)有的升降機(jī)構(gòu)通常包括驅(qū)動電機(jī)110、連接板120和用于支撐若干晶圓100的三根下支撐條130，所述三根下支撐條130位于晶圓100的下方并以與晶圓100的周緣相匹配的圓弧形分布。在實(shí)際生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)晶圓100在反應(yīng)槽內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時，由于反應(yīng)槽內(nèi)時常有反應(yīng)氣體流動，尤其當(dāng)反應(yīng)氣體由下至上流動時，由于晶圓100僅有三個下支撐條130托住晶圓100的下方，因此，向上流動的反應(yīng)氣體非常容易帶動晶圓100竄動，使得晶圓100和下支撐條130發(fā)生碰撞。當(dāng)晶圓100和下支撐條130之間頻繁碰撞時，一方面容易導(dǎo)致晶圓100碰碎，產(chǎn)生大量的晶圓碎片，另一方面，晶圓100和下支撐條130間的碰擦容易產(chǎn)生大量的顆粒物質(zhì)，這些顆粒物質(zhì)粘附到晶圓100上會嚴(yán)重影響晶圓100的品質(zhì)，降低產(chǎn)品良率。因此，如何提供一種可以實(shí)現(xiàn)對晶圓進(jìn)行穩(wěn)固支撐的晶圓升降機(jī)是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的ー個技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓升降機(jī)，可以對晶圓實(shí)現(xiàn)穩(wěn)固支撐，避免晶圓出現(xiàn)搖晃現(xiàn)象。 為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種晶圓升降機(jī)，包括驅(qū)動電機(jī)、連接板和兩根下支撐條，所述驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述連接板上下運(yùn)動，所述兩根下支撐條固定設(shè)置于所述連接板的下部兩側(cè)，還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及上固定條，所述上固定條在所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動下具有橫向和豎向兩種狀態(tài)，當(dāng)所述上固定條處于橫向狀態(tài)時，所述上固定條和所述兩個下支撐條圍成的空間與晶圓的外周相匹配。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，還包括固定件，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)經(jīng)所述固定件帶動所述上固定條轉(zhuǎn)動。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，還包括控制器，所述控制器與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及驅(qū)動電機(jī)連接。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，還包括位置傳感器，所述位置傳感器設(shè)置于所述固定件的外側(cè)，所述位置傳感器與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述連接板、上固定條和下支撐條采用石英。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述連接板、上固定條和下支撐條采用退火石英。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述連接板、上固定條和下支撐條采用特氟龍材料。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述上固定條的下側(cè)和所述下支撐條的上側(cè)分別設(shè)有對應(yīng)間隔分布的插槽。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述連接板的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述下支撐條的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部。本實(shí)用新型提供的晶圓升降機(jī)，通過將現(xiàn)有的三根下支撐條改為兩根下支撐條和一根上固定條，同時增設(shè)旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述上固定條在所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動下具有橫向和豎向兩種狀態(tài)，當(dāng)所述上固定條處于橫向狀態(tài)時，所述上固定條和所述兩個下支撐條圍成的空間與晶圓的外周相匹配，由此，晶圓在上固定條和下支撐條的限制下，無法進(jìn)行上下晃動，因此可以使得晶圓更加穩(wěn)定。另外，通過在所述連接板的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部以及在所述下支撐條的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部，可以減少連接·板以及下支撐條帶動晶圓進(jìn)入反應(yīng)槽的過程中所引起的水流擾動，從而進(jìn)ー步確保位于升降機(jī)中的晶圓的穩(wěn)定性和安全性。

本實(shí)用新型的晶圓升降機(jī)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖I為現(xiàn)有的晶圓升降機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的晶圓升降機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖之一。圖3為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的晶圓升降機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖之ニ。圖4是本實(shí)用新型的一實(shí)施例的上固定條和兩根下支撐條的分布示意圖。圖中，100、200-晶圓，110、210-驅(qū)動電機(jī)210，120、220-連接板 220，2201-連接板底部，2201，130、230_下支撐條，240-旋轉(zhuǎn)電機(jī)、250-位置傳感器，260-上固定條，270-固定件。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的晶圓升降機(jī)作進(jìn)ー步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠贡緦?shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實(shí)施例改變?yōu)榱愆`個實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)ー步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請參閱圖2和圖3和圖4,本實(shí)施例提供了一種晶圓升降機(jī)，包括驅(qū)動電機(jī)210、連接板220和兩根下支撐條230，所述驅(qū)動電機(jī)210驅(qū)動所述連接板220上下運(yùn)動，所述兩根下支撐條230固定設(shè)置于所述連接板220的下部兩側(cè)，所述晶圓升降機(jī)還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)240以及上固定條260，所述上固定條260在所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)240的驅(qū)動下具有橫向和豎向兩種狀態(tài)，當(dāng)所述上固定條260處于橫向狀態(tài)時，所述上固定條260和所述兩個下支撐條230圍成的空間與晶圓200的外周相匹配。較佳的，在本實(shí)施例的晶圓升降機(jī)中，還包括固定件270，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)240經(jīng)所述固定件270帶動所述上固定條260轉(zhuǎn)動。通過設(shè)置固定件270可以方便旋轉(zhuǎn)電機(jī)240穩(wěn)定驅(qū)動所述上固定條260轉(zhuǎn)動。較佳的，在本實(shí)施例的晶圓升降機(jī)中，還包括控制器(未圖示)，所述控制器與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)240以及驅(qū)動電機(jī)210連接，所述控制器可以用于控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)240和驅(qū)動電機(jī) 210的開啟、正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)以及關(guān)閉。較佳的，在本實(shí)施例的晶圓升降機(jī)中，還包括位置傳感器250，所述位置傳感器250設(shè)置于所述固定件270的外側(cè)，所述位置傳感器250與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)240連接。所述位置傳感器250可以監(jiān)測上固定條260是否到達(dá)指定位置，提高了升降機(jī)運(yùn)行的精確性，確保
安全生產(chǎn)。優(yōu)選的，在上述的晶圓升降機(jī)中，所述連接板220的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部，所述下支撐條230的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部(未圖示)。通過在所述連接板220的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部以及在所述下支撐條230的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部，可以減少連接板220以及下支撐條230帶動晶圓200進(jìn)入反應(yīng)槽的過程中所引起的水流擾動，從而進(jìn)ー步確保位于升降機(jī)中的晶圓200的穩(wěn)定性和安全性。其中，所述連接板220、上固定條260和下支撐條230的材質(zhì)在選用上與晶圓200在反應(yīng)槽中所接觸的反應(yīng)溶液的性質(zhì)有夫。當(dāng)反應(yīng)溶液是溫度高達(dá)100攝氏度的磷酸(H4P04)/硫酸(H2S04)時，所述連接板220、上固定條260和下支撐條230優(yōu)選采用退火石英。當(dāng)反應(yīng)溶液是溫度低于70攝氏度的氫氟酸(HF)/鹽酸(HCL)時，所述連接板220、上固定條260和下支撐條230優(yōu)選采用特氟龍材料。當(dāng)反應(yīng)溶液是溫度高達(dá)100攝氏度的超純水(UPW，全稱Ultra-pure Water)時，所述連接板220、上固定條260和下支撐條230優(yōu)選采用石英即未退火的石英。較佳的，在本實(shí)施例的晶圓升降機(jī)中，所述上固定條260的下側(cè)和所述下支撐條230的上側(cè)分別設(shè)有對應(yīng)間隔分布的插槽(未圖示)。從而可以實(shí)現(xiàn)晶圓200之間獨(dú)立放置，互不干擾。綜上所述，本實(shí)用新型提供的晶圓升降機(jī)，通過將現(xiàn)有的三根下支撐條改為兩根下支撐條和一根上固定條，同時增設(shè)旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述上固定條在所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動下具有橫向和豎向兩種狀態(tài)，當(dāng)所述上固定條處于橫向狀態(tài)時，所述上固定條和所述兩個下支撐條圍成的空間與晶圓的外周相匹配，由此，晶圓在上固定條和下支撐條的限制下，無法進(jìn)行上下晃動，因此可以使得晶圓更加穩(wěn)定。另外，通過在所述連接板的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部以及在所述下支撐條的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部，可以減少連接板以及下支撐條帶動晶圓進(jìn)入反應(yīng)槽的過程中所引起的水流擾動，從而進(jìn)ー步確保位于升降機(jī)中的晶圓的穩(wěn)定性和安全性。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓升降機(jī)，包括驅(qū)動電機(jī)、連接板和兩根下支撐條，所述驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述連接板上下運(yùn)動，所述兩根下支撐條固定設(shè)置于所述連接板的下部兩側(cè)，其特征在于，還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及上固定條，所述上固定條在所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動下具有橫向和豎向兩種狀態(tài)，當(dāng)所述上固定條處于橫向狀態(tài)時，所述上固定條和所述兩個下支撐條圍成的空間與晶圓的外周相匹配。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述晶圓升降機(jī)還包括固定件，所述驅(qū)動電機(jī)經(jīng)所述固定件帶動所述上固定條轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述晶圓升降機(jī)還包括控制器，所述控制器與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及驅(qū)動電機(jī)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述晶圓升降機(jī)還包括位置傳感器，所述位置傳感器設(shè)置于所述固定件的外側(cè)，所述位置傳感器與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述連接板、上固定條和下支撐條采用石英。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述連接板、上固定條和下支撐條采用退火石英。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述連接板、上固定條和下支撐條采用特氟龍材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述上固定條的下側(cè)和所述下支撐條的上側(cè)分別設(shè)有對應(yīng)間隔分布的插槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述連接板的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部。
10.根據(jù)權(quán)利要求Γ9中任意一項(xiàng)所述的晶圓升降機(jī)，其特征在于，所述下支撐條的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種晶圓升降機(jī)，包括驅(qū)動電機(jī)、連接板和兩根下支撐條，驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動連接板上下運(yùn)動，兩根下支撐條固定設(shè)置于連接板的下部兩側(cè)，還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及上固定條，上固定條在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動下具有橫向和豎向兩種狀態(tài)，當(dāng)上固定條處于橫向狀態(tài)時，上固定條和兩個下支撐條圍成的空間與晶圓的外周相匹配。晶圓在上固定條和下支撐條的限制下，無法進(jìn)行上下晃動，故可使晶圓更加穩(wěn)定，防止晶圓因晃動而產(chǎn)生缺陷。另外，通過在連接板的下端設(shè)置有縱截面呈錐形的連接板底部以及在下支撐條的下側(cè)設(shè)置有縱截面呈錐形的下支撐條底部，可減少連接板以及下支撐條帶動晶圓進(jìn)入反應(yīng)槽的過程中所引起的水流擾動，從而進(jìn)一步確保晶圓的穩(wěn)定性。
文檔編號H01L21/687GK202601601SQ201220227458
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月17日
發(fā)明者吳良輝 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司