專利名稱：一種擴(kuò)散爐管dce吹掃的進(jìn)氣路裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工中的擴(kuò)散設(shè)備，尤其針對(duì)擴(kuò)散爐管在使用DCE(即二氯乙烯)吹掃過(guò)程中安全性的改善，即氣路改善方面。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體分立器件生產(chǎn)過(guò)程中，很多關(guān)鍵工序都需要使用擴(kuò)散爐。這其中擴(kuò)散爐管中干凈、無(wú)金屬雜質(zhì)至關(guān)重要，直接關(guān)系到半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率。因此擴(kuò)散爐管需要定期進(jìn)行DCE吹掃清潔，而DCE屬于易燃易爆氣體，在實(shí)際使用中易燃并已有燃燒的記錄，存在一定的安全隱患。為此勢(shì)必對(duì)DCE吹掃的氣路加以改善，使其保持氣流平穩(wěn)，防止發(fā)生意外燃燒或爆炸。
發(fā)明內(nèi)容鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提出一種擴(kuò)散爐管DCE吹掃的進(jìn)氣路裝置，消除擴(kuò)散爐管在使用DCE吹掃過(guò)程中的安全隱患。本發(fā)明的目的，將通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)一種擴(kuò)散爐管DCE吹掃的進(jìn)氣路裝置，其特征在于所述進(jìn)氣路裝置具有一個(gè)兩位三通氣動(dòng)閥，所述兩位三通氣動(dòng)閥的入口接氮?dú)庠矗移涑隹诰哂性诔ｉ_端和常閉端相切換的兩條氣路，兩條氣路分別各自連接一個(gè)單向閥，其中所述常開端的單向閥另一端與排風(fēng)裝置相接；所述常閉端的單向閥另一端連入DCE鼓泡裝置的進(jìn)氣口，并且所述DCE鼓泡裝置的排氣口通過(guò)第三單向閥與擴(kuò)散爐管相連通。進(jìn)一步地，所述擴(kuò)散爐管為石英爐管。本實(shí)用新型DCE氣路改進(jìn)的應(yīng)用，其突出效果為能夠消除擴(kuò)散爐管使用DCE吹掃過(guò)程中的著火隱患，保證低壓氮?dú)獾臍饬髌椒€(wěn)，提高了工藝設(shè)備的安全可靠性。以下便結(jié)合實(shí)施例附圖，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳述，以使本發(fā)明技術(shù)方案更易于理解、掌握。

圖1是本實(shí)用新型擴(kuò)散爐管DCE吹掃進(jìn)氣路裝置的結(jié)構(gòu)改善示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型為了消除擴(kuò)散爐管在使用DCE吹掃過(guò)程中的安全隱患，對(duì)設(shè)備原來(lái)的氣路進(jìn)行改造，保證氣流的平穩(wěn)，最終實(shí)現(xiàn)安全可靠的目的。為達(dá)到上述效果，如圖1所示的本實(shí)用新型進(jìn)氣路裝置具有一個(gè)兩位三通氣動(dòng)閥 1，該兩位三通氣動(dòng)閥1的入口 COM接氮?dú)庠矗移涑隹诰哂性诔ｉ_端NO和常閉端NC相切換的兩條氣路，常開端NO的氣路連接一個(gè)單向閥21，常閉端NC的氣路連接一個(gè)單向閥22， 其中該常開端的單向閥21另一端與排風(fēng)裝置3相接；且常閉端的單向閥22另一端連入DCE鼓泡裝置4的進(jìn)氣口，并且該DCE鼓泡裝置4的排氣口通過(guò)第三單向閥23與擴(kuò)散爐管5相連通。其中，為改善該擴(kuò)散爐的耐用性，本實(shí)用新型選擇在擴(kuò)散爐管口外接石英爐管，或直接采用石英材質(zhì)的擴(kuò)散爐管。在實(shí)際操作過(guò)程中，低壓氮?dú)膺M(jìn)入兩位三通氣動(dòng)閥1的公共端COM，首先從三通閥的常開端NO出，經(jīng)單向閥21進(jìn)入排風(fēng)口 3 ；待低壓氮?dú)鈿饬髌椒€(wěn)后，工藝程序再驅(qū)動(dòng)兩位三通氣動(dòng)閥1由常開端NO切換到常閉端NC，低壓氮?dú)飧膹某ｉ]端NC出后，經(jīng)單向閥22進(jìn)入DCE鼓泡裝置4，并攜帶其中的DCE氣體從排氣口排出，最后經(jīng)單向閥23進(jìn)入石英爐管 5，對(duì)擴(kuò)散爐管進(jìn)行DCE吹掃。通過(guò)以上裝置結(jié)構(gòu)及工作過(guò)程的簡(jiǎn)述可見(jiàn)本實(shí)用新型的突出效果能夠消除擴(kuò)散爐管使用DCE吹掃過(guò)程中的著火隱患，保證低壓氮?dú)獾臍饬髌椒€(wěn)，提高了工藝設(shè)備的安全可靠性。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐管DCE吹掃的進(jìn)氣路裝置，其特征在于所述進(jìn)氣路裝置具有一個(gè)兩位三通氣動(dòng)閥，所述兩位三通氣動(dòng)閥的入口接氮?dú)庠?，且其出口具有在常開端和常閉端相切換的兩條氣路，兩條氣路分別各自連接一個(gè)單向閥，其中所述常開端的單向閥另一端與排風(fēng)裝置相接；所述常閉端的單向閥另一端連入DCE鼓泡裝置的進(jìn)氣口，并且所述DCE鼓泡裝置的排氣口通過(guò)第三單向閥與擴(kuò)散爐管相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐管的DCE吹掃的進(jìn)氣路裝置，其特征在于所述擴(kuò)散爐管為石英爐管。
專利摘要本實(shí)用新型揭示了一種擴(kuò)散爐管DCE吹掃的進(jìn)氣路裝置，該進(jìn)氣路裝置具有一個(gè)兩位三通氣動(dòng)閥，其入口接氮?dú)庠?，且其出口具有在常開端和常閉端相切換的兩條氣路，兩條氣路分別各自連接一個(gè)單向閥，其中該常開端的單向閥另一端與排風(fēng)裝置相接；該常閉端的單向閥另一端連入DCE鼓泡裝置的進(jìn)氣口，并且該DCE鼓泡裝置的排氣口通過(guò)第三單向閥與擴(kuò)散爐管相連通。本實(shí)用新型DCE氣路改進(jìn)的應(yīng)用，能夠消除擴(kuò)散爐管使用DCE吹掃過(guò)程中的著火隱患，保證低壓氮?dú)獾臍饬髌椒€(wěn)，提高了工藝設(shè)備的安全可靠性。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202230992SQ20112034132
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月13日
發(fā)明者丁乙人, 劉明, 孔德浩, 趙之俊 申請(qǐng)人:康可電子(無(wú)錫)有限公司