專利名稱：用于硅片摻雜的定點注射擴散爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體生產工藝用擴散爐，尤其涉及一種用于改善硅片摻雜均勻性的擴散爐裝置。
背景技術：
擴散爐是在半導體器件生產過程中普遍使用的一種摻雜設備，而硅片半成品摻雜工藝的均勻性很大程度上影響產品的電特性。因此擴散爐是保證產高品質、高良品率的關鍵設備?，F(xiàn)有普通的擴散爐僅由爐尾通入雜質源，隨著距離雜質源的變化在擴散爐腔中形成不均勻的分布，這將導致擴散爐內的雜質氣體無法準確、均勻地命中硅片，從而導致產品返工，報廢。
發(fā)明內容鑒于上述現(xiàn)有技術存在的缺陷，本實用新型的目的是提出一種用于硅片摻雜的定點注射擴散爐，解決通用擴散爐雜質源不能定點命中硅片，導致硅片中的摻雜量均勻性差的問題。本實用新型的目的，將通過以下技術方案得以實現(xiàn)用于硅片摻雜的定點注射擴散爐，具有圓柱形的石英擴散爐腔，所述石英擴散爐腔中設有用于盛放硅片的石英舟漿裝置，其特征在于所述石英擴散爐腔的底部設有管狀的注射管，且所述注射管面向石英舟漿裝置的一側設有一排注射孔，且注射孔孔徑沿遠離雜質氣源方向逐漸變大。進一步地，所述一排注射孔的孔間距離與盛放在石英舟漿裝置上的硅片相匹配。進一步地，所述石英擴散爐腔具有爐口和爐尾，所述注射管自爐尾插入石英擴散爐腔的底部，且所述爐口設有排風裝置。本實用新型定點注射擴散爐的應用實施，可以實現(xiàn)雜質源氣體定點注射，精確命中標的硅片，降低摻雜工藝返工率，提升產品良率。以下便結合實施例附圖，對本實用新型的具體實施方式
作進一步的詳述，以使本實用新型技術方案更易于理解、掌握。

圖1是本實用新型定點注射擴散爐的側視結構示意圖；圖2是圖1所示定點注射擴散爐的另一方向結構示意圖。
具體實施方式
本實用新型為了解決通用擴散爐雜質源不能定點命中硅片，導致硅片中的摻雜量均勻性差的問題，提供了一種帶有特殊噴射裝置、可定點注射摻雜的擴散爐裝置。
3[0014]為達到上述目的及效果，如圖1和圖2所示，本實用新型技術方案的結構組成包括該定點注射擴散爐具有圓柱形的石英擴散爐腔1，該石英擴散爐腔1中設有用于盛放硅片2的石英舟漿裝置5。其特別之處主要體現(xiàn)在該石英擴散爐腔1的底部設有管狀的注射管4，且注射管4面向石英舟漿裝置5的一側設有一排注射孔，且該排注射孔的孔間距離與盛放在石英舟漿裝置上的硅片相匹配，注射孔孔徑沿遠離雜質氣源方向逐漸變大(未圖示)，即越接近注射管的摻雜氣源的注射孔孔徑越小，反之越大，這樣每個硅片2所接受到的雜志環(huán)境便相對均衡，從而實現(xiàn)所有硅片在相同的雜質氣體氛圍中反應。此外，該石英擴散爐腔具有爐口和爐尾，所述注射管自爐尾插入石英擴散爐腔的底部，且該爐口設有排風裝置。通過以上擴散爐結構使得反應室內所有硅片摻雜總量一致。從工藝過程來看，雜質源氣體從爐尾通過注射管4進入石英擴散爐腔1的反應室中，注射管4對應硅片2的位置設計有向上的小孔(即注射孔)，雜質源氣體通過小孔穿過鏤空的石英舟漿裝置5，定點注射到硅片2上。上述的定點注射方式可以使硅片內片間摻雜程度相同，處于腔體內部的硅片方塊電阻分布均勻。通過以上裝置結構及工作過程的簡述可見本實用新型的突出效果它可以實現(xiàn)雜質源氣體定點注射，精確命中標的硅片，降低摻雜工藝返工率，提升產品良率。
權利要求1.用于硅片摻雜的定點注射擴散爐，具有圓柱形的石英擴散爐腔，所述石英擴散爐腔中設有用于盛放硅片的石英舟漿裝置，其特征在于所述石英擴散爐腔的底部設有管狀的注射管，且所述注射管面向石英舟漿裝置的一側設有一排注射孔，且注射孔孔徑沿遠離雜質氣源方向逐漸變大。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于硅片摻雜的定點注射擴散爐，其特征在于所述一排注射孔的孔間距離與盛放在石英舟漿裝置上的硅片相匹配。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于硅片摻雜的定點注射擴散爐，其特征在于所述石英擴散爐腔具有爐口和爐尾，所述注射管自爐尾插入石英擴散爐腔的底部，且所述爐口設有排風裝置。
專利摘要本實用新型揭示了一種用于硅片摻雜的定點注射擴散爐，具有圓柱形的石英擴散爐腔，該石英擴散爐腔中設有用于盛放硅片的石英舟漿裝置。特別地，該石英擴散爐腔的底部設有管狀的注射管，且該注射管面向石英舟漿裝置的一側設有一排注射孔，且注射孔孔徑沿遠離雜質氣源方向逐漸變大。該石英擴散爐腔具有爐口和爐尾，注射管自爐尾插入石英擴散爐腔的底部，且爐口設有排風裝置。本實用新型定點注射擴散爐的應用實施，可以實現(xiàn)雜質源氣體定點注射，精確命中標的硅片，降低摻雜工藝返工率，提升產品良率。
文檔編號H01L21/223GK202210515SQ20112034131
公開日2012年5月2日 申請日期2011年9月13日 優(yōu)先權日2011年9月13日
發(fā)明者丁乙人, 劉明, 談晶 申請人:康可電子(無錫)有限公司