專利名稱：一種oled光罩存儲(chǔ)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及存儲(chǔ)裝置，特別涉及一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置。
技術(shù)背景[0002]在OLED生產(chǎn)過(guò)程中，黃光區(qū)的制造是生產(chǎn)過(guò)程中最為關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一，在這個(gè)制程中需對(duì)氧化銦錫電極、金屬導(dǎo)線、絕緣層和隔離柱進(jìn)行四道膜的加工，在每道膜的加工中曝光加工都是核心，曝光光罩的潔凈度保證是保證曝光良率的最重要環(huán)節(jié)，光罩上有任何灰塵，都會(huì)在每一個(gè)產(chǎn)品上造成不良，所以光罩的存儲(chǔ)至關(guān)重要，存儲(chǔ)裝置必須保證光罩的潔凈。另外，光罩上金屬線寬為μ級(jí)，若有靜電會(huì)造成金屬線的擊穿，存儲(chǔ)裝置對(duì)靜電的防護(hù)很重要。[0003]目前業(yè)界OLED光罩存儲(chǔ)設(shè)備的潔凈度一般能做到100級(jí)，潔凈度的保證性較差， 光罩受污染的概率較高，另外因材料和結(jié)構(gòu)的不合理，光罩上有時(shí)會(huì)帶有大于0. 3KV的靜電，偶有靜電擊穿金屬線的事故發(fā)生。發(fā)明內(nèi)容[0004]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，能夠保證潔凈度達(dá)到到10級(jí)，靜電彡士00. 3KV的光罩存儲(chǔ)裝置。[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的[0006]一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，包括框架1，框架1的上部分配置有風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置3，風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置3的底部設(shè)置有黃光燈4，框架1的中間位置配置有相互對(duì)稱的導(dǎo)輪組2。[0007]所述的框架1還設(shè)置有卷簾門5，卷簾門5關(guān)閉后，框架1與卷簾門5構(gòu)成了封閉狀態(tài)。[0008]所述的導(dǎo)輪組2包括有至少二個(gè)導(dǎo)輪8，所述的導(dǎo)輪8通過(guò)軸7固定于框架1上。[0009]所述的導(dǎo)輪組2中設(shè)置有光罩6。[0010]由于框架1與卷簾門5可構(gòu)成了封閉狀態(tài)，而且導(dǎo)輪組2中設(shè)置了光罩6，提高了光罩存儲(chǔ)裝置潔凈度，同時(shí)降低了降電電壓，使光罩的污染率下降了 10倍，[0011]同時(shí)保證不會(huì)有靜電擊穿金屬線的事故發(fā)生。


[0012]圖1是本實(shí)用新型的主視圖。[0013]圖2是本實(shí)用新型的左視圖。[0014]圖3是本實(shí)用新型的導(dǎo)輪組的放大圖具體實(shí)施方式
[0015]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理，工作原理作更詳細(xì)的說(shuō)明。[0016]參照?qǐng)D1，圖2和圖3，一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，包括框架1，框架1的上部分配置有風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置3，風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置3的底部設(shè)置有黃光燈4，框架1的中間位置配置有相互對(duì)稱的導(dǎo)輪組2。[0017]所述的框架1還設(shè)置有卷簾門5，卷簾門5關(guān)閉后，框架1與卷簾門5構(gòu)成了封閉狀態(tài)。[0018]所述的導(dǎo)輪組2包括有至少二個(gè)導(dǎo)輪8，所述的導(dǎo)輪8通過(guò)軸承7固定于框架1上。[0019]所述的導(dǎo)輪組2中設(shè)置有光罩6。[0020]光罩6插入和取出時(shí)和導(dǎo)輪8之間是滾動(dòng)磨擦。[0021]處于工作狀態(tài)時(shí)風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置3常開，并且打開卷簾門5，光罩6延導(dǎo)輪組2上下插入，插到位后，卷簾門5關(guān)閉，進(jìn)行存放；將光罩6取出作業(yè)時(shí)，卷簾門5打開，光罩6延導(dǎo)輪組2上下取出，完全取出后，卷簾門5關(guān)閉，卷簾門5關(guān)閉后，框架1與卷簾門5構(gòu)成了封閉狀態(tài)。[0022]本實(shí)用新型一次能同時(shí)存儲(chǔ)的光罩可以達(dá)到40枚。
權(quán)利要求1.一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，包括框架(1)，框架(1)的上部分配置有風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置 (3)，風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置(3)的底部設(shè)置有黃光燈G)，其特征在于，框架(1)的中間位置配置有相互對(duì)稱的導(dǎo)輪組(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述的框架(1)還設(shè)置有卷簾門(5)，卷簾門(5)關(guān)閉后，框架⑴與卷簾門(5)構(gòu)成了封閉狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述的導(dǎo)輪組(2)包括有至少二個(gè)導(dǎo)輪(8)，所述的導(dǎo)輪(8)通過(guò)軸(7)固定于框架(1)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述的導(dǎo)輪組O)中設(shè)置有光罩(6)。
專利摘要一種OLED光罩存儲(chǔ)裝置，包括框架，框架的上部分配置有風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置，風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)單元的底部設(shè)置有黃光燈，框架的中間位置配置有相互對(duì)稱的導(dǎo)輪組，光罩設(shè)置在導(dǎo)輪組之間，所述的框架還設(shè)置有卷簾門，工作狀態(tài)時(shí)風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)裝置常開，而且卷簾門打開，光罩延導(dǎo)輪組上下插入，插到位后，卷簾門關(guān)閉；光罩取出作業(yè)時(shí)，卷簾門打開，光罩延導(dǎo)輪組上下取出，完全取出后，卷簾門關(guān)閉，由于光罩處于完全封閉的狀態(tài)，提高了光罩存儲(chǔ)裝置潔凈度，同時(shí)降低了降電電壓，使光罩的污染率下降了10倍，同時(shí)保證不會(huì)有靜電擊穿金屬線的事故發(fā)生。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202275810SQ20112022566
公開日2012年6月13日 申請(qǐng)日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月29日
發(fā)明者郭曉鈺 申請(qǐng)人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司