專利名稱：激光振蕩裝置及激光加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過鼓風(fēng)部將激光氣體向放電管輸送的激光振蕩裝置及激光加工機(jī)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的氣體激光振蕩裝置由例如專利文獻(xiàn)1公開。專利文獻(xiàn)1中公開的氣體激光振蕩裝置通過對設(shè)置在放電管上的兩個電極之間施加高電壓，而在放電管內(nèi)產(chǎn)生放電空間。在放電空間的作用下激光氣體被激發(fā)，從而作為激光通過在放電管的兩端設(shè)置的全反射鏡及部分反射鏡而向外部輸出。在放電管上結(jié)合有形成激光氣體的循環(huán)路的氣體循環(huán)路徑，在氣體循環(huán)路徑的內(nèi)部設(shè)置有鼓風(fēng)部。通過該鼓風(fēng)部，激光氣體在放電管和氣體循環(huán)路徑內(nèi)循環(huán)。鼓風(fēng)部具有轉(zhuǎn)子室，該轉(zhuǎn)子室在內(nèi)部具有設(shè)置在氣體循環(huán)路徑中的氣體輸送用的轉(zhuǎn)子。鼓風(fēng)部還具有齒輪室，該齒輪室在內(nèi)部具有確定轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)時機(jī)的齒輪。鼓風(fēng)部還具有驅(qū)動齒輪的驅(qū)動部。轉(zhuǎn)子和驅(qū)動部彼此通過軸連接。轉(zhuǎn)子室與氣體循環(huán)路徑結(jié)合，通過轉(zhuǎn)子使激光氣體流動。激光氣體的壓力由氣體壓力檢測部監(jiān)視，從而將氣體循環(huán)路徑內(nèi)部的壓力保持為一定。另一方面，通過電動機(jī)等進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，鼓風(fēng)部的驅(qū)動部將動力向轉(zhuǎn)子室的轉(zhuǎn)子傳遞。 在齒輪室收納有潤滑用油，進(jìn)行軸承及齒輪的潤滑。為了抑制由潤滑用油產(chǎn)生的油霧向激光氣體循環(huán)路徑的侵入，在轉(zhuǎn)子室與齒輪室之間設(shè)置密封部，使轉(zhuǎn)子室與齒輪室分離。但是，在密封部與將轉(zhuǎn)子及驅(qū)動部結(jié)合的軸之間存在微小的間隙。為了防止油霧因真空擴(kuò)散通過該間隙而從齒輪室向轉(zhuǎn)子室侵入，使齒輪室比轉(zhuǎn)子室低壓。這樣，在專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)中，形成為防止齒輪室的壓力在鼓風(fēng)部的運(yùn)轉(zhuǎn)加速時及減速時發(fā)生變動而使油霧混入氣體循環(huán)路徑內(nèi)的結(jié)構(gòu)。但是，在密封部與軸的間隙因磨損或時效變化而擴(kuò)大的情況下，即使穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)時， 轉(zhuǎn)子室與齒輪室的壓力差也會減少，從而存在無法得到用于防止油霧的混入的壓力差的情況。因此，若在該狀態(tài)下繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，則在齒輪室產(chǎn)生的油霧向氣體循環(huán)路徑內(nèi)侵入，從而引起激光的輸出降低。作為防止轉(zhuǎn)子室與齒輪室的壓力差減少的對策，通過與齒輪室連接的齒輪室壓力檢測部，在齒輪室的壓力成為規(guī)定的壓力以上時由警報部發(fā)出警報。但是，在規(guī)定的壓力的設(shè)定過于高時，無法適當(dāng)?shù)貦z測轉(zhuǎn)子室與齒輪室的壓力差的減少而發(fā)生輸出降低。反之在規(guī)定的壓力的設(shè)定過于低時，在短期內(nèi)頻繁產(chǎn)生警報，從而維護(hù)期間變短而運(yùn)轉(zhuǎn)成本變高。專利文獻(xiàn)1日本特開2000-22243號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種能夠在適當(dāng)?shù)臅r期發(fā)現(xiàn)鼓風(fēng)部10的密封部IOc的間隙擴(kuò)大，從而進(jìn)行穩(wěn)定的激光輸出的激光振蕩裝置及激光加工機(jī)。本發(fā)明的激光振蕩裝置構(gòu)成為，具備在內(nèi)部對激光氣體進(jìn)行放電的放電管；將激光氣體向放電管輸送的鼓風(fēng)部；連接放電管與鼓風(fēng)部的氣體循環(huán)路徑；對在鼓風(fēng)部設(shè)置的齒輪室的壓力進(jìn)行檢測的齒輪室壓力檢測部；在由齒輪室壓力檢測部檢測出的壓力與預(yù)先設(shè)定的規(guī)定壓力相同或比規(guī)定壓力大時產(chǎn)生警報的警報部，其中，規(guī)定壓力基于鼓風(fēng)部的激光氣體入口側(cè)壓力與激光氣體出口側(cè)壓力的平均值來設(shè)定。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在不增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本的情況下提供一種激光振蕩裝置及激光加工機(jī)，從而在鼓風(fēng)部的轉(zhuǎn)子室與齒輪室的密封部的間隙擴(kuò)大時，能夠在適當(dāng)?shù)臅r期發(fā)現(xiàn)密封部的間隙擴(kuò)大，從而進(jìn)行穩(wěn)定的激光輸出。


圖1是本發(fā)明的實施方式1中的激光振蕩裝置的框圖。圖2是本實施方式中的激光振蕩裝置的鼓風(fēng)部的結(jié)構(gòu)圖。圖3A是表示本實施方式中的運(yùn)轉(zhuǎn)時的齒輪室壓力隨時間而變化的圖。圖;3B是表示本實施方式中的運(yùn)轉(zhuǎn)時的激光輸出隨時間而變化的圖。圖4是本發(fā)明的實施方式2中的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式以下，利用圖1至圖4，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。(實施方式1)圖1是本發(fā)明的實施方式1中的激光振蕩裝置的框圖。在圖1中，本實施方式的激光振蕩裝置在放電管4的兩端具備陽極電極6和陰極電極7。陽極電極6和陰極電極7 與高電壓電源8連接而構(gòu)成使激光氣體2激發(fā)的放電部，向放電管4內(nèi)部的激光氣體2放電而形成放電空間3。氣體循環(huán)路徑12與放電管4連接，在氣體循環(huán)路徑12的中途配置有換熱器9、鼓風(fēng)部10、換熱器11。激光氣體2在放電部4與鼓風(fēng)部10之間的激光氣體2 的氣體循環(huán)路徑12中循環(huán)。在本實施方式中，使激光氣體2從陽極電極6向陰極電極7流動。另外，在本實施方式中，將放電管4連接成兩根相面對，但也可以將放電管4并列排列并通過反射鏡折回而光學(xué)地連結(jié)。放電管4可以不像本實施方式那樣為兩根，可以一根或三根以上連結(jié)。在各放電管4的未連結(jié)的各端部配置部分反射鏡13及全反射鏡14而構(gòu)成激光共振器。從激光共振器的部分反射鏡13輸出高輸出的激光1。氣體循環(huán)路徑12經(jīng)由氣體供給量調(diào)整部22、氣體供給電磁閥23與氣體供給源21 連接。另外，氣體循環(huán)路徑12還與第一氣體排出通路31連接。第一氣體排出通路31經(jīng)由第一氣體排出電磁閥32、氣體排出停止用電磁閥39與氣體排出部40連接。通過氣體供給源21和氣體排出部40來進(jìn)行激光氣體2的供給和壓力調(diào)整。圖2是表示鼓風(fēng)部10的結(jié)構(gòu)圖。在圖2中，鼓風(fēng)部10具備轉(zhuǎn)子室10a，其在內(nèi)部具有設(shè)置在氣體循環(huán)路徑12中的氣體輸送用的轉(zhuǎn)子；齒輪室10b，其在內(nèi)部具有確定轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)時機(jī)的齒輪；驅(qū)動齒輪的驅(qū)動部10d。轉(zhuǎn)子和驅(qū)動部IOd彼此通過軸連接。轉(zhuǎn)子室IOa與氣體循環(huán)路徑12連接，通過轉(zhuǎn)子使激光氣體2流動。
鼓風(fēng)部10的齒輪室IOb經(jīng)由油霧捕獲部35與第二氣體排出通路37連接。第二氣體排出通路37經(jīng)由第二氣體排出電磁閥38、氣體排出停止用電磁閥39與氣體排出部40 連接。另外，如圖1所示，在氣體循環(huán)路徑12中設(shè)置對內(nèi)部的激光氣體2的壓力進(jìn)行檢測的氣體壓力檢測部41。在鼓風(fēng)部10的齒輪室IOb經(jīng)由油霧捕獲部35而設(shè)置齒輪室壓力檢測部42。氣體壓力檢測部41、齒輪室壓力檢測部42的輸出信號向警報部43輸入。需要說明的是，各電磁閥或各部的控制通過兼作警報部43的控制裝置進(jìn)行。對如上那樣構(gòu)成的本實施方式的激光振蕩裝置的動作進(jìn)行說明。激光氣體2在由電介質(zhì)構(gòu)成的放電管4內(nèi)循環(huán)。與在放電管4的周邊設(shè)置的陽極電極6及陰極電極7連接的高電壓電源8在放電管4內(nèi)產(chǎn)生放電。通過放電使激光氣體2激發(fā)，從而作為激光1通過全反射鏡14及部分反射鏡13而向外部輸出。通過鼓風(fēng)部10將激光氣體2向放電管4 和形成激光氣體2的循環(huán)路的氣體循環(huán)路徑12的內(nèi)部輸送。為了降低因放電及鼓風(fēng)部10 而上升的激光氣體2的溫度，而配置有換熱器9、11。在運(yùn)轉(zhuǎn)停止?fàn)顟B(tài)下，氣體循環(huán)路徑12、鼓風(fēng)部10及放電管4的內(nèi)部保持為接近大氣壓的約90kPa的壓力。在運(yùn)轉(zhuǎn)開始時，打開第一氣體排出電磁閥32、第二氣體排出電磁閥 38及氣體排出停止用電磁閥39，通過氣體排出部40的真空泵等將大氣排出，從而將壓力減至約lltfa左右。在該壓力為約lltfa左右時，使鼓風(fēng)部10開始運(yùn)轉(zhuǎn)并同時關(guān)閉第二氣體排出電磁閥38和氣體排出停止用電磁閥39，之后打開氣體供給電磁閥23而從氣體供給源21 供給新鮮的激光氣體2，直至成為運(yùn)轉(zhuǎn)氣體壓力。當(dāng)成為運(yùn)轉(zhuǎn)氣體壓力時，打開氣體排出停止用電磁閥39而將激光氣體2排出，同時通過氣體壓力檢測部41進(jìn)行氣體供給電磁閥23的開閉控制，以成為一定的壓力。由于在放電空間3中的放電的作用下，激光氣體2的組成氣體的分子分解而劣化， 因此其一部分被氣體排出部40向外部排出。由于激光氣體2的壓力由氣體壓力檢測部41 監(jiān)視，因此氣體壓力檢測部41檢測到激光氣體2向外部排出而引起的壓力降低，并以電方式向控制氣體供給量的氣體供給源21輸送信號而對其進(jìn)行控制。之后，氣體供給源21進(jìn)行動作，從而供給與排出的激光氣體2同量的未劣化的激光氣體2，使氣體循環(huán)路徑12內(nèi)部的壓力保持一定。另一方面，在鼓風(fēng)部10中，通過電動機(jī)等驅(qū)動部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動部IOd將動力向轉(zhuǎn)子室IOa的轉(zhuǎn)子傳遞。在轉(zhuǎn)子室IOa中配置有兩個轉(zhuǎn)子，通過齒輪室IOb的齒輪來確定兩個轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)時機(jī)。在齒輪室IOb中收納有潤滑用油，進(jìn)行軸承及齒輪的潤滑。當(dāng)由該潤滑用油產(chǎn)生的油霧侵入到通過轉(zhuǎn)子進(jìn)行循環(huán)的激光氣體2中時，激光氣體2的純度降低，對激光振蕩帶來較大的不良影響。因此，為了抑制油霧向激光氣體循環(huán)路徑的侵入，設(shè)置油封或干封等密封部10c，將轉(zhuǎn)子室IOa與齒輪室IOb分離。密封部IOc與電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸之間設(shè)有幾ym至幾十μ m的間隙，形成為不會阻礙軸的旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。如上所述，由于在密封部IOc與旋轉(zhuǎn)軸之間存在幾μ m至幾十μ m的微小的間隙， 因此油霧會因真空擴(kuò)散通過間隙而從齒輪室IOb向轉(zhuǎn)子室IOa侵入。為了防止該情況，通過氣體排出部40將氣體從齒輪室IOb經(jīng)由齒輪室氣體排出通路IOe及油霧捕集器等油霧捕獲部35而排出，使齒輪室IOb比轉(zhuǎn)子室IOa低壓。另外，在使轉(zhuǎn)子室IOa的轉(zhuǎn)子加速及減速時，轉(zhuǎn)子室IOa與齒輪室IOb的壓力平衡會被暫時打破，因此，齒輪室IOb的潤滑用油霧通過密封部IOc而混入到氣體循環(huán)路徑12 中，對激光振蕩帶來不良影響。因此，鼓風(fēng)部10的齒輪室IOb由真空泵等氣體排出部40經(jīng)由通過來自控制電動機(jī)旋轉(zhuǎn)的變換器的信號進(jìn)行控制的電磁閥、在鼓風(fēng)部10的運(yùn)轉(zhuǎn)中打開的電磁閥而進(jìn)行減壓。并且，在鼓風(fēng)部10的運(yùn)轉(zhuǎn)加速時及減速時，通過來自變換器的信號對電磁閥進(jìn)行開閉控制，由此對從齒輪室IOb排出的氣體排出流量進(jìn)行控制，從而將齒輪室IOb的壓力控制成比轉(zhuǎn)子室IOa的壓力低。但是，在密封部IOc與電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸的間隙因磨損或時效變化而擴(kuò)大的情況下，即使穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)子室IOa與齒輪室IOb的壓力差也會減少，存在無法得到用于防止油霧的混入的壓力差的情況。經(jīng)由油霧捕獲部35與齒輪室IOb連接的齒輪室壓力檢測部42監(jiān)視上述那樣的穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)下的轉(zhuǎn)子室IOa與齒輪室IOb的壓力差減少，在齒輪室IOb的壓力成為規(guī)定的壓力以上時由警報部43產(chǎn)生警報。圖3A是表示本實施方式的激光振蕩裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)時的鼓風(fēng)部10的齒輪室的壓力隨時間而變化的圖。圖3B是表示本實施方式的激光振蕩裝置的激光輸出隨時間而變化的關(guān)系的圖。在為新品的情況下，由于轉(zhuǎn)子室IOa與齒輪室IOb之間的密封部IOc的間隙小，因此為鼓風(fēng)部10的齒輪室IOb的壓力低的狀態(tài)。伴隨運(yùn)轉(zhuǎn)時間的經(jīng)過，如實線Pl所示，因密封部IOc的磨損或時效變化等而間隙逐漸擴(kuò)大，齒輪室IOb的壓力以平緩的上升曲線上升。 在運(yùn)轉(zhuǎn)時間TA時，齒輪室壓力檢測部42檢測出齒輪室IOb的壓力達(dá)到作為規(guī)定的基準(zhǔn)值的鼓風(fēng)部10的激光氣體入口側(cè)IOf壓力與激光氣體出口側(cè)IOg壓力的平均值即A點(diǎn)，而由警報部43產(chǎn)生警報。本來若在密封部的齒輪室側(cè)的壓力比轉(zhuǎn)子室側(cè)高時發(fā)出警報，則能夠效率良好地防止油霧的混入。但是，由于密封部IOc與轉(zhuǎn)子之間的空間非常微小，因此為了測定密封部 IOc的轉(zhuǎn)子室IOa側(cè)壓力而設(shè)置孔口等，從而很難準(zhǔn)確地測定壓力。在本實施方式中，由于鼓風(fēng)機(jī)的激光氣體入口側(cè)IOf和激光氣體出口側(cè)IOg的平均壓力與密封部IOc的轉(zhuǎn)子室 IOa側(cè)的壓力大致相等，因此通過使用鼓風(fēng)機(jī)的激光氣體入口側(cè)IOf和激光氣體出口側(cè)IOg 的平均壓力，能夠間接地測定密封部IOc的轉(zhuǎn)子室IOa側(cè)的壓力。圖3A的齒輪室IOb的壓力的B點(diǎn)表示規(guī)定的壓力基準(zhǔn)值設(shè)定得比鼓風(fēng)部10的激光氣體入口側(cè)IOf壓力與激光氣體出口側(cè)IOg壓力的平均值高的情況。在本實施方式的情況下，通過在圖3A的A點(diǎn)產(chǎn)生警報，從而使用者可以得知鼓風(fēng)部10的密封部間隙變大，若在該狀態(tài)下繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，則油霧會混入激光氣體2中而開始引起激光輸出的降低。因此，為了防止激光輸出的降低，而能夠采取將鼓風(fēng)部10更換為新品等預(yù)防措施。因此，如圖3B的實線Ql所示，在運(yùn)轉(zhuǎn)時間TA后也能夠防止激光輸出的降低，能夠長期維持額定輸出。在規(guī)定的壓力設(shè)定為上述的圖3A的B點(diǎn)的情況下，如虛線P2所示，即使在運(yùn)轉(zhuǎn)時間TA時齒輪室IOb的壓力超過A點(diǎn)而油霧開始向激光氣體2中混入，也繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，因此如圖3B的虛線Q2所示，激光輸出降低。至此，說明了為了防止齒輪室IOb內(nèi)的油霧向轉(zhuǎn)子室IOa侵入、而將齒輪室IOb側(cè)減壓使其壓力比轉(zhuǎn)子室IOa的壓力低的情況。在本實施方式中，轉(zhuǎn)子室IOa內(nèi)部的密封部IOc附近的壓力通常為鼓風(fēng)部10的入口壓力與出口壓力的大致平均值。因此，當(dāng)齒輪室IOb 的壓力成為鼓風(fēng)部10的入口壓力與出口壓力的平均值以上時，油霧開始從齒輪室IOb向轉(zhuǎn)子室IOa侵入。因此，在本實施方式中，將作為由警報部43產(chǎn)生警報的基準(zhǔn)值的規(guī)定的壓力設(shè)定為鼓風(fēng)部10的入口壓力與出口壓力的平均值。需要說明的是，若將規(guī)定的壓力設(shè)定得低，則能夠防止齒輪室IOb內(nèi)的油霧向轉(zhuǎn)子室IOa侵入。但是，警報在短期內(nèi)頻繁產(chǎn)生，用于更換鼓風(fēng)部10的運(yùn)轉(zhuǎn)成本增加。根據(jù)這樣的理由，通過使規(guī)定的壓力為鼓風(fēng)部10的激光氣體入口側(cè)IOf壓力與激光氣體出口側(cè) IOg壓力的平均值，能夠防止不必要的運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，并且也能夠防止激光輸出的降低。需要說明的是，當(dāng)齒輪室IOb的壓力成為鼓風(fēng)部10的入口壓力與出口壓力的平均值以上時，齒輪室IOb內(nèi)的油霧瞬間開始向轉(zhuǎn)子室IOa侵入。因此，通過在齒輪室IOb的壓力比鼓風(fēng)部10的入口壓力與出口壓力的平均值大1 秒以上時發(fā)出警報，能夠更有效地防止油霧的侵入。但是，也可以將規(guī)定的壓力設(shè)定為從鼓風(fēng)部10的激光氣體入口側(cè)IOf壓力與激光氣體出口側(cè)IOg壓力的平均值減去激光氣體2的壓力脈動的變動值的1/2而得到的數(shù)值。如之前所說明的那樣，轉(zhuǎn)子室IOa內(nèi)部的密封部IOc附近的壓力通常為鼓風(fēng)部10 的入口壓力與出口壓力的大致平均值。實際上激光氣體2的壓力不固定而具有脈動。因此， 在脈動最小時，瞬時引起密封部IOc附近的壓力比齒輪室IOb低的情況。因此，將規(guī)定的壓力設(shè)定為從鼓風(fēng)部10的激光氣體入口側(cè)IOf壓力與激光氣體出口側(cè)IOg壓力的平均值減去激光氣體2的壓力脈動的變動值的1/2而得到的數(shù)值，從而能夠更有效地防止油霧的侵入。但是，當(dāng)將規(guī)定的壓力設(shè)定得過度地低時，雖然能夠防止齒輪室IOb內(nèi)的油霧向轉(zhuǎn)子室IOa侵入，但警報在短期內(nèi)頻繁產(chǎn)生，用于更換鼓風(fēng)部10的運(yùn)轉(zhuǎn)成本增加。由于激光氣體2的壓力脈動通常為幾百Hz以上，因此齒輪室IOb的壓力成為從激光氣體入口側(cè)IOf 壓力與激光氣體出口側(cè)IOg壓力的平均值減去激光氣體2的壓力脈動的變動值的1/2而得到的數(shù)值以上的時間極其短，為幾msec左右，因此不會產(chǎn)生油霧侵入。因此，通過在齒輪室IOb的壓力成為從激光氣體入口側(cè)IOf壓力與激光氣體出口側(cè)IOg壓力的平均值減去激光氣體2的壓力脈動的變動值的1/2而得到的數(shù)值以上10分鐘以上時產(chǎn)生警報，從而能夠抑制不必要的運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加。(實施方式2)圖4是本發(fā)明的實施方式2中的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。在圖4中，本實施方式的激光加工機(jī)具備搭載加工工件64的加工臺63。本實施方式的激光加工機(jī)還具備使加工臺 63或聚光部67中的至少一方移動的加工機(jī)驅(qū)動部62，其中，聚光部67使激光會聚。本實施方式的激光加工機(jī)還具備對加工機(jī)驅(qū)動部62進(jìn)行控制的數(shù)值控制部61、實施方式1中敘述的激光振蕩裝置65、激光光路66。由激光振蕩裝置65射出的激光通過由折回鏡等構(gòu)成的激光光路66傳送，并由聚光部67會聚。會聚后的激光向加工工件64照射而開始加工。與此同時，通過數(shù)值控制部 61向加工機(jī)驅(qū)動部62輸出指令，使加工臺63或聚光部67中至少一方動作來對加工工件 64進(jìn)行加工。由于本實施方式的激光加工機(jī)使用實施方式1的激光振蕩裝置，因此油霧所引起的激光的輸出變動消失，能夠進(jìn)行激光的輸出功率準(zhǔn)確的照射。并且，通過數(shù)值控制部將激光振蕩裝置65統(tǒng)一控制，從而使激光加工的可靠性提高，并且能夠防止不合格件混入加工工件中。如以上說明所示，本發(fā)明的激光振蕩裝置構(gòu)成為，具備在內(nèi)部對激光氣體進(jìn)行放電的放電管；將激光氣體向放電管輸送的鼓風(fēng)部；將放電管和鼓風(fēng)部連接的氣體循環(huán)路徑；對設(shè)置在鼓風(fēng)部的齒輪室的壓力進(jìn)行檢測的齒輪室壓力檢測部；在由齒輪室壓力檢測部檢測出的壓力與預(yù)先設(shè)定的規(guī)定壓力相同或比規(guī)定壓力大時產(chǎn)生警報的警報部，其中， 規(guī)定壓力基于鼓風(fēng)部的激光氣體入口側(cè)壓力與激光氣體出口側(cè)壓力的平均值來設(shè)定。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，即使在轉(zhuǎn)子室與齒輪室的密封部的間隙擴(kuò)大而導(dǎo)致齒輪室的壓力上升的情況下，通過齒輪室壓力檢測部也能夠在適當(dāng)?shù)臅r期檢測出該壓力的上升而發(fā)出警報。由此，能夠防止油霧侵入激光氣體循環(huán)路徑內(nèi)的情況。另外，盡管充分維持用于防止油霧混入而需要的齒輪室壓力與轉(zhuǎn)子室壓力的壓力差，但仍能夠防止必要以上過早地檢測出齒輪室壓力的上升而發(fā)出警報所引起的維護(hù)費(fèi)用的增加。因此，本發(fā)明能夠在不增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本的情況下提供一種激光振蕩裝置及激光加工機(jī)，從而在鼓風(fēng)部的轉(zhuǎn)子室與齒輪室的密封部的間隙擴(kuò)大時，能夠在適當(dāng)?shù)臅r期發(fā)現(xiàn)密封部的間隙擴(kuò)大，進(jìn)行穩(wěn)定的激光輸出。工業(yè)實用性根據(jù)本發(fā)明，能夠降低來自鼓風(fēng)部的油霧的影響，在不增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本的情況下能夠?qū)崿F(xiàn)激光輸出的穩(wěn)定及長期可靠性的提高，因此對各種激光振蕩裝置及激光加工機(jī)來說
是有益KIo
符號說明
1激光
2激光氣體
3放電空間
4放電管
6陽極電極
7陰極電極
8高電壓電源
9、11換熱器
10鼓風(fēng)部
IOa轉(zhuǎn)子室
IOb齒輪室
IOc密封部
IOd驅(qū)動部
IOe齒輪室氣體排出通路
IOf激光氣體入口側(cè)
IOg激光氣體出口側(cè)
12氣體循環(huán)路徑
13部分反射鏡
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14全反射鏡21氣體供給源22氣體供給量調(diào)整部23氣體供給電磁閥31第一氣體排出通路32第一氣體排出電磁閥35油霧捕獲部37第二氣體排出通路38第二氣體排出電磁閥39氣體排出停止用電磁閥40氣體排出部41氣體壓力檢測部42齒輪室壓力檢測部43警報部61數(shù)值控制部62加工機(jī)驅(qū)動部63加工臺64加工工件65激光振蕩裝置66激光光路67聚光部
權(quán)利要求
1.一種激光振蕩裝置，其具備在內(nèi)部對激光氣體進(jìn)行放電的放電管； 將所述激光氣體向所述放電管輸送的鼓風(fēng)部； 連接所述放電管與所述鼓風(fēng)部的氣體循環(huán)路徑； 對設(shè)置在所述鼓風(fēng)部的齒輪室的壓力進(jìn)行檢測的齒輪室壓力檢測部； 在由所述齒輪室壓力檢測部檢測出的壓力與預(yù)先設(shè)定的規(guī)定壓力相同或比所述規(guī)定壓力大時產(chǎn)生警報的警報部，所述規(guī)定壓力基于所述鼓風(fēng)部的激光氣體入口側(cè)壓力與激光氣體出口側(cè)壓力的平均值來設(shè)定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩裝置，其中，在由所述齒輪室壓力檢測部檢測出的壓力超過所述鼓風(fēng)部的激光氣體入口側(cè)壓力與激光氣體出口側(cè)壓力的平均值一秒以上時，所述警報部產(chǎn)生警報。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩裝置，其中，所述規(guī)定壓力使用從所述鼓風(fēng)部的激光氣體入口側(cè)壓力與激光氣體出口側(cè)壓力的平均值減去所述激光氣體的壓力脈動的變動值的1/2而得到的數(shù)值。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光振蕩裝置，其中，在由所述齒輪室壓力檢測部檢測出的壓力超過從所述鼓風(fēng)部的激光氣體入口側(cè)壓力與激光氣體出口側(cè)壓力的平均值減去激光氣體的壓力脈動的變動值的1/2而得到的數(shù)值 10分鐘以上時，所述警報部產(chǎn)生警報。
5.一種激光加工機(jī)，其具備 搭載加工物的加工臺；使所述加工臺及激光的聚光部中的至少一方移動的加工機(jī)驅(qū)動部； 對所述加工機(jī)驅(qū)動部進(jìn)行控制的數(shù)值控制部； 權(quán)利要求1至4中任一項所述的激光振蕩裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種激光振蕩裝置及激光加工機(jī)。所述激光振蕩裝置構(gòu)成為，具備將激光氣體(2)向放電管(4)輸送的鼓風(fēng)部(10)；將放電管(4)與鼓風(fēng)部(10)連接的氣體循環(huán)路徑(12)；對在鼓風(fēng)部(10)設(shè)置的齒輪室的壓力進(jìn)行檢測的齒輪室壓力檢測部(41)；在由齒輪室壓力檢測部(41)檢測出的壓力比預(yù)先設(shè)定的規(guī)定壓力大時產(chǎn)生警報的警報部(43)，其中，規(guī)定壓力基于鼓風(fēng)部(10)的激光氣體入口側(cè)(10f)壓力與激光氣體出口側(cè)(10g)壓力的平均值來設(shè)定。通過該結(jié)構(gòu)，能夠防止從鼓風(fēng)部產(chǎn)生的油霧混入氣體循環(huán)路徑(12)內(nèi)及氣體消耗量的增加，并且能夠在不增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本的情況下長期維持穩(wěn)定的激光輸出。
文檔編號H01S3/036GK102341976SQ201080010649
公開日2012年2月1日 申請日期2010年3月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月12日
發(fā)明者尾松英文, 林川洋之, 江口聰 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社