技術(shù)編號:6987249
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通過鼓風(fēng)部將激光氣體向放電管輸送的激光振蕩裝置及激光加工機。 背景技術(shù)現(xiàn)有的氣體激光振蕩裝置由例如專利文獻(xiàn)1公開。專利文獻(xiàn)1中公開的氣體激光振蕩裝置通過對設(shè)置在放電管上的兩個電極之間施加高電壓,而在放電管內(nèi)產(chǎn)生放電空間。在放電空間的作用下激光氣體被激發(fā),從而作為激光通過在放電管的兩端設(shè)置的全反射鏡及部分反射鏡而向外部輸出。在放電管上結(jié)合有形成激光氣體的循環(huán)路的氣體循環(huán)路徑,在氣體循環(huán)路徑的內(nèi)部設(shè)置有鼓風(fēng)部。通過該鼓風(fēng)部,激光氣體在放電管和氣體循環(huán)...
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