專利名稱：一種硅片浮動壓緊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，尤其涉及一種用于鏈?zhǔn)街平q酸洗、單面刻 蝕、堿洗及清洗設(shè)備的硅片浮動壓緊裝置。
背景技術(shù)：
在清洗、制絨酸洗等進行硅片的運輸中，硅片在受到液體的浮力時，往往易導(dǎo)致硅 片運動無規(guī)律、滯留、移位、浮離等不良現(xiàn)象的產(chǎn)生，從而造成硅片損傷。若采用減低硅片運 輸速度的方式，又無法保證生產(chǎn)效率。故半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域迫切需要一種保證硅片在制 絨、清洗等過程中進行良好的、無損傷的運輸傳遞的對策。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型為了解決現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，硅片受到液體的浮力易導(dǎo)致硅片運 動無規(guī)律、滯留、移位、浮離等問題，提供一種硅片浮動壓緊裝置，其應(yīng)用在相關(guān)半導(dǎo)體工藝 設(shè)備中，能有效壓緊硅片，避免硅片損傷。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種硅片浮動壓緊裝置，包 括與動力源連接的傳動軸，及與傳動軸對應(yīng)平行的支承軸；在支承軸上套設(shè)有至少兩個浮 動壓輪，浮動壓輪下邊緣與傳動軸配合；最優(yōu)選的所述浮動壓輪由兩同心圓柱連接構(gòu)成，內(nèi) 側(cè)的圓柱與支承軸配合，外部的圓柱與傳動軸配合。所述傳動軸與支承軸通過齒輪或皮帶 聯(lián)動。所述浮動壓輪在與支承軸配合的軸向兩端分別設(shè)有固定套和聯(lián)動固定套；固定套 與支承軸固定連接，聯(lián)動固定套則同時與浮動壓輪和支承軸固定連接。所述浮動壓輪為柔性材質(zhì)，在外力作用下浮動壓輪與傳動軸之間能產(chǎn)生一個間 隙。傳動軸與浮動壓輪的接觸面即為硅片傳遞面。換而言之，即浮動壓輪與傳動軸之間嵌 入硅片，從而使兩者間產(chǎn)生間隙。本實用新型通過設(shè)置浮動壓輪施加相對的自由壓緊力將硅片緊貼于傳動軸上，以 免硅片在受到液體的浮力時而導(dǎo)致硅片運動無規(guī)律、滯留、移位、浮離等不良現(xiàn)象的產(chǎn)生; 浮動壓輪通過聯(lián)動固定套和固定套限位在支承軸上，實現(xiàn)良好的同步運動，保證了脆弱硅 片在設(shè)備內(nèi)所有工藝中的無損傷的傳送，使之達(dá)到了硅片在制絨清洗過程中的工作要求。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明

圖1為本實用新型主視方向的局部結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的側(cè)視圖。
具體實施方式
如圖1圖2所示均為一種硅片浮動壓緊裝置優(yōu)選實施例中的一個浮動壓緊單元，包括與動力源配合，在動力源驅(qū)動下可自轉(zhuǎn)的傳動軸5，還包括與傳動軸5對應(yīng)平行的支承 軸4，在支承軸4上套設(shè)有兩個浮動壓輪2，浮動壓輪2下邊緣與傳動軸5配合；當(dāng)傳動軸5 旋轉(zhuǎn)時，將帶動浮動壓輪2旋轉(zhuǎn)。其中浮動壓輪2由兩同心圓柱連接構(gòu)成，內(nèi)側(cè)的圓柱與支 承軸4配合，外部的圓柱與傳動軸5配合。浮動壓輪2在與支承軸4配合的軸向兩端分別 設(shè)有固定套3和聯(lián)動固定套1 ；固定套3與支承軸4固定連接，聯(lián)動固定套1則同時與浮動 壓輪2和支承軸4固定連接。最優(yōu)選的所述浮動壓輪2為柔性材質(zhì)，例如硅膠、防水橡膠等 高分子材質(zhì)；在外力作用下浮動壓輪2與傳動軸5之間能產(chǎn)生一個間隙，這個間隙即構(gòu)成硅 片傳遞面；即硅片6配合在浮動壓輪2與傳動軸5之間。并且所述傳動軸5與支承軸4是 通過齒輪或皮帶聯(lián)動的。使用時，通過傳動軸將帶動支承軸，通過支承軸帶動聯(lián)動固定套， 通過聯(lián)動固定套帶動浮動壓輪，從而使浮動壓輪進行良好的轉(zhuǎn)動并且施壓于給硅片，保證 了硅片的生產(chǎn)要求。在圖1圖2所示結(jié)構(gòu)中，一個浮動壓緊單元即構(gòu)成了硅片浮動壓緊裝置。但本專 利實施時，可以是在同一平面上平行設(shè)置(支承軸4平行)多個浮動壓緊單元的結(jié)構(gòu)，其中 的一個傳動軸5與一個支承軸4對于傳動。并且實施時，在所述支承軸4上套設(shè)有浮動壓 輪2的數(shù)量為兩個或兩個以上。本實用新型通過浮動壓輪施加相對的自由壓緊力將硅片緊貼于傳動輥軸上，以免 硅片在受到液體的浮力時而導(dǎo)致硅片運動無規(guī)律、滯留、移位、浮離等不良現(xiàn)象的產(chǎn)生。浮 動壓輪通過聯(lián)動固定套和固定套及支承軸進行良好的運動，通過自由壓緊力將硅片在制 絨、清洗等過程中進行良好的運輸傳遞，保證了脆弱硅片在設(shè)備內(nèi)所有工藝中的無損傷的 傳送，使之達(dá)到了硅片在制絨清洗過程中的工作要求。上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，實施時若在此基礎(chǔ)原理上做出本領(lǐng)域技術(shù)人 員可想而知的改變，均屬落入本專利的保護范圍。
權(quán)利要求1 一種硅片浮動壓緊裝置，包括與動力源連接的傳動軸(5)，其特征在于還包括與傳 動軸( 對應(yīng)平行的支承軸G)，在支承軸(4)上套設(shè)有至少兩個浮動壓輪O)，浮動壓輪 (2)下邊緣與傳動軸( 配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片浮動壓緊裝置，其特征在于所述浮動壓輪O)由 兩同心圓柱連接構(gòu)成，內(nèi)側(cè)的圓柱與支承軸(4)配合，外部的圓柱與傳動軸( 配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種硅片浮動壓緊裝置，其特征在于所述浮動壓輪(2) 在與支承軸(4)配合的軸向兩端分別設(shè)有固定套C3)和聯(lián)動固定套(1)；固定套(3)與支 承軸固定連接，聯(lián)動固定套(1)則同時與浮動壓輪( 和支承軸固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片浮動壓緊裝置，其特征在于所述浮動壓輪(2)為 柔性材質(zhì)，在外力作用下浮動壓輪( 與傳動軸( 之間能產(chǎn)生一個間隙；該間隙即為硅片 傳遞面。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片浮動壓緊裝置，其特征在于所述傳動軸( 與支 承軸(4)通過齒輪或皮帶聯(lián)動。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片浮動壓緊裝置，應(yīng)用于鏈?zhǔn)街平q酸洗、單面刻蝕、堿洗及清洗設(shè)備，其包括與動力源連接的傳動軸及與傳動軸對應(yīng)平行的支承軸；在支承軸上套設(shè)有至少兩個浮動壓輪，浮動壓輪下邊緣與傳動軸配合，配合面即構(gòu)成硅片的傳遞面；前述結(jié)構(gòu)構(gòu)成一個浮動壓緊單元，每個硅片浮動壓緊裝置中包含至少一個浮動壓緊單元。使用時受動力驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的浮動壓輪和傳動軸分別從上下部壓緊并傳遞硅片，以免硅片在受到液體的浮力時而導(dǎo)致硅片運動無規(guī)律、滯留、移位、浮離等不良現(xiàn)象的產(chǎn)生，保證了脆弱硅片在設(shè)備內(nèi)所有工藝中的無損傷的傳送。
文檔編號H01L21/687GK201893325SQ201020195698
公開日2011年7月6日 申請日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者左國軍 申請人:常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司