專利名稱：用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶圓盒機臺載物臺的改造，尤其設計一種用于晶圓盒機臺載 物臺的條形擋板。
背景技術：
在集成芯片的制造過程中，用于制作芯片的晶圓在不同的制作過程之間以及制作 過程中的運輸是儲藏在晶圓盒(Pod)中運輸?shù)?，晶圓盒的使用可以為晶圓提供較高潔凈度 環(huán)境，還避免晶圓受到潔凈度相對晶圓盒低的制作車間內(nèi)污染源的污染。多數(shù)半 導體制造 工廠采用的晶圓盒是ENTIGRIS公司的和E-SUM公司的。圖1為ENTIGRIS晶圓盒的俯視圖 和檢測裝置的工作示意圖，圖2為E-SUM晶圓盒的俯視圖和檢測裝置的工作示意圖，如圖1 所示，所述檢測裝置300，通過紅外探測光，自下至上檢測所述ENTIGRIS晶圓盒200a內(nèi)晶 圓的數(shù)量以及質量，所述檢測裝置300’首先探測到所述ENTIGRIS晶圓盒200a上的支撐柱 202a，以此設置初始點，然后自下向上掃描晶圓盒300’內(nèi)的晶圓，得出晶圓的質量和數(shù)量。 同樣，如圖2所示，所述檢測裝置300’通過紅外探測光，自下至上檢測所述E-SUM晶圓盒 200’內(nèi)晶圓的數(shù)量以及質量，然而所述E-SUM晶圓盒200’的機臺載物臺的底座上設有的支 撐柱202’沒有橫向擋板，所述檢測裝置300’的紅外探測光自下向上檢測時無法找到初始 點，會造成檢測過程的失誤。

實用新型內(nèi)容本實用新型解決的技術問題是檢測裝置在檢測晶圓盒內(nèi)晶圓時無法設置起始點 的問題。為解決上述問題，本實用新型提供一種用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，所述 條形擋板固定在所述晶圓盒的機臺載物臺的側面，所述條形擋板固定在所述晶圓盒的機臺 載物臺的側面，所述條形擋板包括阻擋部件，所述阻擋部件的中心線與所述機臺載物臺的 底面平行，所述阻擋部件與所述機臺載物支撐柱的頂部位于同一高度；設置于所述阻擋部 件兩端的第一連接部件、第二連接部件；與第一連接部件、第二連接部件分別連接的第一固 定部件和第二固定部件。進一步的，所述阻擋部件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一連接 部件、所述第二連接部件為一體成型。優(yōu)選的，所述條形擋板為不銹鋼材質?？蛇x的，所述第一固定部件和所述第二固定部件上設有螺絲孔。進一步的，所述晶圓盒為E-SUM公司生產(chǎn)的。進一步的，所述阻擋部件的長度為25cm，所述第一固定部件和所述第二固定部件 的長度為2cm 4cm，所述阻擋部件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一連接 部件、所述第二連接部件的寬度相等，均為Icm 4cm。進一步的，所述阻擋部件、所述第一固定部件、所述第一連接部件、所述第二連接部件與所述第二固定部件成倒“ Ω ”字形，所述條形擋板的任意拐角為直角。綜上所述，用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板可以有效解決檢測裝置在檢測晶圓 盒內(nèi)晶圓時無法設置起始點的問題，并且所述條形擋板形狀簡單，材料常見，故易于制作且 成本低廉。

圖1為現(xiàn)有技術中ENTIGRIS晶圓盒的俯視圖和檢測裝置的工作示意圖。圖2為現(xiàn)有技術中E-SUM晶圓盒的俯視圖和檢測裝置的工作示意圖。圖3為用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板的主視圖。圖4為用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板的俯視圖。圖5為本實用新型E-SUM晶圓盒的俯視圖和檢測裝置的工作示意圖。
具體實施方式
為了更了解本實用新型的技術內(nèi)容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。本實用新型提出一種用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，圖5為本實用新型 E-SUM晶圓盒的俯視圖和檢測裝置的工作示意圖。請參考圖5，所述條形擋板100固定在所 述晶圓盒的機臺載物臺200的側面，圖3為用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板的主視圖。圖4為用于晶圓盒機臺載物 臺的條形擋板的俯視圖。請參考圖3和圖4，所述條形擋板100包括阻擋部件101，所述阻 擋部件101與所述機臺載物臺200的底面平行，所述阻擋部件101與所述機臺載物臺200 支撐柱202的頂部位于同一高度；設置于所述阻擋部件101兩端的第一連接部件107、第二 連接部件109 ；與第一連接部件107、第二連接部件109分別連接的第一固定部件103和第 二固定部件105。在本實施例中，所述第一固定部件103、所述第二固定105部件形狀相同，用于固 定所述條形擋板100。所述第一連接部件107與所述第二連接部件109形狀相同，所述第一 連接部件107固定連接所述阻擋部件101的一端和所述第一固定部件103，所述第二連接部 件109固定連接所述阻擋部件101的另一端和所述第二固定部件105。進一步的，所述阻擋部件101、所述第一固定部件103、所述第二固定部件105、所 述第一連接部件107、所述第二連接部件109為一體成型。優(yōu)選的，所述條形擋板100為不銹鋼材質?？蛇x的，所述第一固定部件103和所述第二固定部件105上設有螺絲孔106。在本 實施例中，通過螺絲孔106固定在所述晶圓盒機臺載物臺200上，當然其他方法，如所述條 形擋板100通過膠帶直接固定在所述晶圓盒機臺載物臺200上也在本實用新型的思想范圍 內(nèi)。在本實用新型中，所述晶圓盒為E-SUM公司生產(chǎn)的，所述E-SUM公司生產(chǎn)的晶圓盒 各種型號結構相似，均適用于本實用新型的發(fā)明思想。進一步的，所述阻擋部件101的長度 為25cm，所述第一固定部件103和所述第二固定部件105的長度為2cm 4cm，所述阻擋部 件101、所述第一固定部件103、所述第二固定部件105、所述第一連接部件107、所述第二連 接部件109的寬度相等，均為Icm 4cm。[0025]進一步的，所述阻擋部件101與所述第一連接部件107成直角，所述第一連接部件 107與所述第一固定部件103成直角；所述阻擋部件101與所述第二連接部件109成直角， 所述第二連接部件109與所述第二固定部件107成直角，即任意拐角均為直角；所述阻擋部 件101、所述第一固定部件103、所述第一連接部件107、所述第二連接部件105與所述第二 固定部件109成倒“ Ω ”字形。圖5為本實用新型E-SUM晶圓盒的俯視圖和檢測裝置的工作示意圖。如圖5所 示，所述檢測裝置300通過紅外探測光301，自下至上檢測所述E-SUM晶圓盒200內(nèi)晶圓的 數(shù)量以及質量，所述檢測裝置300首先探測到設置在所述E-SUM晶圓盒200側面的條形擋 板100，以此設置初始點，然后自下向上掃描晶圓盒300內(nèi)的晶圓，得出晶圓的質量和數(shù)量
^fn 息。 綜上所述，針對晶圓盒機臺載物臺增加條形擋板100，可以有效解決檢測裝置在檢 測晶圓盒內(nèi)晶圓時無法設置起始點的問題，并且所述條形擋板100形狀簡單，材料常見，故 易于制作且成本低廉。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型，任何 所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更 動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求一種用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述條形擋板固定在所述晶圓盒的機臺載物臺的側面，所述條形擋板包括阻擋部件，所述阻擋部件的中心線與所述機臺載物臺的底面平行，所述阻擋部件與所述機臺載物支撐柱的頂部位于同一高度；設置于所述阻擋部件兩端的第一連接部件、第二連接部件；與第一連接部件、第二連接部件分別連接的第一固定部件和第二固定部件。
2.如權利要求1所述的用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述阻擋部 件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一連接部件、所述第二連接部件為一體 成型。
3.如權利要求1所述的用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述條形擋 板為不銹鋼材質。
4.如權利要求1所述的用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述第一固 定部件和所述第二固定部件上設有螺絲孔，用于固定所述條形擋板。
5.如權利要求1所述的用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述晶圓盒 為E-SUM公司生產(chǎn)的。
6.如權利要求5所述的用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述阻擋部 件的長度為25cm，所述第一固定部件和所述第二固定部件的長度為2cm 4cm，所述阻擋部 件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一連接部件、所述第二連接部件的寬度 相等，均為Icm 4cm。
7.如權利要求5所述的用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，其特征在于，所述阻擋部 件、所述第一固定部件、所述第一連接部件、所述第二連接部件與所述第二固定部件成倒 “ Ω ”字形，所述條形擋板的任意拐角為直角。
專利摘要本實用新型提供一種用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板，所述條形擋板固定在所述晶圓盒的機臺載物臺的側面，所述條形擋板包括阻擋部件，所述阻擋部件的中心線與所述機臺載物臺的底面平行，所述阻擋部件與所述機臺載物支撐柱的頂部位于同一高度；設置于所述阻擋部件兩端的第一連接部件、第二連接部件；與第一連接部件、第二連接部件分別連接的第一固定部件和第二固定部件。綜上所述，用于晶圓盒機臺載物臺的條形擋板可以有效解決檢測裝置檢測晶圓盒內(nèi)晶圓時無法設置起始點的問題，并且所述條形擋板形狀簡單，材料常見，故易于制作且成本低廉。
文檔編號H01L21/677GK201611650SQ20102011772
公開日2010年10月20日 申請日期2010年2月24日 優(yōu)先權日2010年2月24日
發(fā)明者諸俊 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司