專利名稱：將兩個(gè)成角度的分力施加在調(diào)準(zhǔn)夾具的鄰接部上的彈性單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于調(diào)準(zhǔn)電子部件的調(diào)準(zhǔn)夾具。并且，本發(fā)明涉及一種載體。除此以外，本發(fā)明還涉及一種使用該載體的方法。
背景技術(shù)：
集成電路通常制造在半導(dǎo)體晶片上。集成電路具有多種用途并且可見(jiàn)于通用電氣 裝置中。根據(jù)制造它們的目的，在將集成電路與諸如電阻器、電容和感應(yīng)器之類的其它電子 部件裝配在一起之前，對(duì)它們進(jìn)行封裝、標(biāo)記和測(cè)試。例如，在給定的溫度、壓力、傾角和不 同的加速類型下對(duì)MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))部件進(jìn)行測(cè)試。由此，完整的對(duì)電子部件的加工 可劃分為純制造過(guò)程和修整電子部件的接觸區(qū)域(contactpatterns)后的過(guò)程。存在三類 處理電子部件的機(jī)器處理單一電子部件的所謂“重力式測(cè)試分選機(jī)(Gravity handler)” 和“撿置式測(cè)試分選機(jī)(Pick & Place handler) ”以及處理所謂電子部件支板(strip)的 “支板測(cè)試分選機(jī)”。US 2003/0017629A1公開(kāi)了一種用于在測(cè)試操作期間支承單一電子裝置的設(shè)備， 其包括主體和支承構(gòu)件，其中，所述支承構(gòu)件由不導(dǎo)電的高電阻率的材料制成并包括多 個(gè)凹部，每個(gè)所述凹部均適于接收單獨(dú)的單一裝置。本文還公開(kāi)了一種用于測(cè)試這種裝置 的方法，其中這些裝置在整個(gè)測(cè)試過(guò)程中被承載在包括一個(gè)或多個(gè)環(huán)境控制腔的支承構(gòu)件 上。US 2006/0154386A1公開(kāi)了一種被提供用于調(diào)準(zhǔn)放置在載體上的多個(gè)半導(dǎo)體裝置 的設(shè)備和方法。使用時(shí)調(diào)準(zhǔn)導(dǎo)件鄰近各個(gè)裝置安置，并設(shè)置成使得這些調(diào)準(zhǔn)導(dǎo)件對(duì)應(yīng)于每 個(gè)半導(dǎo)體裝置的預(yù)期調(diào)準(zhǔn)位置。為了調(diào)準(zhǔn)，通過(guò)定位裝置來(lái)保持半導(dǎo)體裝置，該定位裝置包 括多個(gè)保持件，每個(gè)保持件均被構(gòu)造成產(chǎn)生力來(lái)保持半導(dǎo)體裝置。還設(shè)置有致動(dòng)器，其可操 成移動(dòng)該定位裝置和保持件，以抵靠調(diào)準(zhǔn)導(dǎo)件偏壓半導(dǎo)體裝置，從而利用所述調(diào)準(zhǔn)導(dǎo)件為 半導(dǎo)體裝置進(jìn)行定向，直到將它們調(diào)準(zhǔn)。US 7，156，680B2公開(kāi)了一種插件和設(shè)有該插件的電子部件處理設(shè)備。為了 提供能夠可拆卸地附連至插件本體的導(dǎo)芯和能夠可拆卸地附連有導(dǎo)芯的插件本體，US 7，156, 680B2提供了一種能夠以可拆卸的方式附連至插件本體的導(dǎo)芯，其包括支承部分， 該支承部分能夠支承區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面，以使該區(qū)域陣列型電子部件的外 部端子面裸露于插口的連接端子的方向；鉤接收件，該鉤接收件能夠與設(shè)置于插件本體的 鉤部以可松開(kāi)的方式接合；和插件本體，該插件本體能夠與導(dǎo)芯以可拆卸的方式附連，該插 件本體包括電子部件引導(dǎo)部分，該電子部件引導(dǎo)部分包括附連導(dǎo)芯的導(dǎo)芯附連插口 ；以 及電子部件入口，該電子部件入口與導(dǎo)芯附連插口相連，從而可將電子部件引導(dǎo)至附連于 導(dǎo)芯附連插口的導(dǎo)芯；和鉤部，該鉤部能夠與設(shè)置于導(dǎo)芯的鉤接收件以可松開(kāi)的方式接合。US 5，596，229A公開(kāi)了一種芯片載體結(jié)構(gòu)，其用于容納具有電子接觸墊的芯片載體，該芯片載體結(jié)構(gòu)具有用于芯片載體的定位結(jié)構(gòu)和配置成形成容納所述芯片載體的相配 結(jié)構(gòu)的有槽結(jié)構(gòu)，該有槽結(jié)構(gòu)的槽與芯片載體的間隔件對(duì)準(zhǔn)，以便提供從相配的定位結(jié)構(gòu) 和有槽結(jié)構(gòu)的外部到內(nèi)部的通往間隔件的電氣和機(jī)械接入。

發(fā)明內(nèi)容
需要一種能夠以有效的方式調(diào)準(zhǔn)電子部件的系統(tǒng)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，提供了一種用于調(diào)準(zhǔn)電子部件的調(diào)準(zhǔn)夾具、一種包括多個(gè)調(diào) 準(zhǔn)夾具的載體、以及一種使用載體的方法。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，提供了一種用于調(diào)準(zhǔn)電子部件的調(diào)準(zhǔn)夾具，其中， 該調(diào)準(zhǔn)夾具包括接收器(其可指代用以接收和容納某物的裝置)，該接收器適于(具體來(lái) 說(shuō)是用于)接收電子部件，該接收器具有第一鄰接(具體來(lái)說(shuō)是接觸)部(具體來(lái)說(shuō)是部 分)和第二鄰接(具體來(lái)說(shuō)是接觸)部(具體來(lái)說(shuō)是部分)；和彈性(具體來(lái)說(shuō)是可伸縮 的、回彈性的或有彈力的)單元(具體來(lái)說(shuō)是用來(lái)執(zhí)行一種特定功能的一件設(shè)備或一組設(shè) 備)。第一鄰接部和第二鄰接部中的一個(gè)經(jīng)由彈性單元以可伸縮的方式安裝，而第一鄰接部 和第二鄰接部中的另一個(gè)固定地(具體來(lái)說(shuō)是牢固地或穩(wěn)固地)安裝。第一鄰接部和第二 鄰接部分別形成為剛性的(具體來(lái)說(shuō)是非彈性的、不可彎曲的、剛性的、不易彎曲的或不易 伸縮的)構(gòu)件并適于接合(具體來(lái)說(shuō)是接觸)電子部件，彈性單元適于在第一鄰接部和第 二鄰接部中的一個(gè)鄰接部上施加(具體來(lái)說(shuō)是應(yīng)用)相對(duì)于彼此成角度的(具體來(lái)說(shuō)是圍 成不同于零度的在公差范圍之外的角度的)兩個(gè)分力。根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施方式，提供一種用于調(diào)準(zhǔn)多個(gè)電子部件的載體，其 中該載體包括多個(gè)具有上述特征的調(diào)準(zhǔn)夾具。根據(jù)本發(fā)明的再一示例性實(shí)施方式，提供了一種使用具有上述特征的載體的方 法，其中，該方法包括-致動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)以在所述接收器中露出大于待接收的所述電子部件(具體來(lái)說(shuō)是 模制件)的開(kāi)口；-將所述電子部件定位(具體來(lái)說(shuō)是放置)在所述接收器中的所述開(kāi)口中(具體 來(lái)說(shuō)是在露出開(kāi)口之后)；-致動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)以縮小所述開(kāi)口的尺寸，使得在所述載體的所述接收器內(nèi)調(diào) 準(zhǔn)所述電子部件(具體來(lái)說(shuō)是在定位之后)。術(shù)語(yǔ)“調(diào)準(zhǔn)夾具”可具體指代用于在加工或處理過(guò)程中支承實(shí)體結(jié)構(gòu)的裝置?！皩?shí) 體結(jié)構(gòu)”在本文中可具體指代在加工或處理的過(guò)程中在任一階段對(duì)其進(jìn)行操作的材料、材 料塊或電子部件。術(shù)語(yǔ)“調(diào)準(zhǔn)”可具體表示將某物進(jìn)行排列或校直。例如，可將電子部件與固定的鄰 接部調(diào)準(zhǔn)。術(shù)語(yǔ)“電子部件”可具體表示適于被安裝在諸如印刷電路板之類的電子支承基片 上的任意部件。這種電子部件還可通過(guò)通常稱之為“處理機(jī)”的處理機(jī)器進(jìn)行處理。電子 部件的示例是電子芯片，即封裝的印模(die)或裸露的未封裝印模。術(shù)語(yǔ)“接收器”可具體指代用以接收和容納某物的裝置，或者更為具體地指代用于 電子部件的容器。
術(shù)語(yǔ)“鄰接部”可具體表示接觸節(jié)段，即接收器的直接鄰接電子部件的部分。術(shù)語(yǔ)“彈性單元適于施加兩個(gè)成角度的分力”可具體表示可將力分解成作用在表 面上的兩個(gè)成直角的分力。由彈性單元施加的傾斜的力可作用在第一鄰接部和第二鄰接 部中的至少一個(gè)上，以便將兩個(gè)彼此成角度的分力施加在這些鄰接部中的至少一個(gè)上。兩 個(gè)成角度的分力可由通過(guò)彈性單元施加的傾斜力所導(dǎo)致。本文中的“傾斜”力可表示力并 不平行于表面，即不平行于第一鄰接部和第二鄰接部，而是與該表面成一角度，該角度至少 以0.5°、1°、2°、4°、8°或16°這樣的一個(gè)角度偏離平行方向。該角度可大于10°，具 體來(lái)說(shuō)是大于30°，更具體地說(shuō)是大于45°。傾斜力可表示為成角度的。在一種實(shí)施方式 中，該力可以相對(duì)于成直角的鄰接區(qū)域的內(nèi)角成45°的角度被引導(dǎo)到至少一個(gè)成直角的鄰 接部上。該傾斜力可由沿對(duì)角施加的力來(lái)表示。術(shù)語(yǔ)“載體”可具體表示一種用于承載的容器或一種承載裝置。載體可以是條狀 構(gòu)件，其適于將多個(gè)電子部件承載在載體的接收器中。這種載體可結(jié)合處理機(jī)使用，從而允 許利用載體來(lái)處理電子裝置，以便隨后實(shí)施對(duì)電子部件的測(cè)試(例如功能測(cè)試)。術(shù)語(yǔ)“夾持”可具體表示將載體設(shè)計(jì)成可使部件合攏從而保持或壓緊電子部件?？?以合攏到一起的部件可以是第一鄰接部和第二鄰接部。該夾持可以是彈性的。術(shù)語(yǔ)“彈性 的”可具體表示可施加具體為可伸縮的、回彈性的力或彈簧力，諸如胡克力。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，可提供一種調(diào)準(zhǔn)夾具，該調(diào)準(zhǔn)夾具將電子部件以 自作用的方式在接收器中調(diào)準(zhǔn)。諸如對(duì)角作用力(其與例如矩形電子裝置有關(guān))的傾斜力 可對(duì)第一鄰接部和第二鄰接部中的至少一個(gè)施加兩個(gè)成角度的分力。該可以是傾斜的或成 角度的力可從該鄰接部(被以可伸縮方式安裝在彈性單元上)經(jīng)由電子部件傳遞至被固定 安裝的鄰接部。在一種實(shí)施方式中，該傾斜力可在不平行的方向上作用于電子部件的每個(gè) 側(cè)面部分。通過(guò)提供由彈性單元施加的兩個(gè)成角度的分力，電子部件可通過(guò)第一鄰接部和 第二鄰接部被完全調(diào)準(zhǔn)而無(wú)需電子部件在接收器內(nèi)的其它側(cè)向鄰接。因?yàn)閮H一個(gè)彈性單元 和兩個(gè)鄰接部分就足以調(diào)準(zhǔn)電子部件，所以這會(huì)是有利的。調(diào)準(zhǔn)夾具的設(shè)計(jì)和制造過(guò)程可 以是經(jīng)濟(jì)有效的。由于僅使用一個(gè)彈性單元，因此當(dāng)通過(guò)鄰接部之一的兩個(gè)成角度的側(cè)面 部分來(lái)接合電子部件時(shí)對(duì)電子部件的調(diào)準(zhǔn)會(huì)很可靠。一個(gè)彈性單元的方位可限定傾斜力的 方向和兩個(gè)成角度分力的方向和大小。傾斜力可以相對(duì)于電子部件的側(cè)面部分是傾斜的或 者是成角度的。第一鄰接部的方向和第二鄰接部的方向可被限定為分別平行于電子部件的 側(cè)面部分的定向。在一種實(shí)施方式中，可提供用于調(diào)準(zhǔn)多個(gè)部件的載體，其中，該載體包括多個(gè)調(diào)準(zhǔn) 夾具。這多個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具可被設(shè)置成矩陣的形式(即成行和列設(shè)置)并且可固定地安裝在一 起以形成載體。該載體可具有與單個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具相似的特性，但是可應(yīng)用于多個(gè)電子部件上， 即，可同時(shí)承載多個(gè)電子部件。可通過(guò)載體的調(diào)準(zhǔn)夾具在接收器中以限定的方式調(diào)準(zhǔn)電子 部件。由此，該載體適于允許調(diào)準(zhǔn)多個(gè)電子部件。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，可提供一種使用該載體的方法，其中，可將電子部 件放置在載體的暫時(shí)擴(kuò)大的接收器中，之后可通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)將電子部件以彈性方式夾持在 尺寸縮小的接收器并在其中調(diào)準(zhǔn)該電子部件。接收器的擴(kuò)大尺寸到夾持尺寸的轉(zhuǎn)變能夠以 自作用的方式發(fā)生。在下文中，將描述調(diào)準(zhǔn)夾具的其它示例性實(shí)施方式。但是，這些實(shí)施方式同樣適用
6于所述載體和所述方法。調(diào)準(zhǔn)夾具可包括形成于第一鄰接部處的可致動(dòng)結(jié)構(gòu)，其中該可致動(dòng)結(jié)構(gòu)可由對(duì)應(yīng) 的致動(dòng)結(jié)構(gòu)(處理裝置等)致動(dòng)，以便操縱接收器?？芍聞?dòng)結(jié)構(gòu)可以是例如凹部、突起等，其 可由通過(guò)致動(dòng)結(jié)構(gòu)控制的任意適當(dāng)?shù)氖┝C(jī)制(例如施加機(jī)械力、電力、磁力等)來(lái)致動(dòng)。 致動(dòng)結(jié)構(gòu)可以被對(duì)應(yīng)地構(gòu)造(例如形狀和/或尺寸確定)成可致動(dòng)結(jié)構(gòu)，并且可以例如是 突起或任意其它施力元件，它們可通過(guò)任意適合的施力機(jī)制(例如施加機(jī)械力、電力、磁力 等)來(lái)致動(dòng)該可致動(dòng)結(jié)構(gòu)，從而以預(yù)期的方式來(lái)控制該接收器(例如用于暫時(shí)擴(kuò)大或縮小 接收器的開(kāi)口)?？芍聞?dòng)結(jié)構(gòu)(具體地，可致動(dòng)孔、可致動(dòng)銷(xiāo)或可致動(dòng)臂)可適于被致動(dòng)，進(jìn)而致動(dòng) 彈性單元?？芍聞?dòng)結(jié)構(gòu)可被設(shè)置在接收器的旁邊(具體來(lái)說(shuō)是設(shè)置在接收器的邊界區(qū)域的 旁邊)?？芍聞?dòng)結(jié)構(gòu)和第一鄰接部可形成剛性構(gòu)件?？梢詮膶⒁邮针娮硬考囊粋?cè)觸及 (由通過(guò)處理機(jī)的控制器控制的致動(dòng)元件)可致動(dòng)結(jié)構(gòu)。第一鄰接部和第二鄰接部中的至少一個(gè)可適于以形式鎖合(具體來(lái)說(shuō)是緊扣)的 方式接合電子部件的兩個(gè)成角度的側(cè)面部分。電子部件可以是半導(dǎo)體部件并可呈帶有六個(gè) 不同表面的基本上立方體的形狀。兩個(gè)相對(duì)的主表面——通常稱之為記號(hào)側(cè)和平行的接觸 側(cè)——可代表半導(dǎo)體部件的主平面，這是由于通常記號(hào)側(cè)和接觸側(cè)的面積大于半導(dǎo)體部件 的其它四個(gè)側(cè)面部分的面積。由此，電子部件的由電子部件的側(cè)面部分的高度所限定的高 度可小于主表面兩側(cè)的長(zhǎng)度?？蛇m用三種布置第一，電子部件能夠以其一個(gè)第一側(cè)面部分的一部分鄰接經(jīng)由 彈性單元以形式鎖合的方式安裝的鄰接部，并能夠以其第二側(cè)面部分中的另外一部分鄰接 經(jīng)由彈性單元以形式鎖合的方式安裝的鄰接部。電子部件能夠以其一個(gè)其余的側(cè)面部分或 拐角區(qū)域鄰接以固定方式安裝的鄰接部。電子部件可通過(guò)一個(gè)側(cè)面部分對(duì)準(zhǔn)固定安裝的鄰 接部。第二，電子部件能夠以其一個(gè)第一側(cè)面部分的一部分或拐角區(qū)域鄰接經(jīng)由彈性單元 安裝的鄰接部，并能夠以其兩個(gè)成角度的其余的側(cè)面部分鄰接以形式鎖合的方式固定安裝 的鄰接部。電子部件能夠以兩個(gè)側(cè)面部分對(duì)準(zhǔn)固定安裝的鄰接部。第三，電子部件能夠以 其一個(gè)第一側(cè)面部分的一個(gè)部分鄰接經(jīng)由彈性單元安裝的鄰接部，并以其第二側(cè)面部分中 的另外一部分鄰接經(jīng)由彈性單元安裝的鄰接部。電子部件還能夠以其一個(gè)第三側(cè)面部分和 剩余的第四側(cè)面部分鄰接固定安裝的鄰接部。電子部件可通過(guò)兩個(gè)側(cè)面部分對(duì)準(zhǔn)固定安裝 的鄰接部。根據(jù)所述第一、第二和第三實(shí)施方式，可以完全限定出電子部件在其主平面中的 位置。第一鄰接部可適于在電子部件上施加第一力，并且第二鄰接部可適于在電子部件 上施加第二力，其中，第一力和第二力可至少部分地彼此相對(duì)(具體來(lái)說(shuō)是彼此相對(duì)地、即 以逆平行的方式施加)?？稍谡{(diào)準(zhǔn)夾具的接收器中調(diào)準(zhǔn)電子部件。第一鄰接部和第二鄰接 部鄰接電子部件的側(cè)面部分。根據(jù)所施加的力，在施加在電子部件上的力至少不是指向一 個(gè)方向的情況下，可安置并調(diào)準(zhǔn)電子部件。當(dāng)通過(guò)第一鄰接部和第二鄰接部施加在電子部 件上的兩個(gè)力至少部分地相對(duì)時(shí)，由于包含摩擦力，所以可安置電子部件。可調(diào)整第一鄰接部和第二鄰接部，使得將第一力施加在接收器的主平面中(即力 矢量可位于主平面內(nèi))并且以平行于該接收器的主平面的方式施加第二力。接收器的主平 面可通過(guò)平行于調(diào)準(zhǔn)夾具的主平面來(lái)限定。在由第一鄰接部和第二鄰接部施加的力被施加在一個(gè)平面中的情況下，可以適當(dāng)?shù)姆绞秸{(diào)準(zhǔn)電子部件。第一鄰接部和第二鄰接部可鄰接 電子部件的側(cè)面部分。通過(guò)將第一力和第二力都施加在接收器的主平面中，作用在電子部 件上的合力不會(huì)產(chǎn)生傾向于使電子部件翻出接收器外的轉(zhuǎn)矩。通過(guò)平行于接收器的主平面 的力，可在接收器中穩(wěn)固地調(diào)準(zhǔn)電子部件。接收器可進(jìn)一步包括底座支承部，其形成為平行于接收器主平面的支承表面(具
體來(lái)說(shuō)是用以通過(guò)充當(dāng)基座而將某物支承在適當(dāng)?shù)奈恢?。由底座支承部施加的支承力可
作用在電子部件的主平面上，具體來(lái)說(shuō)可以是逆平行于重力的。電子部件可設(shè)置在接收器
中，使得接收器的主平面與電子部件的主平面是平行的。作用于電子部件的底座支承部可
平行于接收器的主平面，從而通過(guò)底座支承部的支承在接收器的主平面中調(diào)準(zhǔn)電子部件。
將電子部件支承在接收器的主平面中的優(yōu)點(diǎn)可以是，電子部件上的載荷可以被分散在電子
部件的主平面的不同部分上，并且第一鄰接部的第一力和第二鄰接部的第二力可以平行于
底座支承部施加。由此，第一力的定向與第二力的定向可防止底座支承部上的電子部件破 m農(nóng)。底座支承部可適于施加垂直于第一力和第二力的(具體來(lái)說(shuō)是豎直的)支承力。 由底座支承部施加的支承力可適于以與其主平面成直角的方式調(diào)準(zhǔn)電子部件。支承力垂直 于由第一鄰接部和第二鄰接部所施加的力的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)可以是不會(huì)對(duì)電子部件施加轉(zhuǎn)矩。由 此，電子部件可相對(duì)于其主平面保持在調(diào)準(zhǔn)位置中。第一鄰接部和第二鄰接部中的以可伸縮的方式安裝的一個(gè)鄰接部可適于進(jìn)行平 行于接收器主平面的移動(dòng)。平行于接收器主平面施加由以可伸縮方式安裝的鄰接部所施加 的力。用以調(diào)準(zhǔn)電子部件的力可由彈性單元提供，并且彈性單元可通過(guò)其自身在接收器主 平面中的自作用移動(dòng)而在接收器的主平面中移動(dòng)該以可伸縮方式安裝的鄰接部和電子部 件。由此，可將彈性單元的力在一定平面中施加在電子部件上，在該平面中電子部件明顯結(jié) 實(shí)或穩(wěn)定。調(diào)準(zhǔn)夾具可包括底座支承板，彈性單元設(shè)置在該底座支承板上方，其中彈性單元 可適于進(jìn)行平行于至少部分地由底座支承板支承的接收器的主平面的移動(dòng)。在一種實(shí)施方 式中，底座支承板和彈性單元可平行于接收器的主平面并平行于整個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具的主平面設(shè) 置。彈性單元可設(shè)置在該底座支承板上，并且彈性單元可沿底座支承板移動(dòng)。至少在一個(gè) 方向上(其可以是朝底座支承板定向的方向)，可將彈性單元緊固住以免產(chǎn)生不希望的變 形。底座支承板可以是平面的或者可以具有一個(gè)或多個(gè)適于引導(dǎo)彈性單元的移動(dòng)的凹部。特別地，調(diào)準(zhǔn)夾具包括設(shè)置在彈性單元下方的底座支承板，其中，該彈性單元適于 進(jìn)行平行于至少部分地由底座支承板支承的接收器的主平面的移動(dòng)。調(diào)準(zhǔn)夾具可包括其間設(shè)有彈性單元的底座支承板和接收板。彈性單元可適于進(jìn)行 平行于接收器的主平面并至少部分由底座支承板和接收板引導(dǎo)(具體來(lái)說(shuō)是為某物的移 動(dòng)導(dǎo)向)的移動(dòng)。該接收板可特別地具有凹部(或接收開(kāi)口)，電子部件可通過(guò)插入穿過(guò)該 凹部而經(jīng)由該凹部接收在接收器中。在一種實(shí)施方式中，底座支承板、接收板和彈性單元可 平行于接收器的主平面并平行于整個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具的主平面設(shè)置。彈性單元可在其所設(shè)置的底 座支承板與接收板之間移動(dòng)。彈性單元可以抵抗在兩個(gè)方向上的變形的方式被緊固住。彈 性單元可被緊固住的兩個(gè)方向可以是朝底座支承板定向的方向和朝接收板定向的方向。底 座支承板和接收板可以是平面的或可以具有適于引導(dǎo)彈性單元移動(dòng)的凹部。
調(diào)準(zhǔn)夾具可進(jìn)一步包括適于調(diào)整厚度的至少一個(gè)距離調(diào)整板。出于距離調(diào)整的目 的，調(diào)準(zhǔn)夾具可包括甚至超過(guò)三個(gè)板。特別地，至少一個(gè)厚度調(diào)整板適于調(diào)整調(diào)準(zhǔn)夾具的厚度。彈性單元可包括彈簧元件(具體地，橡膠構(gòu)件、任意種類的彈性材料構(gòu)件、由鋼簧 板形成的彈簧、由彈簧鋼絲形成的彈簧或諸如板簧、盤(pán)簧、片簧等的任意種類的彈簧)。彈簧 元件可由板成整體地形成。彈簧元件可表現(xiàn)出相較于彈性單元類似的特性，其中，該彈性單 元可由若干部分形成。彈簧元件可表現(xiàn)出抵抗變形的彈性回復(fù)效力，即胡克性質(zhì)。彈性單元可包括第一彈簧元件和第二彈簧元件，其中，第一鄰接部和第二鄰接部 中的以可伸縮方式安裝的一個(gè)鄰接部與第一彈簧元件和第二彈簧元件相連。在一種實(shí)施方 式中，第一彈簧元件和第二彈簧元件相對(duì)于彼此成角度地設(shè)置。根據(jù)彈簧元件的形式、材料 和尺寸，將兩個(gè)彈簧元件結(jié)合于彈性單元會(huì)是有利的。多于兩個(gè)彈簧元件也可形成彈性單 元。通過(guò)將兩個(gè)或更多個(gè)彈簧元件結(jié)合于彈性單元，可以調(diào)整由彈性單元施加的力的方向 和絕對(duì)值。在一種實(shí)施方式中，第一彈簧元件和第二彈簧元件相對(duì)于彼此成角度設(shè)置。彈性單元可以是單獨(dú)的彈性構(gòu)件，其適于安裝在彈性單元接收部。彈性單元接收 部可由其中一塊板形成，并可適于接收單獨(dú)的彈性構(gòu)件。為了提高調(diào)準(zhǔn)夾具的適應(yīng)性，彈性 單元可以是單獨(dú)的彈性構(gòu)件。一個(gè)彈性單元板或任意其它適合的板可適于接收不同類型的 彈性構(gòu)件，為此，可需要較少的板以使調(diào)準(zhǔn)夾具適合不同尺寸的電子部件。能夠僅改變接收 器的相應(yīng)尺寸、彈性單元接收部的位置或僅改變待被插入的彈性構(gòu)件的尺寸從而調(diào)整調(diào)準(zhǔn) 夾具以適合于不同的電子部件類型。通過(guò)使改變調(diào)準(zhǔn)夾具更為方便，能夠以可拆卸的方式 安裝單獨(dú)的彈性構(gòu)件。特別地，彈性單元是適于安裝在調(diào)準(zhǔn)夾具的彈性單元接收部處的單獨(dú)的彈性構(gòu) 件。彈性單元接收部可適于將彈性單元固定在彈性單元的懸架(具體來(lái)說(shuō)是緊固件 或固定件)處，從而將彈性單元固定住以防旋轉(zhuǎn)。否則彈性構(gòu)件可能無(wú)法在預(yù)定的方向上 施加力。如果彈性單元是不能旋轉(zhuǎn)的，則力的方向和大小不會(huì)發(fā)生變化。由于半導(dǎo)體制造 的微型化導(dǎo)致半導(dǎo)體裝置的尺寸較小，因此需要非常精確地調(diào)準(zhǔn)半導(dǎo)體裝置。這樣，由于可 限定力的方向和大小，所以防止接收在其懸架中的彈性構(gòu)件旋轉(zhuǎn)是有利的。特別地，彈性單元接收部適于將彈性單元固定于彈性單元的懸架處，從而將彈性 單元固定以防旋轉(zhuǎn)。彈性單元可以形式鎖合的方式固定地安裝。彈性單元接收部可適于將彈性單元固 定在彈性單元的懸架中，其中，彈性單元通過(guò)有效鎖合(positive locking)而以固定方式 安裝?？赏ㄟ^(guò)以形式鎖合的方式固定安裝彈性單元來(lái)防止單獨(dú)的彈性構(gòu)件滑動(dòng)?？煞乐箯?性單元從調(diào)準(zhǔn)夾具上脫落。通過(guò)以形式鎖合方式安裝彈性單元，可限定由彈性單元施加的 力的方向和大小，并使其保持穩(wěn)定。特別地，將彈性單元以形式鎖合的方式固定安裝于彈性單元接收部處。第一鄰接部、第二鄰接部和底部支承部可界定能夠容置電子部件的電子部件接收 容積。彈性單元的至少一部分可在彈性部件接收容積的底側(cè)下方延伸。通過(guò)將彈性單元設(shè) 置在彈性單元接收容積的下方，可將調(diào)準(zhǔn)夾具所需的空間保持得較小。對(duì)于比一般電子部 件大的電子部件而言，節(jié)省調(diào)準(zhǔn)夾具主平面中的空間是有利的。由于針對(duì)大尺寸電子部件彈性單元的偏移會(huì)較大，因此得出結(jié)論，與將彈性單元僅設(shè)置在電子部件接收容積旁邊的 布置相比，通過(guò)將彈性單元設(shè)置在電子部件接收容積下方可節(jié)省非常大的(例如達(dá)到八倍 的)空間。第一鄰接部和第二鄰接部中以可伸縮方式安裝的一個(gè)鄰接部可從其所安裝的彈 性單元沿向上的方向延伸，并且該以可伸縮方式安裝的鄰接部可在電子部件接收容積的旁 邊延伸。該以可伸縮方式安裝的鄰接部可在電子部件接收容積的旁邊并在電子部件接收容 積的同一高度中延伸，以適于鄰接待被接收的電子部件。以可伸縮方式安裝的鄰接部可從 在電子部件接收部的下方延伸的彈性單元處向上并從電子部件接收部旁邊(即，外側(cè))延 伸至電子部件接收部，并且以可伸縮方式安裝的鄰接部可適于鄰接接收在接收器中的電子 部件。第一鄰接部和第二鄰接部可適于將電子部件夾持在它們之間的空間中。調(diào)準(zhǔn)夾具可進(jìn)一步包括框架，具體來(lái)說(shuō)是以可滑動(dòng)方式安裝的框架，其中，第一鄰 接部和彈性單元安裝在以可滑動(dòng)方式安裝的框架上。這種框架可以是例如由比如四桿或棒 所形成的矩形結(jié)構(gòu)。第一鄰接部和彈性單元可被安裝在由這些桿或棒所界定的區(qū)域內(nèi)?？?架又可以或可以不以固定或可伸縮的方式安裝在諸如板的外部支承框架上。在一種實(shí)施方 式中，以可滑動(dòng)方式安裝的框架可包括調(diào)整單元，以允許對(duì)接收器的調(diào)準(zhǔn)性能進(jìn)行微調(diào)。第 一鄰接部和第二鄰接部可接合電子部件并可通過(guò)第一鄰接部以平行于接收器主平面的方 式調(diào)準(zhǔn)電子部件。而且，可將第一鄰接部和其上安裝有第二鄰接部的彈性單元都安裝在以 可滑動(dòng)方式安裝在接收器主平面中的框架上。通過(guò)為以可滑動(dòng)方式安裝的框架設(shè)置調(diào)整單 元，能夠允許對(duì)調(diào)準(zhǔn)夾具中的接收器和接收在該接收器中的電子部件進(jìn)行微調(diào)?？山?jīng)由至 少一個(gè)另外的彈性單元彈性地安裝以可滑動(dòng)方式安裝的框架。由第一鄰接部、第二鄰接部、彈性單元、底座支承部和以可滑動(dòng)方式安裝的框架所 構(gòu)成的組中的至少一個(gè)可以至少部分地由板成整體形成。通過(guò)采用諸如蝕刻技術(shù)或激光技 術(shù)之類的設(shè)計(jì)技術(shù)由板制造至少一個(gè)功能元件是很方便的。這些技術(shù)可最佳地適于將它們 施加在例如金屬板之類的薄板上。通過(guò)蝕刻或激光切割，可實(shí)現(xiàn)被制造的結(jié)構(gòu)具有高精度。由第一鄰接部、第二鄰接部、彈性單元、底座支承部和以可滑動(dòng)方式安裝的框架所 構(gòu)成的組中的至少兩個(gè)可以至少部分地由一個(gè)板成整體形成。由一個(gè)板成整體地形成其中 至少一個(gè)功能元件的優(yōu)點(diǎn)同樣適用于由一個(gè)板形成兩個(gè)乃至更多個(gè)功能元件。利用一個(gè)板 制造盡可能多的功能元件是更為方便的。具體來(lái)說(shuō)，安裝在彈性單元上的鄰接部和彈性單 元可以由一個(gè)板來(lái)形成。此外，第一鄰接部可由一塊板成整體地形成。另外，以可滑動(dòng)方式 安裝的框架和所述至少一個(gè)另外的彈性單元可由一個(gè)板成整體地制造。由此，第一鄰接部、 第二鄰接部、彈性單元、以可滑動(dòng)方式安裝的框架和所述至少一個(gè)另外的彈性單元可由一 塊板成整體地形成。當(dāng)適當(dāng)調(diào)整板的形式時(shí)，甚至還可由同樣一個(gè)板來(lái)形成底座支承部。彈性單元可適于將兩個(gè)分力施加在第一鄰接部和第二鄰接部中的一個(gè)上，以使該 鄰接部可將兩個(gè)成角度的分力施加在電子部件上。彈性單元將兩個(gè)分力施加在兩個(gè)鄰接部 中的一個(gè)上，其中，相應(yīng)的鄰接部適于以該鄰接部將兩個(gè)成角度的分力施加在電子部件上 的方式來(lái)傳遞這兩個(gè)分力。電子部件的兩個(gè)成角度的側(cè)面可接觸一個(gè)鄰接部，該鄰接部施 加兩個(gè)成角度的力，以便能夠通過(guò)僅作用在電子部件的至少一個(gè)另外的側(cè)面或另外一個(gè)拐 角區(qū)域上的另一任意的鄰接部而在接收器內(nèi)調(diào)準(zhǔn)電子部件。在下文中，將描述載體的另一示例性實(shí)施方式。但是，這些實(shí)施方式同樣適用于所述調(diào)準(zhǔn)夾具并適用于所述方法。該用于調(diào)準(zhǔn)多個(gè)電子部件的載體可設(shè)置由多個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具。在一種實(shí)施方式中，多 個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具可基于共用基板(其可由一個(gè)或多個(gè)板構(gòu)成)而被成整體地形成。每個(gè)接收器可被指定有至少一個(gè)彈性單元?？捎幸粋€(gè)或多個(gè)彈性單元被指定給一 個(gè)接收器。通過(guò)將至少一個(gè)彈性單元指定給一個(gè)接收器，就有獨(dú)立于另一電子部件調(diào)準(zhǔn)一 個(gè)電子部件的方法。這會(huì)是有利的，因?yàn)榻邮蘸驼{(diào)準(zhǔn)一個(gè)第一電子部件并不影響接收和調(diào) 準(zhǔn)另一第二電子部件。可將至少一個(gè)彈性單元指定給多個(gè)接收器。彈性單元可包括不止一個(gè)彈性部，并 可被設(shè)置成將兩個(gè)鄰接部安裝在一個(gè)彈性部中的相對(duì)側(cè)上。甚至是三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或者更 多個(gè)接收器可共享一個(gè)彈性單元。而且，為一個(gè)彈性單元提供一個(gè)以上的彈性部可以節(jié)約 成本且節(jié)約空間。為彈性單元板設(shè)置分別與存在的接收器或電子部件一樣多的彈性單元和 彈性部是適當(dāng)?shù)摹］d體可以設(shè)有包括彈性單元的第一板和包括第二鄰接部的第二板，其中，該第一 板相對(duì)于第二板以可滑動(dòng)方式設(shè)置，并且第一板適于允許多個(gè)第一鄰接部相對(duì)于第二鄰接 部彼此重新定位。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，載體可包括多個(gè)接收器，每個(gè)接收器接收 多個(gè)電子部件中指定的一個(gè)電子部件。多個(gè)接收器的尺寸可由第一板的第一鄰接部和第二 板的第二鄰接部界定。第一板的第一鄰接部和第二板的第二鄰接部可位于接收器的相對(duì)側(cè) 上。第一板和第二板可以是能夠沿第一板的主平面和第二板的主平面相對(duì)于彼此移動(dòng)的， 并且當(dāng)?shù)谝话迮c第二板的相對(duì)位置相對(duì)于彼此改變時(shí)，接收器的尺寸可以發(fā)生變化。第一 板和第二板可位于平行于彼此的位置處?？裳貙?duì)角方向改變第一板的位置和第二板的位 置，即可使第一板的拐角區(qū)域和第二板的拐角區(qū)域接近和與之相反地將其拉開(kāi)。第一板和 第二板的移動(dòng)或者第一鄰接部與第二鄰接部的接近或拉開(kāi)可發(fā)生在第一板和第二板的主 平面中。當(dāng)?shù)谝话宓墓战菂^(qū)域與第二板的拐角區(qū)域靠近時(shí)，可將多個(gè)電子部件夾持在多個(gè) 接收器中的多個(gè)第一鄰接部與多個(gè)第二鄰接部之間。在第一板的拐角區(qū)域和第二板的拐角 區(qū)域接近和被拉開(kāi)的同時(shí)接收器的拐角區(qū)域可接近和被拉開(kāi)。第一板可以是彈性單元板，其包括多個(gè)彈性單元，其中每個(gè)接收器分別被指定有 所述多個(gè)彈性單元中的至少一個(gè)彈性單元。每個(gè)第一鄰接部可分別形成在彈性單元上。彈 性單元的目的可以是可允許對(duì)于多個(gè)電子部件的不同尺寸的補(bǔ)償公差。否則由于電子部件 尺寸不同，電子部件可能從接收器脫落或者可能導(dǎo)致未調(diào)準(zhǔn)。彈性單元可具體為允許對(duì)第 一鄰接部的彈性性能進(jìn)行調(diào)整的彈性涂層或橡膠部件。彈性單元還可以是任意彈性的單 元，諸如任意種類的彈簧。在一種實(shí)施方式中，第一板和第二板可以被設(shè)置成相互平行。第 一板可設(shè)置在第二板上并可沿第二板移動(dòng)。至少在可以是朝向第二板的方向的一個(gè)方向 上，可將第一板緊固住以使其不產(chǎn)生所不希望的變形。第二板可以是平面的或者可以具有 適于引導(dǎo)第一板的移動(dòng)的凹部。每個(gè)彈性單元的位置或變形狀態(tài)可決定相應(yīng)的指定接收器的其中一個(gè)邊界。彈性 單元的位置可決定接收器的尺寸，并且彈性單元的變形狀態(tài)也可決定接收器的尺寸。彈性 單元的位置可隨著第一板與第二板相對(duì)于彼此的位置而共同發(fā)生改變。每個(gè)第一鄰接部的 位置可相對(duì)于每個(gè)第二鄰接部而發(fā)生變化。第一板與第二板相對(duì)于彼此的位置的變化可導(dǎo) 致每個(gè)接收器的尺寸以相同的方式共同變化，即接收器的尺寸可共同增大或接收器的尺寸可共同減小。但是，每個(gè)接收器可分別隨著彈性單元的變形狀態(tài)的改變而單獨(dú)地改變其尺 寸。當(dāng)彈性元件進(jìn)入到預(yù)加應(yīng)力的位置中時(shí)，彈性單元的變形狀態(tài)和接收器的尺寸可增大， 并當(dāng)張緊狀態(tài)釋放時(shí)，彈性單元的變形狀態(tài)和接收器的尺寸可減小。第一板和第二板可通過(guò)至少一個(gè)板連接彈性單元彼此彈性地聯(lián)接。通過(guò)至少一個(gè) 板連接彈性單元將第一板與第二板相聯(lián)是有利的。當(dāng)接收器的尺寸共同增加時(shí)，所述至少 一個(gè)板連接彈性單元會(huì)處于張緊狀態(tài)，并且當(dāng)?shù)谝话搴偷诙甯淖兯鼈兊奈恢檬沟媒邮掌?尺寸減小時(shí)，板連接彈性單元的張緊狀態(tài)至少部分地釋放。當(dāng)所述至少一個(gè)板連接彈性單 元的張緊狀態(tài)以自作用的方式釋放時(shí)，可共同減小接收器的尺寸。第二板可包括適于鄰接第一板的第一板鄰接部。第一板可包括適于鄰接第二板的 第二板鄰接部。第二板鄰接部和第一板鄰接部可在第一板鄰接部與第二板鄰接部彼此鄰接 時(shí)限定出接收器的夾持尺寸，其中接收器的夾持尺寸可適于將電子部件夾持在相應(yīng)的接收 器中。接收器的夾持尺寸可由第一板與第二板相對(duì)于彼此的位置來(lái)提供，其中，每個(gè)接收器 可適于夾持相應(yīng)的電子部件。術(shù)語(yǔ)“夾持”可具體表示載體可被設(shè)計(jì)成使部件合攏從而保 持或壓緊電子部件?？梢院蠑n到一起的部件為第一鄰接部和第二鄰接部。板連接彈性元件和所述多個(gè)彈性單元可適于提供用于從接收器的擴(kuò)大尺寸朝接 收器的縮小的夾持尺寸進(jìn)行自作用轉(zhuǎn)變的合力，在該接收器的擴(kuò)大尺寸的狀態(tài)下，電子部 件可以是能夠被接收在接收器中的，在該接收器的縮小的夾持尺寸的狀態(tài)下，可夾持住電 子部件。當(dāng)電子部件進(jìn)入到夾持位置中時(shí)，合力可通過(guò)從由所述至少一個(gè)板連接彈性單元 施加的力中減去由多個(gè)彈性單元施加的力來(lái)限定。所述至少一個(gè)板連接彈性單元施加的力 可大于由多個(gè)彈性單元施加的力。合力可以是正的，并且可提供從接收器的擴(kuò)大尺寸朝接 收器的夾持尺寸的自作用轉(zhuǎn)變，在接收器的夾持尺寸中，第一板的第二板鄰接部和第二板 的第一板鄰接部可彼此鄰接。載體可進(jìn)一步包括形成于第一板處和第二板處的處理結(jié)構(gòu)。該處理結(jié)構(gòu)可適于操 作第一板和第二板以克服板連接彈性元件的力而使以可滑動(dòng)方式設(shè)置的第一板和第二板 朝接收器的擴(kuò)大尺寸相對(duì)地移動(dòng)。載體的處理結(jié)構(gòu)可適于克服通過(guò)從由所述至少一個(gè)板連 接彈性單元的力中減去多個(gè)彈性單元的力所提供的合力而使第一板和第二板相對(duì)移動(dòng)。處 理結(jié)構(gòu)可適于克服該合力而將接收器擴(kuò)大至擴(kuò)大尺寸，在該擴(kuò)大尺寸下，可將電子部件的 本體接收在接收器中。載體可設(shè)有第一板、第二板和第三板，其中，第一板包括彈性單元，并且第二板包 括第二鄰接部，其中，第一板以浮動(dòng)方式設(shè)置在第二板與第三板之間，并且第一板適于允許 多個(gè)第一鄰接部相對(duì)于多個(gè)第二鄰接部相互重新定位。第一板可適于允許經(jīng)由彈性單元以 可伸縮方式安裝的第一鄰接部相互重新定位(具體來(lái)說(shuō)是浮動(dòng))。載體可包括第三板，其 中，第一板可浮動(dòng)地設(shè)置在第二板與第三板之間，其中，該第二板與該第三板可彼此固定安 裝。第一板可以是彈性單元板，并且可適于允許第一鄰接部的互相浮動(dòng)(具體來(lái)說(shuō)是被連 接或構(gòu)造成以便進(jìn)行平穩(wěn)地操作和調(diào)整)。術(shù)語(yǔ)“浮動(dòng)”可具體表示為在沒(méi)有限定的外部控 制的情況下的漂移。特別地，“浮動(dòng)”可表示第一板可在小的或可以忽略的摩擦力的情況下 相對(duì)于第二板和第三板改變其位置。處理結(jié)構(gòu)可適于克服合力使第一板朝接收器的擴(kuò)大尺 寸移動(dòng)。板連接彈性單元可適于使第一板朝接收器的夾持尺寸移動(dòng)。第一板、第二板和第 三板可彼此平行設(shè)置。第一板可設(shè)置在第二板與第三板之間并可沿第二板和第三板移動(dòng)。第一板可被緊固住，以使其不在可以是朝向第二板的方向和朝向第三板的方向的各個(gè)方向 上發(fā)生所不希望的變形。第二板和第二板可以是平面的或者可具有適于引導(dǎo)第一板的移動(dòng) 的凹部。第二板可以是底座支承板，并且可包括底座支承部，其可適于支承電子部件的主 表面。接收器的底座支承部可由第二板形成。指定給相應(yīng)的接收器的底座支承板可延伸至 由一塊板成整體地形成的或由多個(gè)底座支承板構(gòu)成的第二板。第二板的方位可平行于每個(gè) 接收器，并且可平行于每個(gè)底座支承部。由每個(gè)底座支承部施加的支承力可垂直作用在電 子部件的主平面上，并且可以相互平行。第三板可以是接收板，并且可適于至少部分地界定出接收器的接收開(kāi)口。第三板 可覆蓋住第一板?？山?jīng)由第三板將電子部件放入到載體的接收器中。第三板可以由一塊板 成整體地形成或可以由多個(gè)接收板構(gòu)成。第一板或第三板可包括第一鄰接部和第二鄰接部中被固定安裝的那一個(gè)。第一鄰 接部和第二鄰接部可由第一板或第三板形成。當(dāng)被固定安裝的鄰接部由可具體表現(xiàn)為彈性 單元板的第一板形成時(shí)，該鄰接部可與第二鄰接部處于同一高度處。這對(duì)于極薄的電子部 件而言是有利的。當(dāng)被固定安裝的鄰接部由第三板形成時(shí)，可通過(guò)使第一鄰接部與第二鄰 接部相互靠近或者通過(guò)將第一鄰接部與第二鄰接部拉開(kāi)而改變接收器的尺寸。在下文中，將描述所述方法的另一示例性實(shí)施方式。但是，這些實(shí)施方式同樣適用 于所述調(diào)準(zhǔn)夾具并適用于所述載體。該方法可進(jìn)一步包括將載體放置在后加工機(jī)器中，并隨后在電子部件保持處在位 于載體的接收器中的調(diào)準(zhǔn)位置下的同時(shí)使電子部件接受后加工機(jī)器的操作。后加工方法可 具體指代對(duì)電子部件的評(píng)估或測(cè)試的方法。由此，后加工機(jī)器可具體指代用于評(píng)估或測(cè)試 電子部件的機(jī)器。在后加工期間，電子部件會(huì)經(jīng)受不同物理?xiàng)l件的作用，以獲取有關(guān)電子部 件的質(zhì)量的信息。后加工可具體指代通過(guò)使電子部件經(jīng)受所關(guān)注的各種電氣和/或機(jī)械條 件的作用而對(duì)電子部件進(jìn)行質(zhì)量測(cè)試或質(zhì)量評(píng)估。該方法可進(jìn)一步包括通過(guò)僅在電子部件的側(cè)面部分上通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)彈性?shī)A持電 子部件?？蓪㈦娮硬考胖迷谳d體的擴(kuò)大的接收器中，并隨即通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)將電子部件彈 性?shī)A持在夾持尺寸的接收器中并在其中得到調(diào)準(zhǔn)。接收器的擴(kuò)大尺寸至接收器的夾持尺寸 的轉(zhuǎn)變可發(fā)生在接收器的主平面中。接收器的主平面可與載體的主平面、電子部件的主平 面、以及調(diào)準(zhǔn)夾具的主平面相匹配?？蓪⑤d體放置在后加工機(jī)器中。當(dāng)電子部件被夾持在 接收器中并在其中被調(diào)準(zhǔn)時(shí)，電子部件可接受后加工機(jī)器的操作。該方法可進(jìn)一步包括為載體設(shè)置識(shí)別特征或識(shí)別符，用于確切地(具體來(lái)說(shuō)精 確、唯一或明確地)識(shí)別該載體。后加工機(jī)器可形成裝配線。可將載體從一個(gè)后加工機(jī)器輸 送至另一個(gè)后加工機(jī)器。在后加工期間，在工廠中對(duì)每個(gè)載體進(jìn)行的唯一的識(shí)別使得能夠 在工廠中追蹤(具體來(lái)說(shuō)是跟蹤)每個(gè)載體的路線，并且使得能夠追蹤每個(gè)電子部件。由 此，可通過(guò)識(shí)別特征在裝配線中追蹤每個(gè)載體和每個(gè)電子部件。該方法可進(jìn)一步包括為載體設(shè)置用于基準(zhǔn)檢測(cè)的基準(zhǔn)標(biāo)記。視覺(jué)系統(tǒng)與基準(zhǔn)標(biāo)記 或標(biāo)志一起可在后加工機(jī)器中提供對(duì)于載體的位置和方位的檢測(cè)。在需要對(duì)載體進(jìn)行精確 調(diào)準(zhǔn)從而例如標(biāo)記或接觸電子部件的操作過(guò)程中，這會(huì)是有利的。該方法可以包括利用第二鄰接部調(diào)準(zhǔn)電子部件，其中，可通過(guò)安裝有第一鄰接部
13的彈性(具體來(lái)說(shuō)是可伸縮的、回彈性的或有彈力的)單元(具體來(lái)說(shuō)是用以執(zhí)行一個(gè)具 體功能的一件設(shè)備或一組設(shè)備)以自作用的方式施加第一力。每一個(gè)第一鄰接部分別可至 少安裝于其中一個(gè)指定的彈性單元。彈性單元可分別朝第二鄰接部施加第一力。每一個(gè)第 二鄰接部分別被指定給其中一個(gè)第一鄰接部。可通過(guò)第二鄰接部調(diào)準(zhǔn)電子部件。該方法可進(jìn)一步包括將兩個(gè)分力施加在第一鄰接部和第二鄰接部中的至少一個(gè) 上，以使該鄰接部對(duì)電子部件施加兩個(gè)分力。后加工可包括在通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件并通過(guò)操作該載體來(lái)移動(dòng)電子部 件的同時(shí)進(jìn)行激光打標(biāo)。當(dāng)電子部件被夾持在接收器中并在其中被調(diào)準(zhǔn)時(shí)，電子部件可接 受激光打標(biāo)工序。電子部件可具有與接觸側(cè)是否鄰接底座支承部或者記號(hào)側(cè)是否鄰接底座 支承部無(wú)關(guān)的易于觸及的記號(hào)側(cè)。在接觸側(cè)與底座支承部鄰接的情況下，記號(hào)側(cè)暴露于接 收側(cè)，并且可在不存在任何限制的情況下接受激光打標(biāo)。在記號(hào)側(cè)與底座支承部鄰接的情 況下，接收器的底座支承部可在它們的中央具有進(jìn)入開(kāi)口，該進(jìn)入開(kāi)口僅延伸到遠(yuǎn)至電子 部件的邊緣區(qū)域仍舊與底座支承部鄰接。后加工可包括當(dāng)通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件并通過(guò)操作該載體來(lái)移動(dòng)電子部 件時(shí)的老化測(cè)試。在老化測(cè)試中，電子部件、特別是半導(dǎo)體裝置可受熱預(yù)定的時(shí)間間隔(例 如經(jīng)受高達(dá)200°C的溫度持續(xù)不足一小時(shí)到長(zhǎng)達(dá)數(shù)小時(shí))。在老化測(cè)試期間，電子部件可通 過(guò)電流饋電另外接受功率測(cè)試，和/或電子部件可接受電子測(cè)試，用于測(cè)試電子部件的電 子質(zhì)量。通過(guò)由諸如金屬、熱固性塑料或樹(shù)脂之類的耐溫材料制成載體，該載體可適于耐受 尚溫。后加工可包括當(dāng)通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件并通過(guò)操作該載體來(lái)移動(dòng)電子部 件時(shí)的烘烤過(guò)程。該烘烤過(guò)程可以是一種使電子部件在不存在任何電氣測(cè)試或電力負(fù)載的 情況下受熱預(yù)定的時(shí)間間隔(例如經(jīng)受高達(dá)200°C的溫度不足一小時(shí)到長(zhǎng)達(dá)數(shù)小時(shí))的過(guò) 程。利用耐溫材料形成載體可使得該載體能夠耐受烘烤過(guò)程，其中，電子部件在高溫下持續(xù) 約一個(gè)小時(shí)。烘烤過(guò)程可用于降低電子部件上的電力負(fù)載，以便進(jìn)一步繼續(xù)進(jìn)行最終測(cè)試。后加工可包括當(dāng)通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件并通過(guò)操作該載體來(lái)移動(dòng)電子部 件時(shí)在處理機(jī)上的最終測(cè)試。具有多種實(shí)施方式的最終測(cè)試可以是在組裝電子部件前執(zhí)行 的測(cè)試。對(duì)諸如半導(dǎo)體裝置之類的電子部件的最終測(cè)試可以是電子功能測(cè)試，并且可包括 各種物理測(cè)試條件，例如多種溫度、壓力、加速度和傾角的任意組合。由于載體由耐受機(jī)械 應(yīng)力和溫度應(yīng)力的一種或多種材料制成，因此，載體可適于在這些變化條件下調(diào)準(zhǔn)電子部 件，并且可適于允許接觸電子部件的觸點(diǎn)。在一種實(shí)施方式中，后加工并不包括或者沒(méi)有在通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件并 通過(guò)操作該載體來(lái)移動(dòng)電子部件時(shí)在處理機(jī)上進(jìn)行的最終測(cè)試。在激光打標(biāo)、老化或烘烤 測(cè)試后，可緊接著在電子部件上進(jìn)行選擇性打標(biāo)。后加工可包括在通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件并通過(guò)操作該載體來(lái)移動(dòng)電子部 件時(shí)的選擇性打標(biāo)。參照對(duì)于激光打標(biāo)進(jìn)行的說(shuō)明，其對(duì)于例如激光打標(biāo)之類的選擇性打 標(biāo)同樣適用電子部件可具有與接觸側(cè)是否鄰接底座支承部或者記號(hào)側(cè)是否鄰接底座支 承部無(wú)關(guān)的易于觸及的記號(hào)側(cè)，在接觸側(cè)與底座支承部鄰接的情況下，記號(hào)側(cè)暴露于接收 側(cè)，并且可在不存在任何限制的情況下接受激光打標(biāo)。在記號(hào)側(cè)與底座支承部鄰接的情 況下，接收器的底座支承部可在它們的中央具有開(kāi)口，該開(kāi)口延伸到遠(yuǎn)至電子部件的邊緣區(qū)域與底座支承部鄰接。在選擇性打標(biāo)后，放置在載體中的電子部件可選擇性地標(biāo)記出 " + (positive) ”、選擇性地標(biāo)記出“-(negative) ”或可全部標(biāo)記“ + ”或者“_”。也可以是其 它類別(不同于“ + ”或“_”)。選擇性打標(biāo)還可包括指出電子部件的質(zhì)量特征的標(biāo)記，例如 表示用以操作半導(dǎo)體裝置的最大頻率的標(biāo)記。可在無(wú)需將電子部件從載體上移除的情況下執(zhí)行由激光打標(biāo)、老化測(cè)試、烘烤、最 終測(cè)試和選擇性打標(biāo)構(gòu)成的群組中的至少兩個(gè)。換言之，可在電子部件在載體中保持調(diào)準(zhǔn) 的同時(shí)執(zhí)行這些或其它工序中的多個(gè)工序。該載體可適于耐受多種物理?xiàng)l件，并可在整個(gè) 或部分后加工中自始至終精確調(diào)準(zhǔn)電子部件。由此，可在整個(gè)后加工或部分后加工期間，將 電子部件保持在載體中并在其中將其調(diào)準(zhǔn)。在后加工之后，可在通過(guò)載體保持和調(diào)準(zhǔn)電子部件的同時(shí)，通過(guò)將載體從后加工 機(jī)器上移除而將電子部件從后加工機(jī)器中移除。本發(fā)明的上述方面和其它方面通過(guò)在下文中將要進(jìn)行描述的實(shí)施方式的示例而 變得顯而易見(jiàn)，并且參照實(shí)施方式的這些示例對(duì)本發(fā)明的上述方面和其它方面進(jìn)行了說(shuō) 明。下面將參照實(shí)施方式的示例更為詳細(xì)地描述本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限于這些實(shí) 施方式的示例。


圖1至圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的不同的調(diào)準(zhǔn)夾具。圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的細(xì)節(jié)圖，并且圖6示出了根據(jù) 本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的概覽圖。圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的分解圖。圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的概覽圖。圖9示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的細(xì)節(jié)圖，并且圖10示出了根據(jù) 本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的概覽圖。圖11示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的細(xì)節(jié)圖，并且圖12示出了根 據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的概覽圖。圖13示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的細(xì)節(jié)圖，并且圖14示出了根 據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的概覽圖。圖15示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的細(xì)節(jié)圖，并且圖16示出了根 據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載體的概覽圖。圖17和圖18示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的載體的細(xì)節(jié)圖。
具體實(shí)施例方式圖中所示是示意性的。在不同的圖中，相似或相同的元件設(shè)有相同的附圖標(biāo)記。圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的調(diào)準(zhǔn)夾具10的示意圖，其處于完全接 合電子部件1之前的操作狀態(tài)中。調(diào)準(zhǔn)夾具10適于調(diào)準(zhǔn)電子部件1，并包括適于在其中接收電子部件1的接收器。 該接收器具有第一鄰接部32、34和第二鄰接部52、54，如將在下面更為詳細(xì)地說(shuō)明的那樣。調(diào)準(zhǔn)夾具10還具有彈性單元41。第二鄰接部52、54并不聯(lián)接至彈性單元41，而是以空間 固定的方式安裝。第一鄰接部32、34經(jīng)由彈性單元41以可伸縮方式安裝。第一鄰接部32、 34和第二鄰接部5254各自形成為剛性構(gòu)件，即內(nèi)在剛性的或不易伸縮的構(gòu)件。第一鄰接 部32、34和第二鄰接部5254共同適于利用彈性單元41所提供的壓縮彈力來(lái)接合電子部 件1。更確切地說(shuō)，將彈性單元41定向和安裝成在第一鄰接部32、34上施加對(duì)角力101(由 兩個(gè)正交的分力102、104合成)。分力102、104相對(duì)于彼此是成角度的。第一鄰接部32、34的第一部分32和第一鄰接部32、34的第二部分34相對(duì)于彼此 是成角度的且共同接合電子部件1的一個(gè)拐角區(qū)域。第一鄰接部的第一部分32和第一鄰 接部的第二部分34共同形成安裝于彈性單元41處的第一鄰接部32、34。彈性單元41受到 預(yù)應(yīng)力(或機(jī)械偏壓)并對(duì)電子部件1施加第一力101，其中，由于彈性單元41被成角度地 或傾斜地設(shè)置，因此第一力101相對(duì)于電子部件1是成角度的或傾斜的。第一力101表現(xiàn) 為第一分力102和第二分力104，其中第一分力102從第一鄰接部的第一部分32向電子部 件1的成角度側(cè)面部分施加垂直力，第二分力104從第一鄰接部的第二部分34向電子部件 1的成角度側(cè)面部分施加垂直力。第一分力102與第二分力104在電子部件1的成角度側(cè) 面部分上合力成角度地接合電子部件1。盡管在圖1中未示出，但彈性單元可由操作者手動(dòng)控制，或者通過(guò)控制單元(例 如，電子和/或機(jī)械控制器)控制，使得可調(diào)整壓縮狀態(tài)，進(jìn)而調(diào)整彈性單元41所產(chǎn)生的力 101。圖2示出了處于另一操作狀態(tài)中的圖1的調(diào)準(zhǔn)夾具10。圖2不同于圖1之處僅在 于，彈性單元41的張力被至少部分釋放，并且電子部件1由第一鄰接部和第二鄰接部?jī)烧?接合。彈性單元41可以仍然是承受應(yīng)力的。第二鄰接部包括第一部分52和第二部分M， 這兩部分形成剛性構(gòu)件并固定安裝于諸如剛性桿之類的第二鄰接部固定件85。第二鄰接 部的第一部分52和第二鄰接部的第二部分M施加力以與第一鄰接部的第一部分32和第 一鄰接部的第二部分；34 —起接合電子部件1。第二鄰接部的第一部分52和第一鄰接部的 第二部分34彼此對(duì)置，并且第二鄰接部的第一部分M和第一鄰接部的第一部分32彼此對(duì) 置。第一鄰接部的第一部分32、第一鄰接部的第二部分34、第二鄰接部的第一部分52和第 二鄰接部的第二部分M分別接合電子部件1的一個(gè)不同的側(cè)面部分。彈性單元41可以是諸如盤(pán)簧、片簧、或多迂曲形平面彈簧之類的彈簧元件43。圖3示出了一種實(shí)施方式，其中，第一鄰接部31是筆直的且接合電子部件1的拐 角區(qū)域9。第一鄰接部31安裝于彈簧元件43處，并且由于彈簧元件43相對(duì)于電子部件1 的側(cè)面部分5、6、7、8成角度或傾斜地設(shè)置，因此第一鄰接部31施加相對(duì)于電子部件1是傾 斜的或成角度的第一力101。這意味著彈簧元件43所施加的力的方向并非只是與呈矩形形 狀的電子部件1的側(cè)面部分平行或成直角。第一力101通過(guò)第一鄰接部31施加并且由彈 簧元件43產(chǎn)生。第一力101有效地包括第一分力102和第二分力104。第一分力102施加 垂直指向第二鄰接部的第二部分M的力，而第二分力104施加垂直指向第二鄰接部的第二 部分52的力。與第一力101相對(duì)的第二力109由第二鄰接部的第二部分M朝電子部件1 的第一側(cè)面部分5施加，和由第一部分52朝電子部件1的第四側(cè)面部分8施加。第二鄰接 部包括第一部分52和第二部分54，并被固定安裝于固定件85處。電子部件1被第二鄰接 部的接合在電子部件1的第四側(cè)面部分8上的第一部分52、第二鄰接部的接合在電子部件1的第一側(cè)面部分5上的第二部分54、以及接合在電子部件的拐角區(qū)域9上的第一鄰接部 31所接合。第一側(cè)面部分5和第四側(cè)面部分8成角度地位于電子部件的一拐角區(qū)域，該拐 角區(qū)域位于與由鄰接部31所接合的拐角區(qū)域9相對(duì)的位置。由此，電子部件至少在三個(gè)不 同的側(cè)面部分上的三個(gè)點(diǎn)處被接合。圖4示出了調(diào)準(zhǔn)夾具的另一實(shí)施方式。第二鄰接部51是筆直的，且固定安裝于固 定件85處。以可伸縮方式安裝于彈簧元件43處的第一鄰接部包括第一部分32和與之成 角度的第二部分34。第一鄰接部的第一部分32接合電子部件1的第三側(cè)面部分7，并且第 一鄰接部的第二部分；34接合電子部件1的第二側(cè)面部分6。第一鄰接部的第一部分32和 第一鄰接部的第二部分；34 —起對(duì)電子部件1的兩個(gè)側(cè)面部分6和7施加第一力101。該第 一力101可分解成第一分力102和第二分力104，該第一分力102通過(guò)第一鄰接部的第一 部分32施加在電子部件1的第三側(cè)面部分7上，而該第二分力104通過(guò)第一鄰接部的第二 部分；34施加在電子部件1的第二側(cè)面部分6上。第一鄰接部和第二鄰接部51 —起至少在 電子部件1的三個(gè)點(diǎn)上接合電子部件1。電子部件1由固定安裝的且筆直的第二鄰接部51 以及包括與第二部分34成角度的第一部分32在內(nèi)的第一鄰接部所接合。根據(jù)圖3和圖4的實(shí)施方式的共同點(diǎn)在于，彈簧元件43將第一分力102和第二分 力104施加在第一鄰接部上或第二鄰接部上，其中，第一分力102與第二分力104成角度。圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的調(diào)準(zhǔn)夾具的第一板110的細(xì)節(jié)，第一 板Iio包括彈性單元41。圖5中所示的調(diào)準(zhǔn)夾具形成了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的載 體的一部分。該載體的更大部分在圖6中示出。再次參照?qǐng)D5，此處所示的細(xì)節(jié)位于該載體的拐角區(qū)域中。圖5中所示細(xì)節(jié)的尺 寸基本上對(duì)應(yīng)于調(diào)準(zhǔn)夾具10。接收器20 (以虛線示意性地示出)可包括第一鄰接部31的 第一部分32、第一鄰接部31的第二部分34、第二鄰接部51的第一部分52、第二鄰接部51 的第二部分討和底座支承部71。該底座支承部71可在接收器20的底側(cè)處延伸。第一鄰 接部31由第一部分32和第二部分34形成，該第一部分32與第二部分34相對(duì)于彼此成角 度，并且第一鄰接部31是剛性構(gòu)件。第二鄰接部51由第一部分52和第二部分M形成，該 第一部分52與第二部分M相對(duì)于彼此成角度，并且第二鄰接部51是剛性構(gòu)件。由此，由 第一鄰接部31、第二鄰接部51和底座支承部形成接收器20，以接收電子部件1。第一鄰接 部31和第二鄰接部51可從彈簧單元板110向上延伸從而適于鄰接電子部件1的側(cè)面部分。 底座支承部71可包括靠近第一鄰接部31的部分和靠近第二鄰接部51的部分。第一鄰接 部致動(dòng)孔39適于通過(guò)銷(xiāo)釘(未示出)等致動(dòng)以使彈性單元41進(jìn)入到預(yù)加應(yīng)力的位置中。 彈性單元41可包括第一彈簧元件42和第二彈簧元件44，其中，第一彈簧元件42和第二彈 簧元件44的分別于接收器20的底側(cè)處從第一鄰接部31朝第二鄰接部51延伸，其中，第一 鄰接部以這種方式以可伸縮方式安裝。圖6示出了包括帶有若干調(diào)準(zhǔn)夾具10的第一板110的載體100的細(xì)節(jié)。第一板 110包括調(diào)準(zhǔn)夾具10和相同數(shù)量的彈性單元41、第一鄰接部31和第二鄰接部51。在四個(gè) 調(diào)準(zhǔn)夾具10中的每個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具中，均放置有一個(gè)電子部件1。電子部件1倒置在接收器20 中，使得能夠直接看到接觸側(cè)2和第一側(cè)面部分5以及第二側(cè)面部分6?？稍诘谝话?10的 一個(gè)側(cè)部處安置基準(zhǔn)元件118。圖7示出了載體100的細(xì)節(jié)的分解圖。該載體100可包括第一板110，其可承載接收器20并且其可被表示為彈性單元板。載體100可另外包括可被表示為底座支承板的第 二板120和可被表示為接收板的第三板130。接收板130可包括接收開(kāi)口 135，可經(jīng)由該接 收開(kāi)口 135將電子部件1接收在調(diào)準(zhǔn)夾具10的接收器20中。在該視圖中，可見(jiàn)到十二個(gè) 接收開(kāi)口 135。但是，載體100可包括任意數(shù)量的接收開(kāi)口 135以及對(duì)應(yīng)數(shù)量的調(diào)準(zhǔn)夾具 10和接收器20。電子部件1被示為倒置的，從而可直接看到接觸側(cè)2和第一側(cè)面部分5以 及第二側(cè)面部分6?？蓪⒒鶞?zhǔn)元件118安置在每個(gè)板的側(cè)部上，即安置在第一板110、第二 板120和第三板130的側(cè)部上。圖8示出了完整的載體100的細(xì)節(jié)的視圖，該完整的載體100可包括第一板110、 第二板120和第三板130。由于第三板130覆蓋住第一板110和第二板120，因此僅可看到 調(diào)準(zhǔn)夾具10的接收器20。再者，電子部件1被示為倒置的，從而可直接看到接觸側(cè)2和第 一側(cè)面部分5以及第二側(cè)面部分6。圖9示出了描繪出調(diào)準(zhǔn)夾具10的彈性單元板110的細(xì)節(jié)的俯視立體圖。調(diào)準(zhǔn)夾 具10包括接收器20。該接收器20包括第一鄰接部31、第二鄰接部51和底座支承部71。 調(diào)準(zhǔn)夾具包括彈性單元41，其具有第一彈簧元件42和第二彈簧元件44。第一鄰接部31安 裝在彈性單元41處。由此，第一彈簧元件42和第二彈簧元件44 ( 二者都被構(gòu)造成由彈性 單元板110形成的多迂曲的結(jié)構(gòu))使得第一鄰接部31能夠彈性移動(dòng)。第一鄰接部31包括 相對(duì)于彼此成角度的第一部分32和第二部分34，并形成為剛性構(gòu)件。通過(guò)利用諸如銷(xiāo)釘之 類的適當(dāng)?shù)闹聞?dòng)器來(lái)致動(dòng)第一鄰接部致動(dòng)孔39，使彈性單元41進(jìn)入到預(yù)加應(yīng)力的狀態(tài)，其 中，由于第一鄰接部31遠(yuǎn)離第二鄰接部51移動(dòng)，因此使接收器20擴(kuò)大。第二鄰接部包括 第一部分52和第二部分M。第一鄰接部31的第一部分32與第二鄰接部51的第二部分 54對(duì)置。第一鄰接部31的第二部分34相應(yīng)地與第二鄰接部51的第一部分52對(duì)置。第一 鄰接部31與第二鄰接部51因此適于將電子部件1接合在位于它們之間的空間中，其中，彈 性單元41施加力以接合電子部件1。在該實(shí)施方式中，底座支承部71由底座支承板120形 成。在位于第一鄰接部31與第二鄰接部之間的空間中，底座支承板具有進(jìn)入開(kāi)口 125。通 過(guò)該進(jìn)入開(kāi)口 125，可實(shí)現(xiàn)對(duì)電子部件1的記號(hào)側(cè)進(jìn)行激光打標(biāo)。第一鄰接部31、第二鄰接 部51和彈性單元41都可由彈性單元板110形成。圖10示出了載體100的多個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具10，其中調(diào)準(zhǔn)夾具10分別適于調(diào)準(zhǔn)一個(gè)電 子部件1。電子部件1倒置在接收器20中，使得從立體圖中示出電子部件1的接觸側(cè)2、第 一側(cè)面部分5以及第二側(cè)面部分6。描繪了由彈性單元板110形成的第一彈簧元件42和第 二彈簧元件44。圖11示出了描繪出接收器20的彈性單元板110的細(xì)節(jié)的俯視圖，該接收器20可 以是單獨(dú)的構(gòu)件且可以被夾持于彈性單元板110。彈性單元板110可包括彈性單元接收開(kāi) 口 115和彈性單元接收部90。該彈性單元接收開(kāi)口 115適于接收對(duì)應(yīng)調(diào)準(zhǔn)夾具10的完整 的接收器20。彈性單元接收部90適于與彈性單元固定件82以形式鎖合的方式接合。第 二鄰接部51和彈性單元固定件82—起形成剛性構(gòu)件。由此，第二鄰接部51固定地安裝于 彈性單元板110。第一鄰接部31經(jīng)由彈性單元41以可伸縮方式安裝于第二鄰接部51處。 在其主要功能方面，接收器20的該實(shí)施方式類似于圖5中示出并論述的實(shí)施方式。圖12示出了包括圖11中所示細(xì)節(jié)的載體100的細(xì)節(jié)的俯視圖。彈性單元板110 包括帶有九個(gè)對(duì)應(yīng)的彈性單元接收部90的九個(gè)彈性單元接收開(kāi)口 115。四個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具10設(shè)有四個(gè)對(duì)應(yīng)的接收器20。基準(zhǔn)元件118可安置于第一板110的一個(gè)側(cè)部處。圖13示出了描繪出調(diào)準(zhǔn)夾具10的彈性單元板110的細(xì)節(jié)的俯視圖。調(diào)準(zhǔn)夾具10 可包括第一鄰接部31和彈性單元41，它們共同形成為單獨(dú)的構(gòu)件。調(diào)準(zhǔn)夾具10可進(jìn)一步 包括第二鄰接部51，其中，該第二鄰接部51是彈性單元板110的一部分。由第一鄰接部31 和彈性單元41形成的所述單獨(dú)構(gòu)件可進(jìn)一步包括彈性單元固定件82。彈性單元固定件82 可以是筒形突起，其以形式鎖合的方式(例如采用機(jī)械鎖合機(jī)制)夾在彈性單元接收部90 的對(duì)應(yīng)成形的筒形凹部中，并且彈性單元固定件82與彈性單元接收部90可歸屬于調(diào)準(zhǔn)夾 具10。在該實(shí)施方式中，接收器20包括至少第一鄰接部31和第二鄰接部51。由此，該實(shí) 施方式類似于圖1和2中所示的調(diào)準(zhǔn)夾具，并類似于圖9的實(shí)施方式。彈性單元41包括第 一彈簧元件42和第二彈簧元件44，第一彈簧元件42和第二彈簧元件44 二者都剛性地聯(lián) 接于彈性單元固定件82和第一鄰接部31。第一彈簧元件42和第二彈簧元件44允許第一 鄰接部31進(jìn)行彈性移動(dòng)。在圖13的實(shí)施方式中，第一鄰接部31和彈性單元41由同一板 成整體地形成。第一鄰接部31包括第一部分32和第二部分34，它們彼此成角度并形成剛 性構(gòu)件。通過(guò)朝彈性單元固定件82致動(dòng)第一鄰接部致動(dòng)孔39，彈性單元41進(jìn)入到預(yù)加應(yīng) 力的位置中，在該位置中，由于第一鄰接部31遠(yuǎn)離第二鄰接部51移動(dòng)，因此使接收器20擴(kuò) 大。第二鄰接部51包括第一部分52和第二部分M。第一鄰接部31的第一部分32與第二 鄰接部51的第二部分M對(duì)置。相應(yīng)地，第一鄰接部31的第二部分34與第二鄰接部51的 第一部分52對(duì)置。第一鄰接部31與第二鄰接部51因此適于在位于它們之間的空間中接 合電子部件1。在其功能方面，圖13的實(shí)施方式類似于圖9的實(shí)施方式。圖14示出了包括圖13中所示細(xì)節(jié)的載體100的細(xì)節(jié)的俯視圖。彈性單元板100 包括帶有十六個(gè)對(duì)應(yīng)的彈性單元41的十六個(gè)彈性單元接收開(kāi)口 114，其形成以類似于矩陣 的方式設(shè)置的十六個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具10。在彈性單元板110的下方，安置有底座支承板。基準(zhǔn)元 件118可安置在第一板110的一個(gè)側(cè)部處。圖15示出了包括以可浮動(dòng)方式安裝的接收器20的調(diào)準(zhǔn)夾具10。以可浮動(dòng)方式安 裝的框架27通過(guò)兩個(gè)相對(duì)的彈性單元49以可浮動(dòng)的方式安裝。集成在可浮動(dòng)安裝的框架 27中的接收器20同樣是可浮動(dòng)的。設(shè)置在以可浮動(dòng)方式安裝的框架27上的調(diào)整單元觀 允許對(duì)以可浮動(dòng)方式安裝的框架27進(jìn)行微調(diào)，進(jìn)而對(duì)接收器20進(jìn)行微調(diào)。三個(gè)調(diào)整單元 28可允許在調(diào)準(zhǔn)夾具10的主平面中對(duì)接收器進(jìn)行微調(diào)。圖16示出了完整的載體100的俯視示意圖，該完整的載體100具有以4X9調(diào)準(zhǔn)夾 具矩陣形式設(shè)置的三十六個(gè)調(diào)準(zhǔn)夾具。設(shè)置在載體100的邊緣區(qū)域中的兩個(gè)基準(zhǔn)元件118 可用于調(diào)準(zhǔn)載體100。圖17和圖18示出了載體100的細(xì)節(jié)的俯視圖，其中，載體100包括可滑動(dòng)彈性單 元板100，其通過(guò)板連接彈性單元IM彈性地聯(lián)接至彈性單元板框架111。彈性單元板框架 111固定安裝在接收板130處。由此，通過(guò)彎曲板連接彈性單元154，彈性單元板110可相 對(duì)于具有形成第二鄰接部51的接收開(kāi)口 135的接收板130滑動(dòng)。經(jīng)由彈性單元41安裝于 彈性單元板110處的第一鄰接部31可相對(duì)于第二鄰接部51滑動(dòng)，該第二鄰接部51形成為 接收板130的一個(gè)固定部分。由第一鄰接部31和第二鄰接部51形成的接收器20的接收 器開(kāi)口 48可通過(guò)使彈性單元板110相對(duì)于接收板130滑動(dòng)而得以擴(kuò)大。由于接收板130 和彈性單元板框架111可在固定孔208處被固定，因此彈性單元板110可通過(guò)以致動(dòng)力210接合彈性單元致動(dòng)孔258而相對(duì)于接收板130和彈性單元板框架111滑動(dòng)。可施加反向力 200以克服致動(dòng)力210的力而固定住載體100。在若干固定點(diǎn)156處，接收板130與彈性單 元板框架111可彼此固定聯(lián)接。參照?qǐng)D17，可指代接收板130的第二板130的第一板鄰接部134與可指代彈性單 元板110的第一板110的第二板鄰接部914彼此鄰接。間隔件257可適合于調(diào)節(jié)接收器開(kāi) 口 48的尺寸。當(dāng)?shù)谝话遴徑硬?34與第二板鄰接部914彼此鄰接時(shí)，可獲得由第一鄰接部 31與第二鄰接部51所形成的接收器的夾持尺寸。接收器開(kāi)口 48的尺寸可小于待接收的電 子部件1的尺寸，從而可通過(guò)第一鄰接部31和第二鄰接部51夾緊電子部件1。彈性單元板 110與彈性單元板框架111之間的間隔259可為間隔件257的尺寸。參照?qǐng)D18，示出了接收器開(kāi)口 48的接收尺寸。彈性單元板110與彈性單元板框 架111之間的間距259擴(kuò)大。因此，同樣可將接收器開(kāi)口 48的尺寸擴(kuò)大至的一定尺寸，該 尺寸使得可將電子部件1接收在接收器20中，即接收在第一鄰接部31與第二鄰接部51之 間的空間中。應(yīng)該注意的是，術(shù)語(yǔ)“包括”并不排除其它元件或步驟，并且“一”或“一個(gè)”并不排 除多個(gè)。同樣，可將結(jié)合不同的實(shí)施方式描述的元件進(jìn)行組合。還應(yīng)該注意的是，權(quán)利要求 中的附圖標(biāo)記不應(yīng)被理解為限制權(quán)利要求的范圍。本發(fā)明的實(shí)施并不被限定于圖中所示和 上文中所述的優(yōu)選實(shí)施方式。相反，甚至是在根本不同的實(shí)施方式的情況下，利用根據(jù)本發(fā) 明所示出的解決方案和原理的多種變型也都是可能的。
權(quán)利要求
1.一種用于調(diào)準(zhǔn)電子部件(2)的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)，所述調(diào)準(zhǔn)夾具(10)包括接收器(20)，所述接收器(20)適于接收所述電子部件(2)，所述接收器(20)具有第一 鄰接部(31)和第二鄰接部(51)；彈性單元(41)；其中，所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)中的一個(gè)經(jīng)由所述彈性單元(41) 以可伸縮的方式安裝，并且所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)中的另一個(gè)以固 定的方式安裝；所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)分別形成為剛性構(gòu)件并適于接合所述電 子部件⑵；所述彈性單元(41)適于對(duì)所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)中的一個(gè)施 加兩個(gè)分力(102、104)，所述分力(102、104)相對(duì)于彼此成角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)，其中，所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)中的至少一個(gè)適于以形式鎖合的方式接 合所述電子部件(2)的兩個(gè)成角度的側(cè)面部分(5、6、7、8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)，其中，所述第一鄰接部(31)適于在所述電子部件(2)上施加第一力(101)，并且所述第二鄰 接部(51)適于在所述電子部件(2)上施加第二力(109)，其中，所述第一力(101)和所述第 二力(109)至少部分地彼此相對(duì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)，其中，所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)調(diào)節(jié)成適于使得以平行于所述接收器 (20)的主平面的方式施加所述第一力(101)，并以平行于所述接收器(20)的主平面的方式 施加所述第二力(109)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)，其中，所述接收器(20)進(jìn)一步包括底座支承部(71)，所述底座支承部(71)形成為平行于所 述接收器(20)的主平面的支承表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)，其中，所述彈性單元(41)適于在所述第一鄰接部(31)和所述第二鄰接部(51)中的一個(gè)以 可伸縮的方式安裝的鄰接部上施加所述兩個(gè)分力(102、104)，使得所述以可伸縮的方式安 裝的鄰接部對(duì)所述電子部件(2)施加兩個(gè)成角度的分力(102、104)。
7.一種用于調(diào)準(zhǔn)多個(gè)電子部件(2)的載體(100)，其中，所述載體(100)包括多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的調(diào)準(zhǔn)夾具(10)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的載體(100)，其中，所述接收器(20)中的每個(gè)接收器分別具有至少一個(gè)指定的彈性單元(41)。
9.一種使用根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的載體(100)的方法，其中，所述方法包括-致動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)以在所述接收器(20)中露出大于待接收的所述電子部件(2)的開(kāi)口 ；-將所述電子部件(2)定位在所述接收器(20)中的所述開(kāi)口中；-致動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)以縮小所述開(kāi)口的尺寸，使得在所述載體(100)的所述接收器 (20)內(nèi)調(diào)準(zhǔn)所述電子部件(2)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述方法包括-將所述載體(100)放置在后加工機(jī)器中；-在所述電子部件( 保持處在位于所述載體αοο)的所述接收器Ο0)中的調(diào)準(zhǔn)位置 下的同時(shí)使所述電子部件( 接受所述后加工機(jī)器的在后加工操作。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，提供了一種用于調(diào)準(zhǔn)電子部件的調(diào)準(zhǔn)夾具，其中，該調(diào)準(zhǔn)夾具包括適于接收電子部件接收器，該接收器具有第一鄰接部和第二鄰接部，該調(diào)準(zhǔn)夾具進(jìn)一步包括彈性單元，其中，第一鄰接部和第二鄰接部中的一個(gè)經(jīng)由彈性單元以可伸縮的方式安裝，而第一鄰接部和第二鄰接部中的另一個(gè)固定地安裝；其中，第一鄰接部和第二鄰接部分別形成為剛性構(gòu)件并適于接合電子部件，彈性單元適于在第一鄰接部和第二鄰接部中的一個(gè)上施加相對(duì)于彼此成角度的兩個(gè)分力。
文檔編號(hào)H01L21/683GK102097351SQ20101025762
公開(kāi)日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月18日
發(fā)明者內(nèi)賈蒂·埃費(fèi)·瓦羅爾, 托馬斯·霍夫曼, 約翰·珀青格 申請(qǐng)人:綜合測(cè)試電子系統(tǒng)有限公司