專利名稱：太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備的制作方法
太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)朋涉及一種太陽能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池擴散工 藝及其設(shè)備。
技術(shù)背景硅片在制作成太陽能電池的過程中需要經(jīng)過擴散工藝形成P-N極，經(jīng)過太 陽能電池擴散工藝加工后的硅片有一個很重要的參數(shù)，這個參數(shù)就是方塊電阻， 在后道燒結(jié)工序中每一個特定的方塊電阻都有一個最佳的溫度曲線與之匹配使 之達到最大的電池效率。方塊電阻的波動將導(dǎo)致生產(chǎn)出來的太陽能電池效率下 降大約5%。 發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有設(shè)備生產(chǎn)出來的硅片的方塊電阻會產(chǎn)生波動的缺陷，本發(fā)明提 供一種通過提供穩(wěn)定抽氣排風(fēng)壓力來穩(wěn)定生產(chǎn)出來的硅片的方塊電阻的太陽能 電池擴散設(shè)備。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是 一種太陽能電池擴散工藝，在太陽能電池擴 散工藝中通過控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排 風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電 池保持穩(wěn)定，在后道的燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通 過在機臺排風(fēng)端加裝的排風(fēng)壓力控制閥和排風(fēng)壓力控制器來進行控制。一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐和機臺排風(fēng)端，擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣 通過管道從機臺排風(fēng)端排出，機臺排風(fēng)端安裝排風(fēng)壓力控制閥和相應(yīng)的排風(fēng)壓 力控制器。進入擴散爐的氣體和化學(xué)品由氣體流量控制器控制，因此是穩(wěn)定的。但是 排風(fēng)是由廠務(wù)直接控制的，抽氣排風(fēng)壓力就是廠務(wù)排風(fēng)的壓強，由于廠務(wù)排風(fēng)連接多個機臺，所以排風(fēng)壓力不是穩(wěn)定的。 一般控制的壓強范圍是1.5-5mbar。 通過實驗發(fā)現(xiàn)抽氣排風(fēng)壓力對硅片的方塊電池同樣具有較大影響。PES (mbar)1.522.545SR (ohm)5453515049.5這里SR為方塊電阻，PES為抽氣壓力排風(fēng)。由于抽氣排風(fēng)壓力波動導(dǎo)致磷在硅片中的注入的濃度發(fā)生變化，因為方塊電 阻跟磷的攙雜濃度有關(guān)。方塊電阻就會在49. 5-54ohm的區(qū)間里相應(yīng)變化。本發(fā)明的有益效果是抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定 后，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升最終太陽能電池的效率5%。


下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。 圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中l(wèi).擴散爐，2.機臺排風(fēng)端，3.排風(fēng)壓力控制閥，4.排風(fēng)壓力控制器， 5.擴充管，6.濃縮瓶。
具體實施方式
一種太陽能電池擴散工藝，在太陽能電池擴散工藝中通過控制抽氣排風(fēng)壓 力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致磷在硅片中 的注入濃度穩(wěn)定，使得的到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道燒結(jié)中可以匹 配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機臺排風(fēng)端2加裝的排風(fēng)壓力控 制閥3和排風(fēng)壓力控制器4來進行控制。如圖1所示的一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐1和機臺排風(fēng)端2，從擴散爐1中排除的氣體經(jīng)過擴充管5 (expansion essel )和濃縮瓶6 (congdensaUon bottle)后從機臺排風(fēng)端2排除，機臺排風(fēng)端2安裝排風(fēng)壓 力控制閥3和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器4，通過排風(fēng)壓力控制器4控制排風(fēng)壓力控 制閥3使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定。進入擴散爐1的氣體由氣體流量控 制器控制，流量穩(wěn)定。氣體和P0CL3在擴散爐1中和硅發(fā)生反應(yīng)，抽氣排風(fēng)壓 穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度也會穩(wěn)定，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升太 陽能電池的效率5%。
權(quán)利要求
1、一種太陽能電池擴散工藝，其特征是在太陽能電池擴散工藝中通過控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道燒結(jié)中匹配出高效的太陽能電池。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的太陽能電池擴散工藝，其特征是所述的抽氣排 風(fēng)壓力通過在機臺排風(fēng)端(2)加裝的排風(fēng)壓力控制閥(3)和排風(fēng)壓力控制器(4)來進行控制。
3、 一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐(1)和機臺排風(fēng)端(2)，擴散爐(1)內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風(fēng)端(2)排出，其特征是所述的機臺排風(fēng)端(2)安裝排風(fēng)壓力控制閥(3)和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器(4)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種太陽能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池擴散工藝及其設(shè)備。本發(fā)明在太陽能電池擴散工藝中通過控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機臺排風(fēng)端加裝的排風(fēng)壓力控制閥和排風(fēng)壓力控制器來進行控制。抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升最終的太陽能電池效率5％。
文檔編號H01L31/18GK101221999SQ20081001884
公開日2008年7月16日 申請日期2008年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月28日
發(fā)明者斌 仝, 單惠標, 許結(jié)剛, 馬祥柱 申請人:常州天合光能有限公司