本實用新型涉及石英舟技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種支撐腿可拆卸的石英舟。

背景技術(shù)：

石英舟是晶硅太陽能電池擴散工序中用于承載硅片的載具，具有耐高溫和較好的化學(xué)穩(wěn)定性的特點。目前，在生產(chǎn)過程中，用石英舟承載清洗制絨后的硅片進行擴散。在放置石英舟時，石英舟的支撐腳受瞬間力較大，容易導(dǎo)致支撐腳破裂，導(dǎo)致整個石英舟報廢，損失很大。此外，由于擴散工序潔凈度要求極高以及管式擴散爐爐管溫度較高，一般會使用舟叉和設(shè)置于石英舟上的套管配合搬運石英舟，舟叉和套管之間受力大、使用頻次高，容易導(dǎo)致套管的管口斷裂，更嚴(yán)重時導(dǎo)致石英舟之上承載的硅片掉落。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提出一種支撐腿可拆卸的石英舟，在支撐腿損壞后替換支撐腿即可，節(jié)約了成本。

為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種支撐腿可拆卸的石英舟，包括：承載部和支撐部，承載部用于承載硅片，支撐部位于所述承載部的底部，以支撐所述承載部，所述支撐部包括設(shè)置于所述承載部兩側(cè)的多條支撐腿，所述支撐腿與所述承載部可拆卸連接。

進一步的，所述承載部的底部和所述支撐腿的頂部中的一個設(shè)置有燕尾槽，另一個設(shè)置有燕尾榫，所述燕尾槽和所述燕尾榫插接配合。

進一步的，所述燕尾槽和所述燕尾榫上均設(shè)置有定位孔，所述燕尾槽和所述燕尾榫通過穿過所述定位孔的螺栓定位。

進一步的，所述承載部的底部和所述支撐腿的頂部均設(shè)置有固定孔，所述承載部和所述支撐腿通過穿過所述固定孔的螺栓固定。

進一步的，所述支撐腿的底面的面積大于頂面的面積。

進一步的，所述支撐腿的底部的側(cè)面從上到下呈外凸的弧面。

進一步的，所述承載部的頂部設(shè)置有套管，所述套管用于與舟叉配合搬運所述石英舟，所述套管的內(nèi)徑從一端到另一端保持一致，外徑從一端到另一端逐漸變大。

進一步的，所述套管的內(nèi)腔沿軸向設(shè)置有多個環(huán)形凹槽。

進一步的，所述承載部包括位于兩端的承載架，兩端的所述承載架之間連接有多根支撐桿，多根所述支撐桿包括位于底部的底部支撐桿和位于兩側(cè)的側(cè)部支撐桿。

進一步的，位于外側(cè)的所述底部支撐桿之間的距離大于硅片的底邊長度，位于中部的所述底部支撐桿以及側(cè)部支撐桿上均設(shè)置有用于對硅片限位的卡槽。

有益效果：本實用新型提供了一種支撐腿可拆卸的石英舟，包括承載部和支撐部，承載部用于承載硅片，支撐部位于所述承載部的底部，以支撐所述承載部，所述支撐部包括設(shè)置于所述承載部兩側(cè)的多條支撐腿，所述支撐腿與所述承載部可拆卸連接。當(dāng)石英舟的支撐腿損壞后替換支撐腿即可，不需要報廢整個石英舟，節(jié)約了成本。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例1提供的石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型實施例1提供的石英舟的燕尾槽和燕尾榫處的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實用新型實施例1提供的套管的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實用新型實施例2提供的石英舟的側(cè)視圖。

其中：

1-承載部，11-承載架，12-底部支撐桿，13-側(cè)部支撐桿，2-支撐腿，3-燕尾槽，4-燕尾榫，5-定位孔，6-固定孔，7-套管，71-環(huán)形凹槽。

具體實施方式

為使本實用新型解決的技術(shù)問題、采用的技術(shù)方案和達到的技術(shù)效果更加清楚，下面結(jié)合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術(shù)方案。

實施例1

如圖1-圖3所示，本實施例提供了一種支撐腿可拆卸的石英舟，包括承載部1和支撐部，承載部1用于承載硅片；支撐部位于承載部1的底部，以支撐承載部1，支撐部包括設(shè)置于承載部1兩側(cè)的多條支撐腿2，一般為4條支撐腿2且分布在承載部1四個邊角上，支撐腿2與承載部1可拆卸連接。當(dāng)石英舟的支撐腿2損壞后替換支撐腿2即可，不需要報廢整個石英舟，節(jié)約了成本。承載部1一般包括位于兩端的承載架11，兩端的承載架11之間連接有多根支撐桿，多根支撐桿包括位于底部的底部支撐桿12和位于兩側(cè)的側(cè)部支撐桿13。通過承載架11和支撐桿的組合形成的承載部1也便于拆卸，且與多塊承載板組合形成的承載部相比，重量更輕，使用方便。位于外側(cè)的底部支撐桿12之間的距離需要大于硅片的底邊長度，以對硅片沿長度方向的兩端移動，位于中部的底部支撐桿12以及側(cè)部支撐桿13上均設(shè)置有用于對硅片限位的卡槽，將硅片限制在卡槽中?？ú鄣臄?shù)量在800-1000左右，可以承載較多的硅片，提高生產(chǎn)效率。

具體而言，本實施例中，承載部1的底部設(shè)置有燕尾槽3，支撐腿2的頂部設(shè)置有燕尾榫4，燕尾槽3和燕尾榫4插接配合，將支撐腿2的頂部插入到承載部1的底部中，方便拆卸，且燕尾槽3和燕尾榫4配合可以有效固定支撐腿2和承載部1。為了進一步避免燕尾榫4從燕尾槽3中滑出，燕尾槽3和燕尾榫4上還均設(shè)置有定位孔5，燕尾槽3和燕尾榫4通過穿過定位孔5的螺栓定位。如圖2所示，定位孔5設(shè)置在燕尾槽3和燕尾榫4的側(cè)部，當(dāng)燕尾榫4插入到燕尾槽3中后，螺栓從定位孔5中穿入定位。燕尾槽3和燕尾榫4上至少一個定位孔5是螺紋孔，和螺栓配合固定。

當(dāng)然，燕尾槽3和燕尾榫4的位置也可以互換，即燕尾槽3設(shè)置于支撐腿2的頂部，燕尾榫4設(shè)置于承載部1的底部，也可以實現(xiàn)支撐腿2和承載部1之間的可拆卸連接。

為了減少支撐腿2的損壞，可以增大支撐腿2的底面積，使得支撐腿2的底面的面積大于頂面的面積，減少支撐腿2的壓強。一般而言，支撐腿2的底部的側(cè)面從上到下呈外凸的弧面或平面，以增大支撐腿2的底面積。支撐腿2的底部的側(cè)面從上到下可以優(yōu)選為呈外凸的弧面，在受到碰撞時，弧面能更好地分散受力，更好的保護支撐腿2，避免支撐腿2損壞。

本實施例的石英舟的承載部1的頂部設(shè)置有套管7，套管7用于與舟叉配合搬運石英舟。針對現(xiàn)有技術(shù)中套管7容易損壞的問題，本實施例中，套管7的內(nèi)徑從一端到另一端保持一致，為10-12mm，外徑從一端到另一端逐漸變大，一端的外徑為14-16mm，另一端外徑為20-22mm，即，套管7的厚度變厚。在使用時，舟叉從外徑比較大(即更厚)的一端插入，由于舟叉與套管7的插入部位的受力最大，接觸最頻繁，最容易損壞，因此，使用更厚的套管7可以提高耐用程度，減少損壞的概率。為了避免舟叉從套管7內(nèi)滑出，套管7的內(nèi)腔沿軸向設(shè)置有多個環(huán)形凹槽71。

實施例2

如圖4所示，在實施例1的基礎(chǔ)上，與實施例1不同的是，本實施例的支撐腿2和承載部1的可拆卸連接不通過燕尾槽和燕尾榫的插接實現(xiàn)，而是在承載部1的底部和支撐腿2的頂部均設(shè)置固定孔6，承載部1和支撐腿2通過穿過固定孔6的螺栓固定。當(dāng)支撐腿2需要更換時，直接將支撐腿2和承載部1上的固定孔6對齊后，通過螺栓固定即可。當(dāng)然，為了和螺栓配合，固定孔6需要設(shè)置成螺紋孔。

以上內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，依據(jù)本實用新型的思想，在具體實施方式及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本實用新型的限制。