專利名稱：基板處理裝置、顯示方法、記錄介質(zhì)及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在例如成膜處理(如等離子體CVD處理)和蝕刻處理(如 等離子體蝕刻處理)等半導體制造過程中所使用的基板處理裝置、用于控 制此種基仗處理裝置的顯示面板的顯示方法、使計算機執(zhí)行此種顯示的程 序及記錄了此種程序的記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
近年來的半導體制造裝置等基仗處理裝置的主流技術(shù)是，在半導體晶 片等基&的搬送系統(tǒng)的周圍配置多個執(zhí)行對Ul的處理的處理室，集中地
執(zhí)行處理。如果^il樣將系統(tǒng)大型化，則會使對它的維護也變得^M^艮大，
另外還需要邊考慮多個處理室的相互關(guān)系邊進行維護。
此種維護一般來^兌是利用4吏用了 GUI (Graphical User Interface)的 觸摸面板來獲取裝置的信息(溫度、壓力、氣體流量等)，基于所獲取的 該信息來進行條件設(shè)定等。而且，關(guān)于此種GUI,在SEMI中已經(jīng)在一定 程度上被標準化。
本發(fā)明人J人識到，利用在SEMI的E95中被標準化了那樣的GUI,對 于逐漸復雜化的基仗處理裝置的維護來說是不夠的，而在該領(lǐng)域中還未發(fā) 現(xiàn)有技術(shù)文獻。
非專利文獻1: SEMI的E95標準http: 〃downloads.semi.org/ PUBS/SEMIPUBS.NSF/6cb6b23858b3cded882565f6000badda/e4f362b2ffl8 72d9f882568410061dddf OpenDocument

發(fā)明內(nèi)容
所以，在半導體制造裝置等基板處理裝置的領(lǐng)域中，提高用于M處 理裝置的維護的GUI畫面的便利性的課題本身就是以往所沒有的新課題， 本發(fā)明就是要解決該新課題的發(fā)明。更具體來說，有如下的課題，即，在 邊考慮多個處理室的相互關(guān)系邊進行維護時，如果利用使用了在當前的 SEMI中被標準化了那樣的GUI的畫面顯示，則便利性較低。由此，本發(fā)明的目的在于，提供在邊考慮多個處理室的相互關(guān)系邊進 行維護時能夠在顯示面板上顯示便利性非常高的維護畫面的基板處理裝 置、用于控制此種M處理裝置的顯示面板的顯示方法、使計算機執(zhí)行這 樣的顯示的程序及記錄了此種程序的記錄介質(zhì)。
(1 )為了解決該問題，本發(fā)明的基仗處理裝置是具有至少一個處理室
的基板處理裝置，其特征是，具備顯示面板；顯示控制部，進行用于在 所述顯示面板上至少顯示所述基板處理裝置的維護所需的畫面及規(guī)定的 選擇掩組的控制；以及選擇部，用于點擊顯示于所述顯示面板上的選<^按 鈕；所述顯示控制部至少將從所述基&處理裝置的維護所需的多個畫面中 選擇一個畫面的選擇掩組，以與該選擇g被點擊的時間順序?qū)捻樞?并排地顯示于所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述選#^掩組所選 擇的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示區(qū)域中。
本發(fā)明中，由于將選擇例如進行各處理室的維護所需的每個處理室的 畫面的選擇掩組，以與該選#^^被點擊的時間的順序?qū)捻樞虿⑴诺?顯示于顯示面板，因此可以在邊考慮多個處理室的相互關(guān)系邊進行維護 時，在顯示面板上顯示^f更利性非常高的維護畫面。
所謂"以與選:^^&^L點擊的時間的順序?qū)捻樞虿⑴诺仫@示于顯 示面板"是指，例如在第二顯示區(qū)域中顯示第一處理室的維護畫面來進行第 一處理室的維護，然后顯示第二處理室的維護畫面來進行第二處理室的維 護，然后顯示第三處理室的維護畫面來進行第三處理室的維護的情況下， 在第一顯示區(qū)域中以"用于選擇第三處理室的維護畫面的選擇^"、"用 于選擇第二處理室的維護畫面的選^^按鈕"、"用于選擇第 一處理室的維護 畫面的選擇掩紐，，的順序來顯示選擇掩組。
在進行裝置的維護時，基本上沒有隨機維護各種各樣的處理室的情況。 絕大多數(shù)情況是，邊考慮各處理室等的相互關(guān)系來使處理室等間隔先后排 列，i^t各處理室等進行維護。所以，通過將選擇例如進行各處理室的維 護所需的每個處理室的畫面的選擇掩組，以與該選擇g被點擊的時間順 序?qū)捻樞虿⑴诺仫@示于顯示面板上，對于操作者來說，可以更為直觀 地使用這些選擇拾組來進行畫面的切換。
也可以是，所述顯示控制部沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述 第一顯示區(qū)域，并以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇g為一定 長度的方式來顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的情況下，將超出的所述選擇M作為歷史記錄保留下來，在 能夠顯示時再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇g。
在半導體裝置的維護中，操作者進行維護的處理室的數(shù)目在原則上有
一定程度的限制。所以，即使將各選擇g設(shè)定為一定長度，多個選擇按 鈕的整體長度超過第一顯示區(qū)域的長度的情況也非常少。因此，本發(fā)明中， 將各選擇^&設(shè)定為一定的長度而提高了操作的直觀性。此外，在多個選 擇按鈕的整體長度超出了第一顯示區(qū)域的長度的情況下，通過在沿著比顯 示于第一顯示區(qū)域的畫面靠前一個選擇的畫面的第二顯示區(qū)域中顯示剩 下的選擇按鈕，可以排除從一個畫面中找出多個選擇按鈕的麻煩。也就是 說，在最初的畫面中沒有所需的選#^掩紐時，由于只要顯示下一個畫面來 找出所需的選擇掩組即可，因此與從顯示于一個畫面中的多個選擇掩組中 找出所需的選擇按鈕的情況相比，可以簡單地找出所需的選擇g。
也可以是，所述顯示控制部將用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的 畫面的選擇掩組顯示于所述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在利用所述選擇 部點擊了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕的情況 下，關(guān)閉所述第二顯示區(qū)域的畫面，并且關(guān)閉顯示于所述第一顯示區(qū)域中 的與所述畫面對應的選擇掩組。
在第二顯示區(qū)域中，該畫面被關(guān)閉時可以認為基本上不會用于維護中， 所以認為也不會使用與該畫面對應的選^^掩組，而將顯示于第一顯示區(qū)域 的與該畫面對應的選^r掩紐關(guān)閉，由此來防止在第一顯示區(qū)域中增加無用 的選擇^fe。
也可以是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需 的畫面，所述顯示控制部將與該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的利用所述 選##選擇的一個畫面顯示于所述第二顯示區(qū)域中。
所謂"與維護的內(nèi)容對應的多個畫面"是指，對于一個處理室，以該處 理室的驅(qū)動系統(tǒng)為主的畫面、以溫度為主的畫面、以壓力為主的畫面、以 氣體為主的畫面等。通過像這樣針對一個處理室來顯示與維護的內(nèi)容對應 的畫面，維護將變得更為容易。
也可以是，所述顯示控制部能夠在所述第二顯示區(qū)域中顯示以下畫面， 即、顯示各所述處理室的狀態(tài)的所述每個處理室的畫面、顯示所述M處 理裝置的整體狀態(tài)的畫面，能夠在所述第一顯示區(qū)域中顯示與所述畫面對 應的選擇按鈕。另外，也可以是，所述顯示面板及所i^擇部由在所述顯示面板上設(shè)置了所述選擇部的觸摸面板構(gòu)成。這樣就可以提高操作性。
(2 )本發(fā)明的方法是用于控制具有至少 一個處理室的基板處理裝置的 顯示面板的顯示方法，其特征是，至少將從所述141處理裝置的維護所需 的多個畫面中選擇一個畫面的選擇掩組，以與該選#^^被點擊的時間順 序?qū)捻樞虿⑴诺仫@示于所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述 選擇^選擇的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示區(qū)域中。
這里，也可以沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述第一顯示區(qū)域， 并以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定長度的方式來 顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的 情況下，將超出的所^i^擇^作為歷史記錄而保留下來，在能夠顯示時 再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇掩組。
也可以將用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕顯示 于所述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在選擇了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯 示區(qū)域中的畫面的選#^掩組的情況下，將所述第二顯示區(qū)域的畫面關(guān)閉， 并且將顯示于所述第 一顯示區(qū)域中的與所述畫面對應的選#^掩組關(guān)閉。
也可以是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需 的畫面，將與該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的,皮選擇了的一個畫面顯示 于所述第二顯示區(qū)域中。
(3 )本發(fā)明的記錄介質(zhì)是記錄了使計算機執(zhí)行顯示面板的顯示的程序 的記錄介質(zhì)，該顯示面板用于控制具有至少一個處理室的基&處理裝置， 其特征是，所述程序至少將從所述基仗處理裝置的維護所需的多個畫面中 選擇一個畫面的選擇掩組，以與該選擇^fe被點擊的時間順序?qū)捻樞?并排地顯示于所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述選擇^選擇 的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示區(qū)域中。
這里，也可以是，所述程序沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述 第一顯示區(qū)域，并以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定 長度的方式來顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示 區(qū)域的長度的情況下，將超出的所述選擇M作為歷史記錄而保留下來， 在能夠顯示時再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇按鈕。
也可以是，所述程序?qū)⒂糜陉P(guān)閉顯示于所述笫二顯示區(qū)域中的畫面的 選擇g顯示于所述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在選擇了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選^^掩組的情況下，將所述第二顯示區(qū)域 的畫面關(guān)閉，并且將顯示于所述第一顯示區(qū)域中的與所述畫面對應的選擇 按鈕關(guān)閉。
也可以是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需 的畫面，所述程序?qū)⑴c該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的被選擇了的一個 畫面顯示于所述第二顯示區(qū)域中。
(4)本發(fā)明的程序是使計算機執(zhí)行顯示面板的顯示的程序，該顯示面 板用于控制具有至少一個處理室的基^處理裝置，其特征是，至少將從所 述基板處理裝置的維護所需的多個畫面中選擇一個畫面的選#^掩組，以與
第一顯示區(qū)域中，將利用所述選#^掩紐所選擇的畫面顯示于所述顯示面板 的第二顯示區(qū)域中。
這里，也可以沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述第一顯示區(qū)域， 并以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定長度的方式來 顯示，在所述多個選擇掩組的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的 情況下，將超出的所述選擇按鈕作為歷史記錄而保留下來，在能夠顯示時 再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇掩組。
也可以將用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕顯示 于所述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在選擇了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯 示區(qū)域中的畫面的選#^掩組的情況下，將所述第二顯示區(qū)域的畫面關(guān)閉， 并且將顯示于所述第一顯示區(qū)域中的與所述畫面對應的選擇按鈕關(guān)閉。
也可以是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需 的畫面，將與該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的,皮選擇了的一個畫面顯示 于所述第二顯示區(qū)域中。
根據(jù)本發(fā)明，可以提供在邊考慮多個處理室的相互關(guān)系邊進行維護 時，能夠在顯示面板上顯示便利性非常高的維護畫面的基&處理裝置、用 于控制此種基敗處理裝置的顯示面板的顯示方法、使計算機執(zhí)行此種顯示 的程序及記錄了此種程序的記錄介質(zhì)。


圖1是本發(fā)明的一個實施方式的基敗處理裝置的俯視圖。圖2是表示圖1所示的基板處理裝置的控制部的構(gòu)成的框圖。
圖3是表示圖1所示的J41處理裝置的觸摸面板的畫面中的各顯示區(qū) 域的圖。
圖4是表示a處理裝置的整體狀態(tài)的畫面。
圖5是進4亍各處理室的維護所需的畫面(其一)。
圖6是進4亍各處理室的維護所需的畫面(其二)。
圖7是進行各處理室的維護所需的畫面(其三)。
圖8是概念性地表示了第二顯示區(qū)域的任務(wù)按鈕的配置的圖。
圖9是用于說明用于配置第二顯示區(qū)域中的任務(wù)按鈕的動作的流程圖。
圖10是用于說明第二顯示區(qū)域中的任務(wù)掩組的配置動作的圖(其一 )。
圖11是用于說明第二顯示區(qū)域中的任務(wù)按鈕的配置動作的圖(其二 )。
圖12是用于說明第二顯示區(qū)域中的任務(wù)按鈕的配置動作的圖(其三)。
其中，100-基板處理裝置，200-控制部，210-處理控制部，220-輸入輸 出控制部，221-顯示控制部，222-輸入控制部，300-觸摸面板，311-第一顯 示區(qū)域，312-第二顯示區(qū)域，313-第三顯示區(qū)域
具體實施例方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行詳細說明。而且，本說 明書及附圖中，通it^具有實質(zhì)上相同的功能結(jié)構(gòu)的構(gòu)成要素賦予相同的 符號而省略重復"i兌明。
(基&處理裝置的構(gòu)成例)
首先，參照附圖對本發(fā)明的實施方式的基&處理裝置進行說明。圖1 是表示本發(fā)明的實施方式的基板處理裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。該基敗處理裝 置100具備對被處理基仗、如半導體晶片(以下也簡稱為"晶片"。)W 進行成膜處理、蝕刻處理等各種處理的多個處理單元110;對該處理單元 110 !^搬出晶片W的搬送單元120。
首先，對搬送單元120的構(gòu)成例進^i兌明。搬送單元120如圖1所示， 具有在基板收納容器，如料盒容器132 (132A ~ 132C )與處理單元110之間^V搬出晶片的搬送室130。搬送室130被制成截面為大致多邊形(例 如截面為矩形)的箱體狀。在搬送室130的構(gòu)成矩形截面的長邊的一個側(cè) 面上，并列設(shè)置有多個料盒臺131( 131A ~ 131C )。這些料盒臺131A ~ 131C 分別構(gòu)成為可以放置基tl收納容器、例如料盒容器132A ~ 132C。
在各料盒容器132 (132A ~ 132C )中，可以等間距地多層放置收容例 如最多25片的晶片W,內(nèi)部為充滿了例如N2氣氣氛的密閉構(gòu)造。此外， 搬送室130構(gòu)成為可以經(jīng)由閘閥133 (133A~133C)對其內(nèi)部^A搬出晶 片W。而且，料盒臺131與料盒容器132的數(shù)目并不限于圖1所示的情況。
在上述搬送室130的端部，即構(gòu)成矩形截面的短邊的一個側(cè)面，i殳有 在內(nèi)部具有旋轉(zhuǎn)放置臺138和光學地檢測晶片W的周緣部的光學傳感器 139的作為定位裝置的定位器(預對準載臺)136。利用該定位器136,例 如檢測晶片W的定位邊和缺口等來進行對位。
在上述搬送室130內(nèi)，設(shè)有用于在料盒容器132A~132C、裝載互鎖 (load-lock)室160M、 160N、定位器136各室之間l^搬出晶片W的搬 送單元側(cè)搬送裝置(大氣搬送裝置)170。搬送單元側(cè)搬送裝置170具備可 以利用旋轉(zhuǎn)動作^J進行旋轉(zhuǎn)動作地安裝于支承臺172上的搬送臂，構(gòu)成 為可以利用滑動動作機構(gòu)沿著搬送室130的長邊方向進行滑動動作。搬送 單元側(cè)搬送裝置170的搬送臂，例如如圖l所示，由具備一對多關(guān)節(jié)臂的 雙臂機構(gòu)構(gòu)成。該圖1中所示的搬送臂是將由能夠進行伸縮動作的多關(guān)節(jié) 臂構(gòu)成的第一臂175A、第二臂175B沿上下方向并列設(shè)置而構(gòu)成的。
搬送單元側(cè)搬送裝置170的滑動動作機構(gòu)例如是利用線性馬達如下所 示構(gòu)成的。具體來說，在搬送室130內(nèi)沿著長邊方向設(shè)有導引軌176，安 裝了搬送臂的基座172設(shè)置成可以沿著該導引軌176進行滑動動作。在基 座172和導引軌176上，分別i殳有線性馬達的可動元件和定子，在導引軌 176的端部設(shè)有用于驅(qū)動該線性馬達的線性馬達驅(qū)動機構(gòu)178。在線性馬達 驅(qū)動機構(gòu)178上，連接有控制部200。這樣，基于來自控制部200的控制 信號，線性馬達驅(qū)動機構(gòu)178進行驅(qū)動，使搬送單元側(cè)搬送裝置170與基 座172 —起沿著導引軌176向箭頭方向移動。
另外，搬送單元側(cè)搬送裝置170的滑動動作機構(gòu)也可以如下構(gòu)成，即， 與處理單元側(cè)搬送裝置180 —樣，在沿著導引軌176設(shè)置的滾珠絲杠上旋 合基座172,通過用滑動用馬達驅(qū)動滾珠絲杠，可以佳基座172進行滑動 動作。
12作為搬送單元側(cè)搬送裝置170的搬送臂的第一、第二臂175A、 175B， 分別在前端具備拾取臂174A、 174B，從而能夠一次性地處置2片晶片。 這樣，例如在對料盒容器132、定位器136、各裝載互鎖室160M、 160N
^v搬出晶片之時，可以以更換晶片的方式進行m/^搬出。而且，搬送單
元側(cè)搬送裝置170的搬送臂的臂數(shù)并不限于上述的數(shù)目，例如也可以是僅 具有一個臂的單臂機構(gòu)。
另外，搬送單元側(cè)搬送裝置170具備用于使搬送臂進行旋轉(zhuǎn)動作、伸 縮動作的未圖示的旋轉(zhuǎn)動作用馬達、伸縮動作用馬達。作為驅(qū)動搬送單元 側(cè)搬送裝置170的馬達，除了上述以外，也可以還設(shè)置使搬送臂進行升降 動作的升降動作用馬達。雖然未圖示，但是各馬達與上述控制部200連接， 從而可以基于來自控制部200的控制信號進行搬送單元側(cè)搬送裝置170的 搬送臂的各動作控制。
下面，對處理單元110的構(gòu)成例進行說明。處理單元110例如構(gòu)成為 群組工具(cluster tool)型。處理單元110如圖1所示，構(gòu)成為在一個方 向上形成得較長的多邊形狀(例如四邊形狀、五邊形狀、六邊形狀、八邊 形狀等)的公用搬送室150的周圍，以公用方式連接了對晶片W實施例 如成膜處理(如等離子體CVD處理)、蝕刻處理(如等離子體蝕刻處理) 等規(guī)定的處理的多個處理室140( 140A ~ 140F )及裝載互鎖室160M、 160N。
具體來說，公用搬送室150其相對的一對邊形成得比其他邊長，而成 為多邊形狀(例如扁平的六邊形狀)。此外，在該扁平六邊形狀的>^用搬 送室150的前端側(cè)的較短的2邊上分別連接有一個處理室140C、 140D， 在末端側(cè)的較短的2邊上分別連接有一個裝載互鎖室160M、 160N。另夕卜， 在公用搬送室150的一個長邊上并排地連接有2個處理室140A、 140B, 在另 一個長邊上并排地連接有處理室140E、 140F。
各處理室140A ~ 140F對晶片W實施例如同類的處理或相互不同的不 同類的處理。在各處理室140 (140A~140F)內(nèi)，分別設(shè)有用于放置晶片 W的放置臺142 (142A~142F)。而且，處理室140的數(shù)目并不限于圖1 中所示的情況。
上述公用搬送室150具有在如上所述的各處理室140A ~ 140F之間， 或在各處理室140A ~ 140F與各第一、第二裝載互鎖室160M、 160N之間 !^V搬出晶片W的功能。在公用搬送室150的周圍，分別隔著閘閥144 (144A ~ 144E)連接上述各處理室140 (140A ~ 140F )，并且分別隔著閘
13閥(真空側(cè)閘閥)154M、 154N連接第一、第二裝載互鎖室160M、 160N 的前端。第一、第二裝載互鎖室160M、 160N的末端分別隔著閘閥(大氣 側(cè)閘閥)162M、 162N與搬送室130的構(gòu)成大致矩形截面的長邊的另一側(cè) 面連接。
第一、第二裝載互鎖室160M、 160N具有在暫時保持晶片W并進行 壓力調(diào)整后，向下一級傳遞的功能。在各第一、第二裝栽互鎖室160M、 160N的內(nèi)部，分別設(shè)有能夠放置晶片W的轉(zhuǎn)交臺164M、 164N。
第一、第二裝載互鎖室160M、 160N構(gòu)成為能夠進行殘留物等顆粒的 沖M真空排氣。具體來說，第一、第二裝載互鎖室160M、 160N例如分 別設(shè)有在具有排氣閥(排氣控制閥)的排氣管上連接了干式泵(dry pump ) 等真空泵的排氣系統(tǒng)、以及在具有沖洗閥(沖洗氣體控制閥)的氣體導入 管上連接了氣體導入源的氣體導入系統(tǒng)。通過控制這樣的沖洗閥、排氣閥 等，來進行清潔處理和排氣處理，在清潔處理和排氣處理中反復進行利用 沖洗氣體導入的抽真空和通大氣。
另外，上述公用搬送室150及各處理室140A 140F也構(gòu)成為能夠進 行殘留物等顆粒的沖洗及真空排氣。例如在上述公共搬送室150中配置有 如上所述的導入沖洗氣體的氣體導入系統(tǒng)及可以抽真空的排氣系統(tǒng)，在各 處理室140A 140F上，配置有除了導入如上所述的沖洗氣體以外還可以 導入處理氣體的氣體導入系統(tǒng)及可以抽真空的排氣系統(tǒng)。
在這樣的處理單元110中，如上所述，公用搬送室150與各處理室 140A 140F之間、以及公用搬送室150與上述各裝載互鎖室160M、 160N 之間分別構(gòu)成為可以氣密性地開閉，被群組工具化，根據(jù)需要可以與公用 搬送室150內(nèi)連通。另外，上述第一及第二裝載互鎖室160M、 160N與上 述搬送室130之間也分別構(gòu)成為可以氣密性地開閉。
在公用搬送室150內(nèi)，設(shè)有用于在與裝載互鎖室160M、 160N、各處 理室140A ~ 140F的各室之間^X搬出晶片W的處理單元側(cè)搬送裝置(真 空搬送裝置)180。處理單元側(cè)搬送裝置180具備可以利用旋轉(zhuǎn)動作機構(gòu)進 行旋轉(zhuǎn)動作地安裝于基座182上的搬送臂，構(gòu)成為能夠利用滑動動作機構(gòu) 沿著公用搬送室150的長邊方向進行滑動動作。處理單元側(cè)搬送裝置180 的搬送臂例如由如圖1所示的雙臂機構(gòu)構(gòu)成。具體來說，該搬送臂是將由 可以進行伸縮動作的多關(guān)節(jié)臂構(gòu)成的第一臂185A、第二臂185B沿左右方 向并列設(shè)置而構(gòu)成的。如此構(gòu)成的基&處理裝置100能夠利用控制部進4亍動作的控制。圖2 是表示該控制部200的構(gòu)成的框圖。
由于通常來說控制部由計算機構(gòu)成，因此由CPU、必要的存儲器、接 口部、顯示部、輸入部等構(gòu)成，然而在圖2中為了容易理解控制部200的 構(gòu)成，以執(zhí)行規(guī)定的程序的計算機作為前提，將控制部200依照每個功能 進行劃分。
這里，如圖2所示，控制部200具備控制圖1的各部(構(gòu)成處理單 元110的各部、構(gòu)成搬送單元120的各部)的動作的處理控制部210;在 與觸摸面板300之間進行數(shù)據(jù)的交換的輸入輸出控制部220。觸摸面板300 與控制部200—樣，包含于基板處理裝置100的結(jié)構(gòu)中。觸摸面板300具 備顯示面板301、設(shè)于顯示面板301的表面的選擇部302。選#^302用于 點擊顯示于顯示面板302上的后述的選擇掩組。而且，當然也可以與通常 的計算機一樣，取代觸摸面板300,而利用液晶顯示面板等顯示面板和鍵 盤、鼠標、軌跡球等來構(gòu)成，但是，通過使用觸摸面板300,即使是在無 塵室內(nèi)那樣作業(yè)性非常差的環(huán)境中，也可以沒有妨礙地進行輸入操作，另 外也不需要特別的操作臺等。
輸入輸出控制部220具備進行用于在觸摸面板300上顯示畫面的控 制的顯示控制部221、用于將從觸摸面板300輸入的數(shù)據(jù)取入控制部200 內(nèi)的輸入控制部222。
如圖3所示，顯示控制部221在觸摸面板300上顯示具有以下顯示區(qū) 域的畫面。
(1) 在大致中央顯示橫向較長的長方形的主畫面的第一顯示區(qū)域311 (信息面板)
(2) 沿著第一顯示區(qū)域的下方的邊以帶狀設(shè)置的第二顯示區(qū)域312 (子信息面板)
(3) 沿著第一顯示區(qū)域的右邊以帶狀設(shè)置的第三顯示區(qū)域313 (指令 面板)
(4 )沿著第二顯示區(qū)域312的下方以帶狀設(shè)置的第四顯示區(qū)域314(導 航面板)
(5)沿著第一顯示區(qū)域的上方的邊以帶狀設(shè)置的第五顯示區(qū)域315 (標題面板)(6)在畫面的右上角部以橫向較長的長方形狀設(shè)置的第六顯示區(qū)域 316 (標題面板)
1. 關(guān)于第一顯示區(qū)域311
在第一顯示區(qū)域311中，^個功能區(qū)域顯示一個或多個信息及圖 表，至少有選擇性地顯示以下的畫面。
(1) 表示基敗處理裝置的整體狀態(tài)的畫面(參照圖4) 可以顯示裝置整體的概略性俯視圖、模塊壓力、各處理室等的詳細信息。
當在俯視圖上點擊處理室時，就會切換為與之對應的進行處理室的維 護所需的畫面等。
(2) 進行各處理室的維護所需的畫面(參照圖5~圖7)
可以顯示各處理室的主視圖、它們的詳細信息。
當分別點擊畫面上的標簽，莫塊"、"氣體"、"壓力"、"溫度"、"驅(qū)動 系統(tǒng)"時，將與處理室的主浮見圖一起顯示詳細地顯示了各自的信息的畫面。
圖5是點擊了才莫塊標簽時的畫面。
圖6是點擊了氣體標簽時的畫面。
圖7是點擊了驅(qū)動系統(tǒng)標簽時的畫面。
(3) 表示各處理室的狀態(tài)的畫面 U)報警畫面
(5) 管理畫面
(6) 登入(login )畫面
(7) 單元同步畫面
2. 關(guān)于第二顯示區(qū)域312
在第二顯示區(qū)域312中，配置有8個選擇按鈕(以下稱作任務(wù)按鈕。) 按鈕總是處于有效狀態(tài)，當選擇顯示了畫面名的掩組時，所選擇的畫面就 會顯示于第一顯示區(qū)域311上。除此以外的掩組雖然并非灰色狀態(tài)，但是 無法按下。利用第四顯示區(qū)域314、書簽和其他各種途徑打開的畫面全都 以任務(wù)^顯示。如圖8所示，第二顯示區(qū)域312中，任務(wù)掩組以與各任務(wù)^被點擊的時間順序?qū)捻樞驈淖髠?cè)起并排地顯示。也就是說，任
務(wù)掩組的左側(cè)總是最新的畫面，配置顯示于第一顯示區(qū)域311中的畫面。 在第二顯示區(qū)域312中，在其旁邊接下來顯示在時間上相近的任務(wù)按鈕， 按照以下的時間順序?qū)⑷蝿?wù)按鈕顯示于第二顯示區(qū)域312中。圖9是用于 說明這樣的動作的流程圖。
下面，以沿著用戶的運用過程的形式對任務(wù)的動作進行說明。
(1) 打開畫面A (圖10 (a))
從第四顯示區(qū)域314中將"畫面A"打開。在任務(wù)的左側(cè)顯示"畫面A，， 的字樣。(步驟901、卯2、卯3)
(2) 打開畫面B (圖10 (b))
在"打開畫面A，，之后，從第四顯示區(qū)域314中將"畫面B"打開。在 任務(wù)的左側(cè)顯示"畫面B"的字樣。已經(jīng)打開的"畫面A"向其右側(cè)移動。 (步驟卯l、卯2、 903)
(3) 關(guān)閉畫面B (圖10 (c))
"打開畫面B"之后，從第三顯示區(qū)域313中將"畫面B，，關(guān)閉。從任 務(wù)的左側(cè)刪除"畫面B"，已經(jīng)打開了的"畫面A，，向最左側(cè)移動。(步驟 卯4、卯5、卯6)
(4) 打開8個畫面(圖11 U))
從一個畫面也沒有打開的狀態(tài)(實際上，第一個總是原始畫面)起， 打開8個畫面。形成所有的任務(wù)M都填滿了的狀態(tài)。
(5) 打開9個以上的畫面(圖11 (e))
在"打開8個畫面，，的狀態(tài)下進一步打開畫面。這時，由于最初打開 的"畫面A，，無法顯示于指令掩組中，因此被從按鈕上刪去。但是，保留在 畫面的顯示歷史記錄中。(步驟卯7、卯8)
(6) 使畫面的打開數(shù)恢復為8個(圖11 (f))
在"打開9個以上的畫面，，的狀態(tài)下將"畫面I"關(guān)閉。這時，未顯示 于指令掩組中的畫面歷史記錄的第九個畫面(這里為"畫面A，，)顯示于指 令掩組的最右側(cè)。(步驟卯9、 910)
(7) 任務(wù)獨的選擇(圖12 (g)、圖12(h))從一個畫面也沒有打開的狀態(tài)(實際上，第一個總是原始畫面)起，
打開8個畫面。形成所有的任務(wù)掩組都填滿了的狀態(tài)(圖12(g))。(與"打 開8個畫面"相同的狀態(tài))
該狀態(tài)下，當選擇任務(wù)按鈕的"畫面F"時，則如下所示地顯示"畫面 F"，并向任務(wù)掩組的最左側(cè)移動(圖12 (h))。(步驟9U、卯2、卯3)
(8)其他
在步驟卯4中將畫面關(guān)閉而沒有剩余的畫面的情況下(步驟912)，只 要裝置未被關(guān)閉等(步驟913)，就回到步驟卯l。
3. 關(guān)于第三顯示區(qū)域313
第三顯示區(qū)域313是針對現(xiàn)在顯示著的第一顯示區(qū)域3U配置務(wù)使用 的指令掩組的區(qū)域。作為指令，例如有"關(guān)閉"、"模塊變更"、"初始化"、 "通大氣"等。
也就是說，從畫面上執(zhí)行處理控制部210中所用的OS (Operating System)的指令。通常來說，OS指令的執(zhí)行需要起動OS的操作畫面，使 用鍵盤。但是，通過使用本畫面，不起動OS的操作畫面就可以實現(xiàn)OS 指令的執(zhí)行。
被認為要頻繁使用的OS指令登記在文本文件中，從畫面中選擇執(zhí)行 所登記的OS命令。另外也可以從由系統(tǒng)提供的軟鍵盤直接輸入指令而執(zhí) 行。執(zhí)行結(jié)果顯示于畫面上。另外，將執(zhí)行結(jié)果作為日志保存于文本文件 中。此外，當因用戶的^Mt而切換畫面時，則顯示與該第一顯示區(qū)域311 的畫面對應的指令^L組。
最上部的指令g在需要"關(guān)閉"第一顯示區(qū)域311的畫面的功能的 情況下， 一定在該位置上配置"關(guān)閉"掩紐。
4. 第四顯示區(qū)域314
是從系統(tǒng)所具有的功能區(qū)域中選擇在第一顯示區(qū)域311中顯示的畫面 的面板。當按下處于第四顯示區(qū)域314內(nèi)的下述選擇g(導航M)時， 會將該功能區(qū)域的畫面顯示于第一顯示區(qū)域311中。但是，作為例外在按 下配置于右側(cè)的"幫助g，，的情況下，將在第一顯示區(qū)域311上顯示"畫 面操作幫助對話框"。
(1) Jobs (工作)顯示與開始處理相關(guān)的:^作、材料處理的進度，顯示處理中的材料狀態(tài)。
(2 ) Status (狀態(tài))
進行裝置通常運轉(zhuǎn)狀態(tài)下的參照、操作。顯示裝置整體或構(gòu)成裝置的 構(gòu)件等的狀態(tài)。
(3 ) Recipes (配方)
進行與配方有關(guān)的IMt、配方生成、配方編輯、配方管理( 、復 制等)。
(4 ) Logs (曰志)
進行日志的顯示和日志的管理。
(5) Setup (安裝)
進行運用裝置的準備、設(shè)定、管理、與運用裝置有關(guān)的項目、用戶賬 戶管理、硬件配置、^!t的設(shè)定、與主機通信控制有關(guān)的設(shè)定。
(6) Mainte.(維護)
進行與裝置保養(yǎng)有關(guān)的IMt、維護^Mt、手動移動操作、宏^Mt、工 程級別的操作。
(7) System (系統(tǒng))
進行在裝置運用中不太使用并且沒有影響的操作。進行與系統(tǒng)運轉(zhuǎn)有 關(guān)的項目、M/C狀態(tài)、裝置關(guān)機、版本信息的顯示。
(8) (預備)
是沒有任何記載的指令按鈕，被作為預備按鈕而設(shè)置。
(9) Help (幫助)
顯示有關(guān)界面的幫助、有關(guān)操作的幫助、裝置手冊。 5.第五顯示區(qū)域315
第五顯示區(qū)域315位于畫面最上部，是具有所有畫面可以共同地使用 的功能的區(qū)域。即佳是出于對用戶進行信息提示的目的的對話框正在顯示 中，也必須使得用戶總是能夠操作第五顯示區(qū)域315。例如，顯示以下的 畫面。
(1)日期及時刻顯示區(qū)顯示"日期及時刻"。
(2) 畫面名稱顯示區(qū) 顯示現(xiàn)在正在顯示的畫面名。
(3) 主機通信狀態(tài)顯示區(qū) 顯示當前的主機通信狀態(tài)。
(4) 登入(login)及登出(logout) 顯示登入及登出g。
(5) 標志(logo)顯示區(qū)
顯示本裝置的制造商的標志，使用戶識別制造商名。
(6) 報警消息g
顯示最新的警告、報警。但是，在產(chǎn)生了多個警告、報警的情況下， 不是優(yōu)先顯示最新的，而是優(yōu)先顯示重要度高的。也就^^說，在產(chǎn)生了重 要度高的報警的狀態(tài)時，在新產(chǎn)生了重要度低的報警的情況下，顯示并不 切換為重要度低的報警，而是繼續(xù)顯示重要度高的報警。在產(chǎn)生了重要度 相同的報警的情況下，則顯示最新的。
(7) 原始畫面轉(zhuǎn)移^
通過按下本掩組，就會顯示^個用戶登記的原始畫面。 6.第六顯示區(qū)域316
顯示裝置整體狀態(tài)顯示。例如作為如圖l所示的俯視圖，顯示裝置整 體。在第一顯示區(qū)域311中選擇了特定處理室的維護畫面時，則強調(diào)顯示 該被選擇了的處理室。這樣，用戶就可以從晝本中確定進行維護的處理室。
如上說明所示，才艮據(jù)本實施方式，由于在第二顯示區(qū)域312中將任務(wù)
因此在i行維護時可以在觸摸面板300上顯示便利性非常高的維護畫面。 而且，本發(fā)明并不限定于上述的實施方式。
例如，在上述的基板處理裝置中，雖然以處理室為多個作為前提而進 行了說明，然而，當然也可以將本發(fā)明應用于處理室為l個的基&處理裝 置，或者將本發(fā)明應用于盡管可以搭載多個處理室但是僅搭載了 l個處理 室的基&處理裝置。
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權(quán)利要求
1. 一種基板處理裝置，具有至少一個處理室，其特征是，具備顯示面板；顯示控制部，進行用于在所述顯示面板上至少顯示所述基板處理裝置的維護所需的畫面及規(guī)定的選擇按鈕的控制；選擇部，用于點擊顯示于所述顯示面板上的選擇按鈕，所述顯示控制部至少將從所述基板處理裝置的維護所需的多個畫面中選擇一個畫面的選擇按鈕，以與該選擇按鈕被點擊的時間順序?qū)捻樞虿⑴诺仫@示于所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述選擇按鈕所選擇的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示區(qū)域中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板處理裝置，其特征是， 所述顯示控制部沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊顯示所述第一顯示區(qū)域，以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定長度的方式 來顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的 情況下，將超出的所述選擇^作為歷史記錄而保留下來，在能夠顯示時 再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇掩組。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基仗處理裝置，其特征是，所述顯示控制部將用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選 擇g顯示于所述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在利用所述選擇部點擊了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫 面的選#^掩組的情況下，關(guān)閉所述第二顯示區(qū)域的畫面，并且關(guān)閉顯示于 所述第 一顯示區(qū)域中的與所述畫面對應的選^r掩組。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l至3中任意一項所述的基板處理裝置，其特征是， 作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需的畫面，所擇的一個畫面顯示于所述第二顯示區(qū)域中
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的基板處理裝置，其特征是，所述顯示控制部能夠在所述第二顯示區(qū)域中顯示以下畫面顯示各所 述處理室的狀態(tài)的每個所述處理室的畫面、顯示所述基仗處理裝置的整體 狀態(tài)的畫面，能夠在所述第 一顯示區(qū)域顯示與所述畫面對應的選擇掩組。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的基敗處理裝置，其特征是，所述顯示面板及所述選擇部由在所述顯示面板上設(shè)置了所述選擇部 的觸摸面板構(gòu)成。
7. —種顯示方法，是用于控制具有至少一個處理室的基板處理裝置的 顯示面板的顯示方法，其特征是，至少將從所述基板處理裝置的維護所需的多個畫面中選擇一個畫面 的選擇掩組，以與該選擇g被點擊的時間順序?qū)捻樞虿⑴诺仫@示于 所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述選擇按鈕選擇的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示區(qū) 域中。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示方法，其特征是，沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述第一顯示區(qū)域，以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定長度的方式 來顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的 情況下，將超出的所i^擇^&作為歷史記錄而保留下來，在能夠顯示時 再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇按鈕。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的顯示方法，其特征是，將用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕顯示于所 述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在選擇了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕的 情況下，將所述第二顯示區(qū)域的畫面關(guān)閉，并且將顯示于所述第一顯示區(qū) 域中的與所述畫面對應的選擇掩組關(guān)閉。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7至9中任意一項所述的顯示方法，其特征是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需的畫面，將 與該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的被選擇了的一個畫面顯示于所述第 二顯示區(qū)域中。
11. 一種記錄介質(zhì)，記錄了使計算機執(zhí)行用于控制具有至少一個處理 室的基敗處理裝置的顯示面板的顯示的程序，其特征是，所述程序至少將從所述基板處理裝置的維護所需的多個畫面中選擇 一個畫面的選擇掩組，以與該選#^^被點擊的時間順序?qū)捻樞虿⑴?地顯示于所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述選擇按鈕選擇了的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示 區(qū)域中。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的記錄介質(zhì)，其特征是，所述程序沿著所述笫二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述第一顯示區(qū)域，以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定長度的方式 來顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的 情況下，將超出的所^i^^M作為歷史記錄而保留下來，在能夠顯示時 再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選擇按鈕。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的記錄介質(zhì)，其特征是，所述程序?qū)⒂糜陉P(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕 顯示于所述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在選擇了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕的 情況下，將所述第二顯示區(qū)域的畫面關(guān)閉，并且將顯示于所述第一顯示區(qū) 域中的與所述畫面對應的選^^掩組關(guān)閉。
14. 根據(jù)權(quán)利要求11至13中任意一項所述的記錄介質(zhì)，其特征是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需的畫面，所 述程序?qū)⑴c該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的被選擇了的一個畫面顯示 于所述第二顯示區(qū)域中。
15. —種程序，是使計算機執(zhí)行用于控制具有至少一個處理室的M 處理裝置的顯示面板的顯示的程序，其特征是，至少將從所述基板處理裝置的維護所需的多個畫面中選擇一個畫面 的選擇掩組，以與該選擇M被點擊的時間順序?qū)捻樞虿⑴诺仫@示于 所述顯示面板的第一顯示區(qū)域中，將利用所述選擇按鈕選擇了的畫面顯示于所述顯示面板的第二顯示 區(qū)域中。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的程序，其特征是，沿著所述第二顯示區(qū)域的一邊來顯示所述第一顯示區(qū)域，以顯示于所述第一顯示區(qū)域中的各所述選擇按鈕為一定長度的方式 來顯示，在所述多個選擇按鈕的整體長度超出了所述第一顯示區(qū)域的長度的 情況下，將超出的所述選擇^&作為歷史記錄而保留下來，在能夠顯示時 再次在所述第二顯示區(qū)域中顯示剩下的所述選^^掩組。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的程序，其特征是，將用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕顯示于所 述顯示面板的第三顯示區(qū)域中，在選擇了用于關(guān)閉顯示于所述第二顯示區(qū)域中的畫面的選擇按鈕的 情況下，將所述第二顯示區(qū)域的畫面關(guān)閉，并且將顯示于所述第一顯示區(qū) 域中的與所述畫面對應的選擇掩組關(guān)閉。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15至17中任意一項所述的程序，其特征是，作為顯示于所述第二顯示區(qū)域中的進行處理室的維護所需的畫面，將 與該維護的內(nèi)容對應的多個畫面中的被選擇了的一個畫面顯示于所述第 二顯示區(qū)域中。
全文摘要
可以在邊考慮多個處理室的相互關(guān)系邊進行維護時在顯示面板中顯示便利性非常高的維護畫面。由于在第二顯示區(qū)域(312)中將任務(wù)按鈕以與各任務(wù)按鈕被點擊的時間順序?qū)捻樞驈淖髠?cè)起并排地顯示，因此可以在進行維護時在觸摸面板(300)上顯示便利性非常高的維護畫面。
文檔編號H01L21/02GK101473414SQ200780022708
公開日2009年7月1日 申請日期2007年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月21日
發(fā)明者坂井良治, 奧山正史, 細川寬之 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社