專利名稱：散熱件支撐柱的制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于散熱件的制法，特別是關(guān)于散熱件支撐件的制法。
背景技術(shù)：
隨著集成電路設(shè)計與制造技術(shù)的不斷進步，集成電路的集成度也隨之不斷提升。以中央處理單元為例，由于集成度的提升，運行時產(chǎn)生的高溫如何散逸成為亟待解決的問題。一般而言，為達到散熱目的維持集成電路的正常運行，會將散熱件安裝在集成電路上，通過散熱件將熱量散逸。
傳統(tǒng)的散熱件是利用散熱件本體材質(zhì)具有快速吸熱與散熱的特性，然而僅利用材質(zhì)的散熱特性無法進一步提升散熱效果，為進一步提升散熱件的散熱效果，提出搭配散熱鰭片、風扇或水冷散熱結(jié)構(gòu)的散熱件。上述各種散熱件結(jié)構(gòu)中，又以水冷散熱件的散熱效果最佳。
請參閱圖2A，它是現(xiàn)有水冷式散熱件的結(jié)構(gòu)分解圖。如圖所示，該散熱件2包括下基板21以及相對該下基板21的上基板22，該下基板21具有凹部211，且該凹部211上還具有多個用于支撐該上基板22的支撐柱23，該上基板22的一角則具有貫孔221。請參閱圖2B，在該下基板21與上基板22通過固定件(未標出)或焊接等方式密閉接合時，這些支撐柱23可有效支撐該上基板22，在冷卻液體25通過該貫孔221注入該空間24并密封該貫孔221后，該冷卻液體25在該空間24中依據(jù)不同的工作溫度進行液態(tài)與氣態(tài)變化，增加該散熱件2的散熱效率。
上述現(xiàn)有散熱件結(jié)構(gòu)的支撐柱23的形成方式如圖3所示，將骨料灑在該凹部211預設(shè)形成支撐柱23的位置上，并使該支撐柱23達到預定的高度后停止灑料，該支撐柱23形成圓錐狀的結(jié)構(gòu)。這種制程的缺點在于該支撐柱形成的過程中，其毛細結(jié)構(gòu)的密度不易控制且容易破碎，此外，由于毛細結(jié)構(gòu)的密度較小，故在注入冷卻液體25后，會降低該支撐柱23吸附冷卻液體25的毛細力，進而影響該空間24中冷卻液體25的循環(huán)流動效率，也就是熱循環(huán)效率。
綜上所述，如何提供一種能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結(jié)構(gòu)，增加散熱件的散熱效率的散熱件支撐柱的制法，成為目前亟待解決的課題。

發(fā)明內(nèi)容
為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的種種缺點，本發(fā)明的主要目的在于提供一種能控制散熱件支撐柱的密度與毛細結(jié)構(gòu)的散熱件支撐柱的制法。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法包括制備具有凹部的基板；在該基板的凹部上制備具有至少一貫孔的注料板，該貫孔對應(yīng)到該基板預設(shè)形成支撐柱的位置；灌注骨料到該貫孔中；將該基板、注料板與骨料置入高溫環(huán)境中燒結(jié)；以及在該骨料定型后將該注料板移除，在該基板的凹部上形成支撐柱。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法，能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結(jié)構(gòu)，增加散熱件的散熱效率。


圖1A至1E是本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法的示意圖；圖2A是現(xiàn)有水冷式散熱件的結(jié)構(gòu)分解圖；圖2B是現(xiàn)有水冷式散熱件完成組合的狀態(tài)；以及圖3是現(xiàn)有水冷式散熱件支撐柱的制程示意圖。
具體實施例方式
實施例請參閱圖1A至1E，它是本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法的示意圖。
首先，如圖1A所示，制備基板11。在本實施例中，該基板11的中間部分具有凹部111。該基板11的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金等材質(zhì)。該凹部111的體積則可依據(jù)后續(xù)注入冷卻液體的量而定。
其次，如圖1B所示，在該基板11的凹部111上制備具有至少一貫孔121的注料板12，該貫孔121對應(yīng)到該基板11預設(shè)形成支撐柱的位置。在本實施例中，該貫孔121是圓柱結(jié)構(gòu)，在其它實施方式中，該貫孔121可以是其它的幾何結(jié)構(gòu)，該貫孔121具有一致的孔徑。
接著，如圖1C所示，灌注骨料13到該貫孔121中。該骨料13的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金等材質(zhì)。在本實施例中將骨料13灌注到該貫孔121的方式，是可將該骨料13預先布設(shè)在注料板12上方，并以搖晃方式使骨料13注入該貫孔121中。
再者，如圖1D所示，將該基板11、注料板12與骨料13置入高溫環(huán)境中燒結(jié)。在本實施例中，該高溫環(huán)境可例如為高溫爐。
最后，如圖1E所示，在該骨料13定型后將該注料板12移除，在該基板11的凹部上形成支撐柱131。在本實施例中，在該骨料13燒結(jié)完成后，將該基板11、注料板12與骨料13移出該高溫環(huán)境，待該骨料13冷卻定型后移除該注料板12形成支撐柱131。
綜上所述，本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法，能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結(jié)構(gòu)，增加散熱件的散熱效率。
權(quán)利要求
1.一種散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該散熱件支撐柱的制法包括制備具有凹部的基板；在該基板的凹部上制備具有至少一貫孔的注料板，該貫孔對應(yīng)到該基板預設(shè)形成支撐柱的位置；灌注骨料到該貫孔中；將該基板、注料板與骨料置入高溫環(huán)境中燒結(jié)；以及在該骨料定型后將該注料板移除，在該基板的凹部上形成支撐柱。
2.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該凹部形成在該基板的中間部分。
3.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該基板的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金。
4.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該貫孔是圓柱結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該貫孔具有一致的孔徑。
6.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該骨料的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金。
7.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該高溫環(huán)境是高溫爐。
8.如權(quán)利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該灌注骨料到該貫孔的步驟中，是將該骨料布設(shè)在注料板上方，并以搖晃方式使該骨料注入該貫孔中。
全文摘要
本發(fā)明公開一種散熱件支撐柱的制法，該散熱件支撐柱的制法包括制備具有凹部的基板；在該基板的凹部上制備具有至少一貫孔的注料板，該貫孔對應(yīng)到該基板預設(shè)形成支撐柱的位置；灌注骨料到該貫孔中；將該基板、注料板與骨料置入高溫環(huán)境中燒結(jié)；以及在該骨料定型后將該注料板移除，在該基板的凹部上形成支撐柱。本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法，能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結(jié)構(gòu)，增加散熱件的散熱效率。
文檔編號H01L23/46GK101069922SQ20061008017
公開日2007年11月14日 申請日期2006年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月10日
發(fā)明者楊琇妃 申請人:英業(yè)達股份有限公司